本發明專利技術公開了一種可以防止運送過程中放置產品脫落的片盒，包括底座和放置架，放置架設置在底座上方，放置架包括豎向設置的兩塊放置板，兩塊放置板之間設有存儲空間，放置板的側壁靠近存儲空間的一側上設有若干個豎向排列的放置槽；所述存儲空間在水平位置上包括開口端和限位端；放置板靠近開口端的一側設有滑動限位結構，限位結構包括升降塊，所述升降塊上設有若干個豎向依次排列的限位條，限位條與放置槽一一對應，升降塊與放置架沿豎直方向滑動連接。本發明專利技術提供了一種可以防止運送過程中放置產品脫落的片盒，可以實現多個薄片產品的堆放烤制，且放置板與的接觸位置為線接觸，減少膠粘污染。少膠粘污染。少膠粘污染。
【技術實現步驟摘要】
一種可以防止運送過程中放置產品脫落的片盒
[0001]本專利技術涉及晶圓加工
，尤其是涉及一種可以防止運送過程中放置產品脫落的片盒。
技術介紹
[0002]如今，半導體行業急速發展，伴隨著與之息息相關的半導體設備不斷更新換代。半導體行業是技術密集型產業，其發展水平與工藝流程和硬件設施有著密切聯系。近年來國內微電子產業不斷發展壯大，但有許多依賴于國外半導體設備，勻膠顯影機臺又是其中重要的一種工藝設備。面對國外高端設備的涌入，而國內相關技術的匱乏，急需開發研制自己的高端設備。現有技術中，晶圓勻膠機臺有勻膠機顯影機和勻膠顯影機之分，在可以滿足機臺全自動工作的基礎之上，我們需要進一步提高機臺效率。為了解決此類問題，本申請人研發的全自動勻膠機，通機器人配合勻膠腔體完成晶圓的自動取放和加工，而后又可以自動的放送至下一步的工藝設備之中，保證了加工過程中無需人為參與，既保障了安全性能，又大大提高了晶圓加工效率，可實現全天候不間斷的晶圓加工。在晶圓的自動取放和加工時，需要一種片盒，可以存放薄片狀的晶圓，并將涂有膠體的晶圓放入烤箱烤制。
技術實現思路
[0003]本專利技術為了滿足晶圓勻膠機臺全自動工作的需要，提供一種可以防止運送過程中放置產品脫落的片盒，可以實現多個薄片產品的堆放烤制，且放置板與的接觸位置為線接觸，減少膠粘污染。
[0004]為了實現上述目的，本專利技術采用以下技術方案：一種可以防止運送過程中放置產品脫落的片盒，包括底座和放置架，底座上設有用于確定放置架位置的定位塊，放置架設置在底座上方，放置架包括豎向設置的兩塊放置板，兩塊放置板之間設有存儲空間，放置板的側壁靠近存儲空間的一側上設有若干個豎向排列的放置槽，兩塊放置板的上的放置槽一一對應，所述放置槽的下底面由設置該放置槽的放置板向另一塊放置板一側傾斜。
[0005]上述技術方案中，存儲空間內可以疊放多個薄片產品，薄片的兩側分別與放置槽的下底面接觸，由于放置槽的下底面傾斜，薄片與放置板的接觸位置為線接觸，而不是面接觸，減少膠粘污染。使用時，只需要將放置架放置在底座對應的位置上，然后通過機械臂將薄片吸住，再將涂有涂料的一側朝上依次放入放置槽堆疊即可，各個薄片之間設有間隙，薄片堆疊后，再將放置架從底座上取下，放置到烤箱內進行烤制。
[0006]作為優選，所述放置板的材料為PEEK。PEEK材料是一種新型的半晶態芳香族塑性工程塑料，具有極其出色的物理、力學性能，在許多特殊領域可以替代金屬、陶瓷等傳統材料，在減輕質量，提高性能方面貢獻突出。
[0007]作為優選，兩塊放置板的頂部通過連接板固定。
[0008]作為優選，連接板靠近存儲空間的開口端的一側設有通風口。所述結構便于后期
烤制時的熱交換。
[0009]作為優選，所述底座上設有若干個位置不同的定位塊。位置不同的定位塊可以形成不同的限位位置，使底座適配不同大小的放置架，從而適配不同大小的產品。
[0010]作為優選，所述底座上設有若干個接近開關，接近開關設置在靠近定位的位置上。所述接近開關可以檢測該位置是否設有放置架，不同的放置架放在底座上所出發的接近開關不同，可以通過接近開關檢測放置架的大小。
[0011]作為優選，所述存儲空間在水平位置上包括開口端和限位端，放置板靠近限位端的一側設有用于限制薄片滑出的限位塊；放置板靠近開口端的一側設有滑動限位結構，限位結構包括升降塊，所述升降塊上設有若干個豎向依次排列的限位條，限位條與放置槽一一對應，升降塊與放置架沿豎直方向滑動連接；放置架放置在底座上時，升降塊的底部與底座接觸并向上滑動，相鄰限位條之間的間隙與放置槽齊平，放置架放置離開底座時，升降塊向下滑動，限位條與放置槽齊平并擋住放置槽內的薄片。
[0012]上述技術方案中，放置架在離開底座后，限位條可以在運送過程中避免薄片從放置槽內滑出。且限位結構不需要其它驅動件，由放置架于底座的位置關系決定，安全可靠。放置架放入烤箱后，升降塊底部與烤箱內的底面接觸，限位條同樣可以打開，避免烤制過程中滑動限位結構對產品質量產生影響。
[0013]作為優選，所述限位條上設有與薄片側面輪廓適配的曲面。限位條上設有與薄片側面輪廓適配的曲面，使限位條與薄片的側壁充分貼合，達到更好的限位穩定效果。
[0014]作為優選，所述升降塊包括連接塊、壓緊塊和第一彈簧，連接塊與放置架沿豎直方向滑動連接，壓緊塊與連接塊沿水平方向滑動連接，第一彈簧兩端分別與壓緊塊和連接塊連接（第一彈簧使壓緊塊和連接塊保持遠離的運動趨勢），所述限位條設置在壓緊塊上，所述底座與升降塊接觸的位置上設有接觸頂塊，接觸頂塊包括設置在連接塊下方的上頂塊和設置在壓緊塊下方的斜頂塊，斜頂塊上設有第一導向斜面，壓緊塊與第一導向斜面接觸的位置上設有第二導向斜面。
[0015]上述技術方案中，當放置架放置到底座上時，第一導向斜面與第二導向斜面先接觸，壓緊塊相對連接塊水平滑動，當上頂塊與連接塊底面接觸時，連接塊與壓緊塊一起上升，使限位條之間的間隙與放置槽齊平，使薄片可以通過。當放置架離開底座時，連接塊與壓緊塊一起下降，使限位條與放置槽齊平并擋住放置槽內的薄片，然后在第一彈簧的作用下，壓緊塊相對連接塊水平滑動，使限位條壓緊薄片產品的側壁。
[0016]作為優選，所述放置板上設有第二彈簧，第二彈簧兩端分別連接放置板和連接塊，第二彈簧使連接塊相對放置板保持向下運動趨勢。所述結構可以在放置架脫離底座時，保證連接塊可以相對放置板向下運動。
[0017]作為優選，所述放置板上設有L形的導槽，導槽包括豎直槽和水平槽，導槽內設有U形滑塊和條形滑塊，U形滑塊與連接塊固定，條形滑塊壓緊塊固定；U形滑塊與豎直槽沿豎直方向滑動連接，條形滑塊的一端設置在U形滑塊內且與U形滑塊沿水平方向滑動連接，U形滑塊的開口端朝向水平槽，U形滑塊的開口端與水平槽齊平時，條形滑塊的一端可伸入水平槽。
[0018]上述技術方案中，水平槽與條形滑塊適配。所述結構可以嚴格限制連接塊的壓緊塊滑動先后順序。當限位條壓緊薄片側壁時，此時放置架遠離底座，需要將放置架放在底座
上，或者烤盤的底座上時，條形滑塊部分位于水平槽內，此時U形滑塊無法在豎直槽內滑動，即壓緊塊只能相對連接塊水平滑動，當條形滑塊完全進入U形滑塊的U形開口內后，條形滑塊的限位作用消失，U形滑塊和條形滑塊可以一起在豎直槽內滑動，即壓緊塊和連接塊可以相對放置板一起在豎直方向上移動。當放置架放置在底座上需要取走時，U形滑塊和條形滑塊位于豎直槽內，在可以在豎直槽內豎直滑動，當放置架離開底座后，連接塊和U形滑塊一起下移，U形滑塊移動到與水平槽齊平的位置，U形滑塊的開口端對準水平槽，條形滑塊可以部分脫離U形滑塊進入水平槽內，此時壓緊塊和限位條橫移壓緊產品的側壁，部分進入水平槽內的條形滑塊限制U形滑塊在豎直槽內的滑動。通過嚴格限制連接塊的壓緊塊滑動先后順序，避免限位條劃傷產品側壁，或者限位條上下移動造成產品變形損壞。
[0019]本專利技術的有益效果是：（1）可以實現多個薄片產品的堆放烤制，且放置板與本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種可以防止運送過程中放置產品脫落的片盒，其特征是，包括底座和放置架，底座上設有用于確定放置架位置的定位塊，放置架設置在底座上方，放置架包括豎向設置的兩塊放置板，兩塊放置板之間設有存儲空間，放置板的側壁靠近存儲空間的一側上設有若干個豎向排列的放置槽，兩塊放置板的上的放置槽一一對應；所述存儲空間在水平位置上包括開口端和限位端，放置板靠近限位端的一側設有用于限制薄片滑出的限位塊；放置板靠近開口端的一側設有滑動限位結構，限位結構包括升降塊，所述升降塊上設有若干個豎向依次排列的限位條，限位條與放置槽一一對應，升降塊與放置架沿豎直方向滑動連接；放置架放置在底座上時，升降塊的底部與底座接觸并向上滑動，相鄰限位條之間的間隙與放置槽齊平，放置架放置離開底座時，升降塊向下滑動，限位條與放置槽齊平并擋住放置槽內的薄片。2.根據權利要求1所述的一種可以防止運送過程中放置產品脫落的片盒，其特征是，所述底座上設有若干個位置不同的定位塊。3.根據權利要求2所述的一種可以防止運送過程中放置產品脫落的片盒，其特征是，所述底座上設有若干個接近開關，接近開關設置在靠近定位的位置上。4.根據權利要求1或2或3所述的一種可以防止運送過程中放置產品脫落的片盒，其特征是，所述限位條上設有與薄片側面輪...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王沖，傅立超，
申請(專利權)人：寧波潤華全芯微電子設備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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