晶圓輔助照明檢測裝置及晶圓檢測方法制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種晶圓輔助照明檢測裝置，包括支架和所述支架連接的照明光源裝置，所述照明光源裝置為能夠產(chǎn)生低照度光環(huán)的照明光源。本發(fā)明專利技術(shù)還公開了一種晶圓檢測方法，用低照度光環(huán)照射待檢測晶圓，以檢測晶圓的表面缺陷。本發(fā)明專利技術(shù)通過采用能夠產(chǎn)生低照度光環(huán)的光源裝置對晶圓表面進行照射，來進行晶圓表面的缺陷檢測，能夠方便的檢測出晶圓表面的水印、細微劃傷等缺陷，而且操作簡單。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及一種半導(dǎo)體器件制作過程中的檢測裝置，尤其使一種晶圓 輔助照明檢測裝置；本專利技術(shù)還涉及一種晶圓檢測方法。
技術(shù)介紹
現(xiàn)有晶圓輔助照明檢測裝置一般采用發(fā)光二極管、鹵素燈等來進行照 明，這種檢測裝置在照射之后會形成一個光斑，能夠檢査出晶圓表面的一 些外觀缺陷。為了改善檢測效果，現(xiàn)有的晶圓輔助照明檢測裝置中的照明 光源裝置中都會采用有紋理(一般是網(wǎng)格狀)的反光杯，以增強照明光源 的照度。但是，由于晶圓表面非常平滑，會存在很強的反射，無法檢査出 如水印，細微劃傷等不良缺陷。并且照明光源的位置一般也是固定的，不容 易進行移動，操作使需要移動晶圓來檢測晶圓上不同的位置，使用時很不 方便。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是提供一種晶圓輔助照明檢測裝置，以及 采用這種裝置實現(xiàn)的晶圓檢測方法，能夠檢測出晶圓表面的水印、細微劃 傷等缺陷，而且操作方便簡單。為解決上述技術(shù)問題，本專利技術(shù)晶圓輔助照明檢測裝置的技術(shù)方案是， 包括支架和所述支架連接的照明光源裝置，所述照明光源裝置為能夠產(chǎn)生 低照度光環(huán)的照明光源。測裝置的進一步改進是，所述照明光源裝 置的聚光裝置為無紋理反光杯的聚光裝置，以產(chǎn)生光環(huán)。作為本專利技術(shù)晶圓輔助照明檢測裝置的另一種進一步改進是，所述支架 包括導(dǎo)軌、底座和連桿，所述底座安裝在所述導(dǎo)軌上，可沿所述導(dǎo)軌移動， 所述連桿通過可萬向轉(zhuǎn)動的第一連接部件與所述底座相連接，所述連桿通 過可萬向轉(zhuǎn)動的第二連接部件與所述照明光源裝置連接。本專利技術(shù)晶圓檢測方法的技術(shù)方案是，用低照度光環(huán)照射待檢測晶圓， 以檢測晶圓的表面缺陷。本專利技術(shù)通過采用能夠產(chǎn)生低照度光環(huán)的光源裝置對晶圓表面進行照 射，來進行晶圓表面的缺陷檢測，能夠方便的檢測出晶圓表面的水印、細 微劃傷等缺陷，而且操作簡單。附圖說明下面結(jié)合附圖和實施例對本專利技術(shù)作進一步詳細的說明 附圖為本專利技術(shù)晶圓輔助照明檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，附圖標記為，l.支架；2.照明光源裝置；3.晶圓及光環(huán)；4.電 源；5.導(dǎo)軌；6.底座；7.連桿；8.第一連接部件；9.第二連接部件。 具體實施例方式本專利技術(shù)提供了一種晶圓輔助照明檢測裝置，如附圖所示，包括支架1 和所述支架1連接的照明光源裝置2，所述照明光源裝置2為能夠產(chǎn)生低照 度光環(huán)的照明光源。所述照明光源裝置2的聚光裝置為無紋理反光杯的聚光裝置，以產(chǎn)生光環(huán)3。為所述照明光源裝置供電的電源4為電壓可變電源，從而可以對照明 光源裝置2的照度進行調(diào)節(jié)。所述支架包括導(dǎo)軌5、底座6和連桿7，所述底座6安裝在所述導(dǎo)軌5 上，可沿所述導(dǎo)軌5移動，所述連桿7通過可萬向轉(zhuǎn)動的第一連接部件8 與所述底座6相連接，所述連桿7通過可萬向轉(zhuǎn)動的第二連接部件9與所 述照明光源裝置2連接。所述第二連接部件9還能夠使所述照明光源部件繞所述照明光源部件 的軸線轉(zhuǎn)動。所述連桿由兩段連桿組成，所述兩段連桿通過端部鉸接。本專利技術(shù)中，通過支架各部件之間的連接，本專利技術(shù)晶圓輔助照明檢測裝 置能夠按照如附圖中箭頭所示的方式進行各種運動，從而方便了對照明光 源照射方向的控制。本專利技術(shù)還提供了一種利用如上述晶圓輔助照明檢測裝置實現(xiàn)的晶圓檢 測方法，用低照度光環(huán)照射待檢測晶圓，以檢測晶圓的表面缺陷。當前，人們認為對晶圓表面缺陷的檢測效果的改善是要通過加強光源 的照度來實現(xiàn)，因此現(xiàn)有技術(shù)中，人們都是想辦法加強光源的照度，例如 光源采用發(fā)光二極管或者鹵素燈，以及采用有紋理(一般是網(wǎng)格狀)的反 光杯，在晶圓表面形成一個非常亮的光斑。但是，無論如何加強光源的照 度，事實上都無法檢査出如水印，細微劃傷等的一些不良缺陷。而本專利技術(shù)通 過采用低照度的光環(huán)來對晶圓表面進行檢測，可以非常輕易的檢測出晶圓表面的水印，細微劃傷等的一些不良缺陷，檢測效果大大提升，并且本專利技術(shù) 晶圓輔助照明檢測裝置通過支架的變化，大大方便了使用者的使用，提高 了工作效率。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種晶圓輔助照明檢測裝置，包括支架和所述支架連接的照明光源裝置，其特征在于，所述照明光源裝置為能夠產(chǎn)生低照度光環(huán)的照明光源。

【技術(shù)特征摘要】
1. 一種晶圓輔助照明檢測裝置，包括支架和所述支架連接的照明光源裝置，其特征在于，所述照明光源裝置為能夠產(chǎn)生低照度光環(huán)的照明光源。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓輔助照明檢測裝置，其特征在于，所述 照明光源裝置的聚光裝置為無紋理反光杯的聚光裝置，以產(chǎn)生光環(huán)。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓輔助照明檢測裝置，其特征在于，為所 述照明光源裝置供電的電源為電壓可變電源。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓輔助照明檢測裝置，其特征在于，所述 支架包括導(dǎo)軌、底座和連桿，所述底座安裝在所述導(dǎo)軌上，可沿所述導(dǎo)軌 移動，所述連...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳超，
申請(專利權(quán))人：上海華虹NEC電子有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：31[中國|上海]