本發明專利技術提供一種節能且可不停爐維護真空泵的控制系統及其方法，該系統包括多臺單晶爐、主抽空系統、第一集中抽空系統、第二集中抽空系統，多個第一真空管路并聯匯合至與主抽空系統的真空泵管道連通，且每個第一真空管路上均設有一個對應每一臺單晶爐的一級主球閥，多個第二真空管路并聯匯合至與第一集中抽空系統的真空泵管道連通，且每個第二真空管路上均設有一個第一集中抽空球閥，多個第三真空管路并聯匯合至與第二集中抽空系統的真空泵管道連通，且每個第三真空管路上均設有一個第二集中抽空球閥。本發明專利技術能夠在爐臺處于高溫真空的繼續生產狀況下同時進行單獨維修和清理，真空泵的利用率高，使用效果好，維護方便，過濾效果好，清理更加方便。清理更加方便。清理更加方便。
【技術實現步驟摘要】
一種節能且可不停爐維護真空泵的控制系統及其方法
[0001]本專利技術涉及光伏設備
，具體涉及一種節能且可不停爐維護真空泵的控制系統以及應用該系統的控制方法。
技術介紹
[0002]在光伏技術飛速發展的今天，利用硅單晶所生產的太陽能電池可以直接把太陽能轉化為光能，實現了邁向綠色能源革命的開始。單晶生長爐是單晶體生長設備，隨著光伏技術的飛速發展，該產業也得到了飛速的發展，單晶體生長要求在真空和惰性氣體中進行。真空裝置應能保證爐體內熱真空度達5
×
1024mm汞柱以上。
[0003]現在的生產過程中，每個單晶爐臺都配備一個主真空泵及聯通集中真空泵，單晶爐臺從開始生產到主過濾罐氧化物需要清理的整個環節，主抽空泵一直處于工作狀態，使單晶爐內一直處于負壓狀態（約13Torr）；拉制完一條晶棒并提出后的復投（投入多晶硅）環節，需要集中真空泵介入工作。使得爐臺始終處于負壓甚至真空、高溫的生產使用狀態。
[0004]在生產中，過濾罐、主真空泵、爐臺均存在需要維修的情況，過濾罐是需要400小時清洗一次，真空泵出現損壞需要的情況也有存在，但每次清理和維修，必須把高溫真空的爐臺暫停（從單晶爐臺停功率到從新開爐，預計需要16小時，石英坩堝特性是經歷高溫后就損壞）才可以進行維修和清理，這期間會照成停產的損失，同時持續運行一定時間后，單晶爐臺也需要清潔（氧化物）。并且，現目前設備都是采用每爐配一臺真空泵，真空泵在大多數時間是出于空閑狀態，每臺爐配一臺真空泵造成成本的浪費。
[0005]此外，如果使用惰性氣體作保護氣氛，爐體上、下都設有進出氣的氣口。生長單晶體時，抽真空及真空裝置注入惰性氣體后都需配備除塵過濾裝置。該裝置綜合運用離心力、慣性碰撞、接觸阻留、布朗擴散這幾種除塵機理，將單晶粉塵收集到除塵過濾裝置的盛灰室內。現有的單晶爐除塵過濾裝置內部的過濾單元多為過濾管類型，通透性弱，過濾面積小，從而影響除塵和過濾效果。
技術實現思路
[0006]為了克服現有技術的不足，本專利技術的目的在于提供一種節能且可不停爐維護真空泵的控制系統及其方法，該系統和方法能夠在爐臺處于高溫真空狀況的繼續生產情況下同時進行單獨維修和清理，可以提高真空泵的利用率，保證較好的使用效果，維護方便，過濾效果好，清理更加方便。
[0007]為解決上述問題，本專利技術所采用的技術方案如下：一種節能且可不停爐維護真空泵的控制系統，包括：多臺單晶爐、主抽空系統、第一集中抽空系統、第二集中抽空系統，每臺所述單晶爐的第一出口均連接有一個第一真空管路，多個所述第一真空管路并聯匯合至與所述主抽空系統的真空泵管道連通，且每個所述第一真空管路上均設有一個對應每一臺所述單晶爐的一級主球閥，以控制所述主抽空系統通過真空泵管道抽取所述單晶爐爐筒內的氣體；每臺所述單晶爐的第二出口均連接有一
個第二真空管路，多個所述第二真空管路并聯匯合至與所述第一集中抽空系統的真空泵管道連通，且每個所述第二真空管路上均設有一個第一集中抽空球閥，以控制所述第一集中抽空系統通過真空泵管道抽取所述單晶爐爐筒內的氣體；每臺所述單晶爐第三出口均連接有一個第三真空管路，多個所述第三真空管路并聯匯合至與所述第二集中抽空系統的真空泵管道連通，且每個所述第三真空管路上均設有一個第二集中抽空球閥，以控制所述第二集中抽空系統通過真空泵管道抽取所述單晶爐爐筒內的氣體。
[0008]進一步的方案是，所述主抽空系統包括N組主抽空裝置，每一組所述主抽空裝置均包括沿著氣流方向依次設置在真空泵管道的二級主球閥、主過濾罐、主真空泵，其中，N≥4，所述單晶爐的數量為M個，M≥11。
[0009]更進一步的方案是，所述第一集中抽空系統包括沿著氣流方向依次設置在真空泵管道的第一集中抽過濾罐、第一集中抽真空泵，所述第一集中抽過濾罐連接于多臺所述單晶爐和所述第一集中抽真空泵之間，所述第一集中抽真空泵、第一集中抽過濾罐的數量為1個。
[0010]更進一步的方案是，所述第二集中抽空系統包括沿著氣流方向依次設置在真空泵管道的第二集中抽過濾罐、第二集中抽真空泵，所述第二集中抽過濾罐連接于多臺所述單晶爐和所述第二集中抽真空泵之間，所述第二集中抽真空泵、第二集中抽過濾罐的數量為1個。
[0011]更進一步的方案是，所述主抽空系統、第一集中抽空系統、第二集中抽空系統、一級主球閥、二級主球閥、第一集中抽空球閥、第二集中抽空球閥分別與統一的控制系統信號連接，由其自動控制開啟或關閉。
[0012]更進一步的方案是，所述主過濾罐、第一集中抽過濾罐、第二集中抽過濾罐均包括過濾罐主體，所述過濾罐主體與多臺所述單晶爐連通，其中，所述過濾罐主體內部設置有過濾單元，用于過濾所述單晶爐排放的氣體；所述過濾罐主體下端設置有用于排放雜質顆粒的排放口。
[0013]更進一步的方案是，所述主抽空系統的真空泵管道上設有真空壓力傳感器以及自動放氣閥，所述真空壓力傳感器與單晶爐的報警輸出回路連接，當真空壓力傳感器檢測到的壓力信號超過設定的高壓閾值
?
95.0Kpa時，由單晶爐的報警輸出回路發出報警，并控制所述自動放氣閥工作。
[0014]一種節能且可不停爐維護真空泵的控制系統的控制方法，該方法應用于上述的一種節能且可不停爐維護真空泵的控制系統進行控制，該方法包括；在操作前將主抽空系統、第一集中抽空系統、第二集中抽空系統的真空泵管道分別接到M臺單晶爐上，M≥11；主抽空系統、第一集中抽空系統、第二集中抽空系統切換式地處于工作狀態，當控制系統工作時，由主抽空系統的主真空泵開始工作，通過真空泵管道抽空單晶爐內空氣，檢測在達到所需的真空度時，主真空泵停止工作，單晶爐處于高溫負壓狀態，所有單晶爐的負壓由N組主抽空裝置的主真空泵提供，第一集中抽空系統和第二集中抽空系統處于關閉狀態，N≥4；當需要單獨清洗或維修主過濾罐或主真空泵時，關閉主抽空系統中與主過濾罐或主真空泵對應的二級主球閥，即可進行單獨清洗或維修；當需要清理單晶爐中的氧化物時，關閉第一真空管路的一級主球閥和主抽空系統的二級主球閥，由于清潔單晶爐后爐內壓力為常壓狀態，這時啟用第二集中抽空系統的第二集中抽真空泵，當該單晶爐內壓力達到13Torr時，切換
到主真空泵；若其中一臺單晶爐因氧化物堆積過多而導致爐壓上漲時，利用第二集中抽真空泵的負壓瞬間將氧化物清理出管道。
[0015]進一步的方案是，將主抽空系統、第一集中抽空系統、第二集中抽空系統的真空泵管道分別接到M臺單晶爐上，具體包括：設置有N組主抽空裝置，通過M個第一真空管路將M臺單晶爐并聯匯合連通至主抽空系統的真空泵管道，將連通于M臺單晶爐的真空泵管道分為N個分流管道，每個分流管道依次連通于每組主抽空裝置的二級主球閥、主過濾罐、主真空泵；通過M個第二真空管路將M臺單晶爐并聯匯合連通至第一集中抽空系統的真空泵管道，通過M個第三真空管路將M臺單晶爐并聯匯合連通至第二集中抽空系統的真空泵管道。
[0016]更進一步的方案是，待達到所需的真空度后，主真空泵停止工作，檢測是否有其他球閥打開，如果有，本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種節能且可不停爐維護真空泵的控制系統，其特征在于，包括：多臺單晶爐、主抽空系統、第一集中抽空系統、第二集中抽空系統，每臺所述單晶爐的第一出口均連接有一個第一真空管路，多個所述第一真空管路并聯匯合至與所述主抽空系統的真空泵管道連通，且每個所述第一真空管路上均設有一個對應每一臺所述單晶爐的一級主球閥，以控制所述主抽空系統通過真空泵管道抽取所述單晶爐爐筒內的氣體；每臺所述單晶爐的第二出口均連接有一個第二真空管路，多個所述第二真空管路并聯匯合至與所述第一集中抽空系統的真空泵管道連通，且每個所述第二真空管路上均設有一個第一集中抽空球閥，以控制所述第一集中抽空系統通過真空泵管道抽取所述單晶爐爐筒內的氣體；每臺所述單晶爐第三出口均連接有一個第三真空管路，多個所述第三真空管路并聯匯合至與所述第二集中抽空系統的真空泵管道連通，且每個所述第三真空管路上均設有一個第二集中抽空球閥，以控制所述第二集中抽空系統通過真空泵管道抽取所述單晶爐爐筒內的氣體。2.根據權利要求1所述的控制系統，其特征在于：所述主抽空系統包括N組主抽空裝置，每一組所述主抽空裝置均包括沿著氣流方向依次設置在真空泵管道的二級主球閥、主過濾罐、主真空泵，其中，N≥4，所述單晶爐的數量為M個，M≥11。3.根據權利要求2所述的控制系統，其特征在于：所述第一集中抽空系統包括沿著氣流方向依次設置在真空泵管道的第一集中抽過濾罐、第一集中抽真空泵，所述第一集中抽過濾罐連接于多臺所述單晶爐和所述第一集中抽真空泵之間，所述第一集中抽真空泵、第一集中抽過濾罐的數量為1個。4.根據權利要求3所述的控制系統，其特征在于：所述第二集中抽空系統包括沿著氣流方向依次設置在真空泵管道的第二集中抽過濾罐、第二集中抽真空泵，所述第二集中抽過濾罐連接于多臺所述單晶爐和所述第二集中抽真空泵之間，所述第二集中抽真空泵、第二集中抽過濾罐的數量為1個。5.根據權利要求1至4任一項所述的控制系統，其特征在于：所述主抽空系統、第一集中抽空系統、第二集中抽空系統、一級主球閥、二級主球閥、第一集中抽空球閥、第二集中抽空球閥分別與統一的控制系統信號連接，由其自動控制開啟或關閉。6.根據權利要求4所述的控制系統，其特征在于：所述主過濾罐、第一集中抽過濾罐、第二集中抽過濾罐均包括過濾罐主體，所述過濾罐主體與多臺所述單晶爐連通，其中，所述過濾罐主體內部設置有過濾單元，用于過濾所述單晶爐排放的氣體；所述過濾罐主體下端設置有用于排放雜質顆粒的排放口。7.根據權利要求1至4任一項所述的控制系統，其特征在于：所述主抽空系統的真空泵管道上設有真空壓力傳感器以及自動放氣閥，所述真空壓力傳感器與單晶爐的...
【專利技術屬性】
技術研發人員：孫彬，徐志群，付明全，王迎春，馬偉萍，
申請(專利權)人：廣東高景太陽能科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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