各向異性導電連接器和電路裝置的電氣檢查裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術提供一種各向異性導電連接器以及具有上述各向異性導電連接器的電路裝置的電氣檢查裝置。根據本發明專利技術，即使對于時鐘頻率大于等于例如１ＧＨｚ的電路裝置也可以進行期望的電氣檢查。本發明專利技術的各向異性導電連接器具有按照對應于應連接的電極的圖案而配置的、沿厚度方向延伸的多個連接用導電部分、和將上述導電部分相互絕緣的絕緣部分，其特征在于，所述彈性各向異性導電膜中形成有沿厚度方向延伸的高頻屏蔽用導電部分。本發明專利技術的電路裝置的電氣檢查裝置的特征在于具有上述的各向異性導電連接器。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及各向異性導電連接器和具有各向異性導電連接器的電路裝置的電氣檢查裝置，尤其涉及可適用于例如時鐘頻率1GHz以上的電路裝置的電氣檢查的各向異性導電連接器和電路裝置的電氣檢查裝置。
技術介紹
各向異性導電彈性薄片是只在厚度方向上呈現導電性、或者具有在沿厚度方向加壓時只在厚度方向上呈現導電性的加壓導電性導電部件，目前，作為所述各向異性導電彈性薄片，已知有各種結構的部件。例如，作為在不加壓狀態下只在厚度方向上呈現導電性的各向異性導電彈性薄片，已知的有在由絕緣橡膠構成的薄片片基中排列導電纖維、使所述導電纖維呈沿厚度方向延伸的排列狀態，或者將摻有石墨或金屬粉末的導電橡膠與絕緣橡膠在表面方向上交替層疊而形成的各向異性導電彈性薄片(參見例如特開昭50-94495號公報)。另一方面，作為在沿厚度方向加壓時只在厚度方向上呈現導電性的各向異性導電彈性薄片，已知的有將金屬顆粒均勻分布在彈性體中所獲得的各向異性導電彈性薄片(參見例如特開昭51-93393號公報)，或者由通過將導電性磁性顆粒不均勻地分布在彈性體中而形成沿厚度方向延伸的多個導電部分和將各導電部分相互絕緣的絕緣部分而構成的各向異性導電彈性薄片(參見例如特開昭53-147772號公報)，以及在導電部分表面和絕緣部分之間形成高度差而構成的各向異性導電彈性薄片(參見例如特開昭61-250906號公報)。這種各向異性導電彈性薄片具有無須焊錫或者機械配合等手段就可以實現緊密的電連接、和可吸收機械沖擊和變形的柔性連接的優點，利用上述優點，其可作為連接器而廣泛地用于例如電子計算器、電子數字鐘表、電子照相機、計算機鍵盤等領域中，用來實現電路裝置，例如印刷電路板與無引腳芯片載體、液晶面板等之間的電連接。另外，在對封裝IC、MCM等半導體集成電路、形成有集成電路的晶片、印刷電路板等的電路裝置進行電氣檢查時，各向異性導電彈性薄片作為連接器被用于在作為檢查對象的電路裝置的一面形成的被檢查電極與在檢查用電路基板的表面形成的檢查用電極之間實現電連接。在上述電路裝置的電氣檢查中，對電路裝置進行直流特性測試和交流特性測試。其中，直流特性測試測定電路裝置的電源電流、輸入輸出電壓、輸入輸出電流等，交流特性測試測定電路裝置的輸入輸出端子之間的傳播延遲時間、輸出波形的過渡時間、最大時鐘頻率等。近年來，隨著對計算機等電子設備的運算處理的高速化需求，該電子設備中所裝載的CPU等電路裝置使用了時鐘頻率高的電路。在對這種電路裝置進行電氣檢查時，為了不發生誤動作地進行所期望的交流特性測試，關鍵是充分地抑制高頻信號上的噪聲。在用于電路裝置的電氣檢查的各向異性導電彈性薄片上，作為抑制高頻信號上的噪聲的方法，提出了由具有導電性的框架板來支持各向異性導電彈性薄片，并將該框架板接地的方法(參見例如特開2000-164041號公報和特開2002-33358號公報)。但是，在該方法中，當對時鐘頻率為例如1GHz以上的電路裝置進行電氣檢查時，難以充分地抑制高頻信號上的噪聲。
技術實現思路
本專利技術是基于上述情況而進行的，其第1目的在于，提供一種對于時鐘頻率為例如1GHz以上的電路裝置也可以進行所期望的電氣檢查的各向異性導電連接器。本專利技術的第2目的在于，提供一種對于時鐘頻率為例如1GHz以上的電路裝置也可以進行所期望的電氣檢查的電路裝置的電氣檢查裝置。本專利技術的各向異性導電連接器包括彈性各向異性導電膜，所述彈性各向異性導電膜具有按照與應連接的電極相應的圖案而配置的、沿厚度方向延伸的多個連接用導電部分和將上述連接用導電部分相互絕緣的絕緣部分，其特征在于，上述彈性各向異性導電膜中形成有沿厚度方向延伸的高頻屏蔽用導電部分。另外，本專利技術的各向異性導電連接器包括彈性各向異性導電膜，所述彈性各向異性導電膜具有按照與應連接的電極相應的圖案而配置的、沿厚度方向延伸的多個連接用導電部分和將上述連接用導電部分相互絕緣的絕緣部分，其特征在于，上述彈性各向異性導電膜中形成有沿厚度方向延伸的高頻屏蔽用導電部分，所述高頻屏蔽用導電部分是包圍著各個連接用導電部分而配置的。另外，本專利技術的各向異性導電連接器包括彈性各向異性導電膜，所述彈性各向異性導電膜具有按照與應連接的電極相應的圖案而配置的、沿厚度方向延伸的多個連接用導電部分和將上述連接用導電部分相互絕緣的絕緣部分，其特征在于，上述彈性各向異性導電膜中形成有沿厚度方向延伸的高頻屏蔽用導電部分，所述高頻屏蔽用導電部分是包圍著含有多個連接用導電部分的導電部分群而配置的。另外，本專利技術的各向異性導電連接器包括框架板和彈性各向異性導電膜，所述框架板按照與應連接的電極相應的圖案形成有多個開口并具有導電性；所述彈性各向異性導電膜包括多個功能部分和被支持部分，所述多個功能部分由配置于該框架板的各開口處并沿厚度方向延伸的連接用導電部分和在其周圍一體地形成的絕緣部分構成，所述被支持部分一體地形成在上述功能部分的周圍、且層疊并固定在上述框架板上， 其特征在于，上述彈性各向異性導電膜上的被支持部分中形成有沿厚度方向延伸的高頻屏蔽用導電部分，所述高頻屏蔽用導電部分是包圍著各個連接用導電部分而配置的，并與上述框架板電連接。另外，本專利技術的各向異性導電連接器包括框架板和彈性各向異性導電膜，所述框架板形成有沿厚度方向貫通的開口并具有導電性；所述彈性各向異性導電膜包括功能部分和被支持部分，所述功能部分由按照與應連接的電極對應的圖案而配置于該框架板的各開口處并沿厚度方向延伸的多個連接用導電部分和將這些連接用導電部分相互絕緣的絕緣部分構成，所述被支持部分一體地形成在上述功能部分的周圍、且層疊并固定在上述框架板上，其特征在于，上述彈性各向異性導電膜上的被支持部分中形成有沿厚度方向延伸的高頻屏蔽用導電部分，所述高頻屏蔽用導電部分是包圍著含有多個連接用導電部分的導電部分群而配置的，并與上述框架板電連接。另外，本專利技術的各向異性導電連接器包括框架板和彈性各向異性導電膜，所述框架板形成有按照與應連接的電極相應的圖案的多個開口并具有導電性；所述彈性各向異性導電膜包括多個功能部分和被支持部分，所述多個功能部分由配置于該框架板的各開口處并沿厚度方向延伸的連接用導電部分和在其周圍一體地形成的絕緣部分構成，所述被支持部分一體地形成在上述功能部分的周圍、且層疊并固定在上述框架板上，其特征在于，上述彈性各向異性導電膜上的被支持部分中形成有沿厚度方向延伸的高頻屏蔽用導電部分，所述高頻屏蔽用導電部分是包圍著含有多個連接用導電部分的導電部分群而配置的，并與上述框架板電連接。在本專利技術的各向異性導電連接器中，還可以具有筒狀的高頻屏蔽用導電部分，并將該高頻屏蔽用導電部分配置在與1個連接用導電部分同軸的位置上，使其包圍該連接用導電部分。另外，本專利技術的各向異性導電連接器還可以具有包圍同一個連接用導電部分的多個高頻屏蔽用導電部分，包圍同一個連接用導電部分的相鄰的高頻屏蔽用導電部分之間的間距優選為小于等于測定信號波長的1/10。在本專利技術的各向異性導電連接器中，還可以在彈性各向異性導電膜上形成除連接用導電部分以外的1個或1個以上的非連接用導電部分，并配置高頻屏蔽用導電部分使其包圍包含多個連接用導電部分和1個或1個以上的非連接用導電部分的導電部分群。在本專利技術的各向異性導電連接器中，還本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種具有彈性各向異性導電膜的各向異性導電連接器，所述彈性各向異性導電膜具有按照與應連接的電極的圖案相對應地配置的、沿厚度方向延伸的多個連接用導電部分、和將所述連接用導電部分相互絕緣的絕緣部分，其特征在于，所述彈性各向異性導電膜中形成 有沿厚度方向延伸的高頻屏蔽用導電部分。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：佐藤克己，井上和夫，
申請(專利權)人：JSR株式會社，
類型：發明
國別省市：JP[日本]