本申請公開了一種晶圓料盒的開蓋裝置，包括：基座；載物臺，載物臺安裝于基座表面，用于承載晶圓料盒；機械臂，機械臂位于基座的側(cè)面，且機械臂朝向基座的面上設(shè)置有吸盤和開鎖件，吸盤用于吸附晶圓料盒的盒蓋，開鎖件用于解鎖或鎖閉晶圓料盒的盒蓋；動力組件，動力組件分別與載物臺和機械臂驅(qū)動連接，用于驅(qū)動載物臺繞基座的中心旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動機械臂向遠(yuǎn)離基座或靠近基座的方向伸縮移動。本申請通過動力組件帶動機械臂運動，實現(xiàn)自動解鎖或鎖閉晶圓料盒的合蓋，且吸盤能夠可靠吸附晶圓料盒的盒蓋，操作簡單，降低了的手動操作的風(fēng)險，可靠開鎖或鎖閉晶圓料盒的同時，保證內(nèi)部晶圓不被損壞。保證內(nèi)部晶圓不被損壞。保證內(nèi)部晶圓不被損壞。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
晶圓料盒的開蓋裝置
[0001]本技術(shù)一般涉及半導(dǎo)體設(shè)備
，具體涉及一種晶圓料盒的開蓋裝置。
技術(shù)介紹
[0002]半導(dǎo)體行業(yè)中12寸晶圓生產(chǎn)過程中會進(jìn)行料盒的開蓋合蓋動作，一般地，人為手持鑰匙插入蓋子的鑰匙孔中，將鑰匙和蓋子推向或拉離料盒，并通過鑰匙旋轉(zhuǎn)撥動內(nèi)部齒輪使蓋體機械結(jié)構(gòu)向外伸出鎖住料盒，向內(nèi)收縮打開料盒。在此過程中，操作員擰開料盒的蓋子時，由于人為雙手的不穩(wěn)定性，在開蓋過程中極易使蓋子脫落從而砸到內(nèi)部晶圓，導(dǎo)致晶圓破裂，或者操作員在鎖緊蓋子時，在批量操作時容易慣性操作確認(rèn)不到有沒有關(guān)好就把鑰匙拔出使盒蓋掉落砸到晶圓。
技術(shù)實現(xiàn)思路
[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷或不足，期望提供一種晶圓料盒的開蓋裝置，實現(xiàn)自動開蓋或鎖蓋，降低了手動操作的風(fēng)險，保證可靠保證可靠開鎖或鎖閉晶圓料盒的同時，保證內(nèi)部晶圓不被損壞。
[0004]第一方面，本技術(shù)提供一種晶圓料盒的開蓋裝置，包括：
[0005]基座；
[0006]載物臺，載物臺安裝于基座表面，用于承載晶圓料盒；
[0007]機械臂，機械臂位于基座的側(cè)面，且機械臂朝向基座的面上設(shè)置有吸盤和開鎖件，吸盤用于吸附晶圓料盒的盒蓋，開鎖件用于解鎖或鎖閉晶圓料盒的盒蓋；
[0008]動力組件，動力組件分別與載物臺和機械臂驅(qū)動連接，用于驅(qū)動載物臺繞基座的中心旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動機械臂向遠(yuǎn)離基座或靠近基座的方向伸縮移動。
[0009]作為可選的方案，機械臂包括相互垂直的第一臂和第二臂，第一臂與基座所在的平面平行且其一端安裝于基座內(nèi)部，第一臂的另一端與第二臂連接，第二臂與基座所在的平面垂直且其自由端朝向載物臺面上設(shè)置有吸盤和開鎖件。
[0010]作為可選的方案，基座內(nèi)部設(shè)置有滑軌，第一臂的一端滑動配合在滑軌上，且第一臂可沿滑軌的長度方向移動。
[0011]作為可選的方案，基座至少相鄰的兩側(cè)面敞口且連通，基座內(nèi)部設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸與動力組件驅(qū)動連接，滑軌套設(shè)在轉(zhuǎn)軸上，用于帶動機械臂從基座的一側(cè)面旋轉(zhuǎn)至另一側(cè)面。
[0012]作為可選的方案，還包括：鎖定機構(gòu)，鎖定機構(gòu)包括：鎖止銷和鎖止孔，滑軌和基座底面其中一個上開設(shè)有鎖止孔，另一個上安裝有鎖止銷；
[0013]滑軌旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度后，鎖止銷在彈性件和/或重力作用下插入鎖止孔，滑軌的位置被鎖定。
[0014]作為可選的方案，吸盤包括至少兩個，吸盤間隔均勻設(shè)置于機械臂朝向基座的面上。
[0015]作為可選的方案，開鎖件與動力組件，動力組件驅(qū)動開鎖件轉(zhuǎn)動，用于實現(xiàn)開鎖或鎖閉晶圓料盒的合蓋。
[0016]作為可選的方案，還包括：真空泵，真空泵安裝于基座內(nèi)部，真空泵通過管路與吸盤連通。
[0017]作為可選的方案，載物臺表面設(shè)置限位結(jié)構(gòu)，限位結(jié)構(gòu)用于固定晶圓料盒。
[0018]作為可選的方案，載物臺上設(shè)置有感應(yīng)件，感應(yīng)件用于檢測載物臺上是否放置有晶圓料盒，基座上設(shè)置有控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)分別與感應(yīng)件和動力組件電連接，控制系統(tǒng)用于根據(jù)感應(yīng)件的感應(yīng)信號控制動力組件工作。
[0019]本技術(shù)的有益效果如下：
[0020]本技術(shù)的晶圓料盒的開蓋裝置，通過動力組件帶動機械臂運動，實現(xiàn)自動解鎖或鎖閉晶圓料盒的合蓋，并且機械臂上的吸盤能夠可靠吸附晶圓料盒的盒蓋，避免料盒掉落砸到晶圓，操作簡單，降低了的手動操作的風(fēng)險，保證可靠開鎖或鎖閉晶圓料盒的同時，內(nèi)部晶圓不被損壞，有利于提高生產(chǎn)效率和良品率。
附圖說明
[0021]通過閱讀參照以下附圖所作的對非限制性實施例所作的詳細(xì)描述，本申請的其它特征、目的和優(yōu)點將會變得更明顯：
[0022]圖1為本技術(shù)的一個實施例的晶圓料盒的開蓋裝置的主視圖；
[0023]圖2為本技術(shù)的一個實施例的晶圓料盒的開蓋裝置的側(cè)視圖；
[0024]圖3為本技術(shù)的一個實施例的晶圓料盒的開蓋裝置中基座上動力組件的安裝示意圖；
[0025]圖4為本技術(shù)的一個實施例的晶圓料盒的開蓋裝置中鎖止銷的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖5為本技術(shù)的一個實施例的晶圓料盒的開蓋裝置上放置晶圓料盒的示意圖；
[0027]圖6為本技術(shù)的一個實施例的晶圓料盒的開蓋裝置旋轉(zhuǎn)載物臺90度后的示意圖；
[0028]圖7為本技術(shù)的一個實施例的晶圓料盒的開蓋裝置的吸盤與盒蓋吸附貼合的示意圖；
[0029]圖8為本技術(shù)的一個實施例的晶圓料盒的開蓋裝置取下盒蓋的示意圖；
[0030]圖9為本技術(shù)的一個實施例的晶圓料盒的開蓋裝置取下盒蓋后載物臺反向旋轉(zhuǎn)90度的示意圖。
[0031]圖中：
[0032]1.基座，11.滑軌，2.載物臺，21.晶圓料盒，22.盒蓋，3.機械臂，31.吸盤，32.開鎖件，33.第一臂，34.第二臂，4.動力組件，5.真空泵，61.鎖止銷，62.彈簧。
具體實施方式
[0033]下面結(jié)合附圖和實施例對本申請作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。可以理解的是，此處所描述的具體實施例僅僅用于解釋相關(guān)技術(shù)，而非對該技術(shù)的限定。另外還需要說明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與技術(shù)相關(guān)的部分。
[0034]需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細(xì)說明本申請。
[0035]需要說明的是，在本申請的描述中，術(shù)語“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。
[0036]需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通或兩個元件的相互作用關(guān)系。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本申請中的具體含義。
[0037]如圖1
?
圖3所示，本申請的實施例提供一種晶圓料盒的開蓋裝置，包括：
[0038]基座1；
[0039]載物臺2，載物臺2安裝于基座1表面，用于承載晶圓料盒21；
[0040]機械臂3，機械臂3位于基座1的側(cè)面，且機械臂3朝向基座1的面上設(shè)置有吸盤31和開鎖件32，吸盤31用于吸附晶圓料盒21的盒蓋22，開鎖件32用于解鎖或鎖閉晶圓料盒21的盒蓋22；
[0041]動力組件4，動力組件4分別與載物臺2和機械臂3驅(qū)動連接，用于驅(qū)動載物臺2繞基座1的中心旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動機械臂3向遠(yuǎn)離基座1或靠近基座1的方向伸縮移動。
[0042]需要說明的是，基座1是整個晶圓料盒的開蓋裝置的主體，用于承載和安裝載物臺2、晶圓料盒21和機械臂3和動力組件4，保證晶圓料盒21能夠可靠穩(wěn)定地放置在基座1上，并在動力組件4的驅(qū)本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點】
【技術(shù)特征摘要】
1.晶圓料盒的開蓋裝置，其特征在于，包括：基座；載物臺，所述載物臺安裝于所述基座表面，用于承載所述晶圓料盒；機械臂，所述機械臂位于所述基座的側(cè)面，且所述機械臂朝向所述基座的面上設(shè)置有吸盤和開鎖件，所述吸盤用于吸附所述晶圓料盒的盒蓋，所述開鎖件用于解鎖或鎖閉所述晶圓料盒的盒蓋；動力組件，所述動力組件分別與所述載物臺和所述機械臂驅(qū)動連接，用于驅(qū)動所述載物臺繞所述基座的中心旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動所述機械臂向遠(yuǎn)離所述基座或靠近所述基座的方向伸縮移動。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓料盒的開蓋裝置，其特征在于，所述機械臂包括相互垂直的第一臂和第二臂，所述第一臂與所述基座所在的平面平行且其一端安裝于所述基座內(nèi)部，所述第一臂的另一端與所述第二臂連接，所述第二臂與所述基座所在的平面垂直且其自由端朝向所述載物臺面上設(shè)置有所述吸盤和所述開鎖件。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓料盒的開蓋裝置，其特征在于，所述基座內(nèi)部設(shè)置有滑軌，所述第一臂的一端滑動配合在所述滑軌上，且所述第一臂可沿所述滑軌的長度方向移動。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓料盒的開蓋裝置，其特征在于，所述基座至少相鄰的兩側(cè)面敞口且連通，所述基座內(nèi)部設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸與所述動力組件驅(qū)動連接，所述滑軌套設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸上，用于帶動所述機械臂從所述基座的一側(cè)面旋轉(zhuǎn)至另一側(cè)面。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓料盒的開蓋裝置，其特征在于，還包括：鎖定機構(gòu)，所述鎖定機構(gòu)包括：鎖...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：許玉斌，
申請(專利權(quán))人：廈門通富微電子有限公司，
類型：新型
國別省市：
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