超導薄膜的制作方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)是關(guān)于一種超導薄膜的制作方法。其特征是將含有從釔（Ｙ）、鑭（Ｌａ）、釓（Ｇｄ）、鈥（Ｈｏ）、鉺（Ｅｒ）、鐿（Ｙｂ）組成的一組元素中選擇的一種元素Ｍ、鋇和銅氧化物的混合物或者復合氧化物作為靶進行物理蒸鍍，形成鈣鈦礦型或準鈣鈦礦型的氧化物薄膜，上述靶可由預(yù)燒結(jié)材料制成，物理蒸鍍可用高頻濺射技術(shù)進行。對形成的薄膜，可以進一步在２５０—１７００℃，最好在２５０～１２００℃的溫度范圍內(nèi)進行熱處理。（*該技術(shù)在2008年保護過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護點】
一種超導薄膜的制作方法，其特征是使用一個由混合氧化物或復合氧化物制成的靶，所述氧化物含有鋇（Ｂａ）、銅（Ｃｕ）和Ｍ，Ｍ是從釓（Ｙ）、鑭（Ｌａ）、釓（Ｇｄ）、鈥（Ｈｏ）、鉺（Ｅｒ）、鐿（Ｙｂ）、組成的一組元素中選擇的一個元素，對該靶進行物理蒸鍍，形成一種鈣鈦礦型或準鈣鈦礦型的氧化物薄膜。

【技術(shù)特征摘要】
...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：藤田順彥，藤森直治，系崎秀夫，田中三郎，原田敬三，上代哲治，
申請(專利權(quán))人：住友電氣工業(yè)株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：JP[日本]