極高能、高穩(wěn)定性的氣體放電激光的表面處理系統(tǒng)技術(shù)方案

揭示了一種氣體放電激光結(jié)晶裝置和方法，用于執(zhí)行工件襯底中晶體組成或方向的轉(zhuǎn)變，該裝置和方法可包括：多腔室激光系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括第一激光單元，以及激光定時和控制模塊，所述激光定時和控制模塊用于在３納秒左右創(chuàng)建傳送第二放電區(qū)域的氣體放電，并且作為ＰＯＰＯ，組合光學(xué)器件組合各輸出光束并定時在預(yù)定時間的３納秒左右創(chuàng)建組合輸出中的脈沖間隔。（*該技術(shù)在2024年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)涉及用于涉及使用激光在大區(qū)域上并且以高重復(fù)率進(jìn)行激光表面處理和/或襯底處理的制造過程的高功率、高穩(wěn)定性氣體放電激光器。 相關(guān)申請本申請是以下申請的部分繼續(xù)申請申請序列號為10/722,992題為“VERYHIGH ENERGY，HIGH STABILITY GAS DISCHAREGE LASER SURFACETREATMENT SYSTEM”(極高能、高穩(wěn)定性的氣體放電激光的表面處理系統(tǒng))于2003年11月26日提交的美國專利申請；序列號為10/631,349題為“CONTROLSYSTEM FOR TWO CHAMBER GAS DISCHARGE LASER”(雙室氣體放電激光器的控制系統(tǒng))于2003年7月30日提交的美國專利申請；序列號為10/233,253題為“LITHOGRAPHY LASER WITH BEAM DELIVERY AND BEAM POINTINGCONTROL”(具有光束傳送和光束指向控制的光刻激光器)于2002年8月30日提交的美國專利申請；序列號為10/012,002專利號為6,625,191并于2001年11月30日提交的題為“VERY NARROW BAND，TWO CHAMBER，HIGH REP RATEGAS DISCHARGE LASER SYSTEM”(極窄帶寬、雙室、高重復(fù)率的氣體放電激光系統(tǒng))的美國專利申請，其專利技術(shù)人是Knowles等人，在2002年10月24日公開，公開號為US20020154668A1；序列號09/943,343專利號為6,567,450并于2001年8月29日提交的題為“VERY NARROW BAND，TWO CHAMBER，HIGH REPRATE GAS DISCHARGE LASER SYSTEM”(極窄帶寬、雙室、高重復(fù)率的氣體放電激光系統(tǒng))的美國專利申請，其專利技術(shù)者是Myers等人，在2002年4月18日公開，公開號為US20020044586A1；申請序列號為09/837,035專利號為6,618,421并于2001年7月30日提交的題為“HIGH REPETITION RATE GAS DISCHARGELASER WITH PRECISE PULSE TIMING CONTROL”(具有精確脈沖定時控制的高重復(fù)率的氣體放電激光)的美國專利申請，其專利技術(shù)者是Das等人，在2002年1月31日公開，公開號為US/20020012376A1；且其全部公開內(nèi)容通過引用結(jié)合于此。本申請與以下申請有關(guān)申請序列號為10/607,407題為“METHOD ANDAPPARATUS FOR COOLING MAGNETIC CIRCUIT ELEMENTS”(冷卻磁路元件的方法和裝置)的美國專利申請，其律師案號為2003-0051-01并于2003年6月25日提交；申請序列號為10/606,412，題為“METHOD AND APPARATUS FORELECTRICALLY INTERCONNECTING HIGH VOLTAGE MODULESPOSITIONED IN RELATIVELY CLOSE PROXIMITY”(用于電連接相對靠近地放置的高壓模塊的方法和裝置)的美國專利申請，其律師案號為2002-0042-01并也于2003年6月25日提交；申請序列號為10/036,727題為“TIMING CONTROL FORTWO-CHAMBER GAS DISCHARGE LASER SYSTEM”(雙室氣體放電激光系統(tǒng)的定時控制)并于2001年12月21日提交的美國專利申請；申請序列號為10/141,201題為“GAS DISCHARGE ULTRAVIOLET LASER WITH ENCLOSED BEAM PATHWITH ADDED OXIDIZER”(使用附加氧化裝置的具有封閉光束路徑的氣體放電紫外線激光)并于2002年5月7日提交的美國專利申請；申請序列號為10/356,168題為“AUTOMATIC GAS CONTROL SYSTEM FOR A GAS DISCHARGE LASER”(用于氣體放電激光的自動氣體控制系統(tǒng))并于2003年1月31日提交的美國專利申請；申請序列號為09/848,043于2001年5月3日提交的題為“INJECTIONSEEDED LASER WITH PRECISE TIMING CONTROL”(具有精確定時控制的種子注入式激光)的美國專利申請，其專利技術(shù)者為Ness等人并于2002年7月4日公開，公開號為20020085606；申請序列號為10/141,201題為“GAS DISCHARGEULTRAVIOLET LASER WITH ENCLOSED BEAM PATH WITH ADDEDOXIDIZE”(使用附加氧化裝置的具有封閉光束路徑的氣體放電紫外線激光)并于2002年5月7日提交的美國專利申請，其專利技術(shù)者為Pan等人并于2002年11月14日公開，公開號為US20020167986A1；申請序列號為10/036,727于2001年12月21日提交的題為“TIMING CONTROL FOR TWO-CHAMBER GASDISCHARGE LASER SYSTEM”(雙室氣體放電激光系統(tǒng)的定時控制)并于2001年12月21日提交的美國專利申請，其專利技術(shù)者為Ershov等人并于2003年5月29日公開，公開號為US20020099269A1；申請序列號為10/012,002題為“VERYNARROW BAND，TWO CHAMBER，HIGH REP RATE GAS DISCHARGE LASERSYSTEM”(極窄帶寬、雙室、高重復(fù)率的氣體放電激光系統(tǒng))并于2001年11月30日提交、現(xiàn)已成為的美國專利號6,625,191的申請；申請序列號為09/837,035題為“HIGH REPETITION RATE GAS DISCHARGE LASER WITH PRECISEPULSE TIMING CONTROL”(具有精確脈沖定時控制的高重復(fù)率的氣體放電激光)并于2001年4月18日提交的申請，其現(xiàn)已成為美國專利6,619,421、和專利號為6,016,325題為“MAGNETIC MODULATOR VOLTAGE AND TEMPERATURETIMING COMPENSATION CIRCUIT”(磁性調(diào)節(jié)器電壓和溫度的定時補(bǔ)償電路)的美國專利、專利號為6,067,306題為“LASER-ILLUMINATED STEPPER ORSCANNER WITH ENERGY SENSOR FEEDBACK”(具有能量傳感器反饋的激光照亮的步進(jìn)電動機(jī)或掃描儀)的美國專利，系于2000年5月23日授予Sandstrom等人的；申請序列號為09/451,995題為“LONG-PULSE PULSE POWER SYSTEMFOR GAS DISCHARGE LASER”(用于氣體放電激光的長脈沖的脈沖功率系統(tǒng))并于1999年11月30日提交的美國專利申請；題為“LONG DELAY AND HIGH TISPULSE STRETCHE本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
一種用于執(zhí)行工件襯底中晶體組成或方向的轉(zhuǎn)變的氣體放電激光結(jié)晶設(shè)備，包括：　　　　多腔室激光系統(tǒng)，它包括：　　　　第一激光單元，包括：　　　　第一氣體放電腔室；　　　　第一對細(xì)長、相對、分開放置的電極，其容納于所述第一腔室內(nèi)，形成第一細(xì)長的氣體放電區(qū)域；　　　　一激光氣體，其包含在所述第一腔室內(nèi)，包括為在對工件上執(zhí)行的結(jié)晶處理最優(yōu)化的中央波長上產(chǎn)生激光而選擇的鹵素和惰性氣體；　　　　第二激光單元，它包括：　　　　第二氣體放電腔室；　　　　第二對細(xì)長、相對、分開放置的電極，其容納于所述第二腔室內(nèi)，形成第二細(xì)長的氣體放電區(qū)域；　　　　一激光氣體，其包含在所述第二腔室內(nèi)，包括為在對工件上執(zhí)行的結(jié)晶處理最優(yōu)化的中央波長上產(chǎn)生激光而選擇的鹵素和惰性氣體；　　　　一電源模塊，它包括：　　　　ＤＣ電源；　　　　第一脈沖壓縮和電壓遞升電路，其與所述ＤＣ電源相連并與所述第一對電極相連，包括多級零頭遞升變壓器和固態(tài)觸發(fā)開關(guān)，其中的變壓器具有多個串聯(lián)連接的初級線圈以及穿過所述多個初級線圈的每一個的單個次級線圈；　　　　第二脈沖壓縮和電壓遞升電路，其與所述ＤＣ電源相連并與所述第二對電極相連，包括多級零頭遞升變壓器和固態(tài)觸發(fā)開關(guān)，其中的變壓器具有多個串聯(lián)連接的初級線圈以及穿過所述多個初級線圈的每一個的單個次級線圈；以及　　　　一激光定時和控制模塊，可操作用于分別基于第一及第二脈沖壓縮和電壓遞升電路的操作參數(shù)來定時相應(yīng)的固態(tài)開關(guān)的閉合，以將所述第一和第二激光單元或者作為ＰＯＰＡ配置的激光系統(tǒng)或者作為ＰＯＰＯ配置的激光系統(tǒng)來運(yùn)作以產(chǎn)生單個輸出激光脈沖束。...

【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：PP達(dá)斯，BE鮑利格，P帕特爾，BC克萊恩，PC梅爾切，RB薩特瑞，
申請(專利權(quán))人：TCZ私人有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：SG[新加坡]