一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開(kāi)了一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具，包括載物臺(tái)，所述載物臺(tái)底部四角位置均固定連接有液壓桿，所述載物臺(tái)底部凹槽內(nèi)固定連接有兩個(gè)氣浮機(jī)，所述載物臺(tái)頂部前端位置固定連接有第一限位板。本實(shí)用新型專利技術(shù)中，進(jìn)氣口外徑設(shè)置有螺紋圈，螺紋圈在安裝進(jìn)氣管道時(shí)較為方便，也避免了漏氣的現(xiàn)象發(fā)生，通過(guò)進(jìn)氣口對(duì)氣浮機(jī)內(nèi)部進(jìn)行輸送氣體，然后使車體稍微懸浮，氣浮機(jī)可以懸浮起上噸的貨物，運(yùn)輸?shù)呢浳锱枯^大，懸浮起以后，工人直接推動(dòng)車體即可，懸浮以后可以大大減少車體與地面的接觸，推起來(lái)更為輕便，該設(shè)備是兩用車體，使用范圍較廣，可以大大節(jié)省人工使用，值得大力推廣。值得大力推廣。值得大力推廣。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具


[0001]本技術(shù)涉及載具的
，尤其涉及一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具。

技術(shù)介紹

[0002]晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.999999999％。
[0003]中國(guó)專利文獻(xiàn)202022673149.X公開(kāi)一種載具，其包括基座、工件安裝座以及隨動(dòng)器。基座具有凹槽。工件安裝座沿著第一方向滑動(dòng)設(shè)置于凹槽。隨動(dòng)器沿著第一方向設(shè)置于工件安裝座的一側(cè)。通過(guò)隨動(dòng)器與組裝設(shè)備的定位組件配合，承載工件的工作安裝座能夠調(diào)整其在第一方向上的位置，以使組裝過(guò)程的定位精確度提高。如此一來(lái)，便能夠有效地提高產(chǎn)品的質(zhì)量。該專利不具備氣浮式運(yùn)輸功能，運(yùn)輸貨量較少，使用范圍較小。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

[0004]本技術(shù)的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)采用了如下技術(shù)方案：一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具，包括載物臺(tái)，所述載物臺(tái)底部四角位置均固定連接有液壓桿，所述載物臺(tái)底部凹槽內(nèi)固定連接有兩個(gè)氣浮機(jī)，兩個(gè)所述氣浮機(jī)前端中間位置貫穿并固定連接有進(jìn)氣口，所述載物臺(tái)頂部前端位置固定連接有第一限位板，所述第一限位板左右兩側(cè)中間位置均貫穿并螺紋連接有第一螺栓，所述載物臺(tái)頂部后端位置固定連接有第二限位板，所述第二限位板左右兩側(cè)中間位置均貫穿并螺紋連接有第二螺栓，所述載物臺(tái)頂部右側(cè)位置固定連接有擋板，所述擋板右側(cè)頂部位置固定連接有推把，所述推把外徑中間位置固定連接有護(hù)墊。
[0006]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：
[0007]所述液壓桿外徑設(shè)置有減震彈簧。
[0008]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：
[0009]四個(gè)所述液壓桿底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有行走輪。
[0010]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：
[0011]兩個(gè)所述進(jìn)氣口外徑設(shè)置有螺紋圈。
[0012]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：
[0013]兩個(gè)所述第一螺栓前端位置固定連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng)把手。
[0014]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：
[0015]兩個(gè)所述第一螺栓后端位置固定連接有第一L型固定器。
[0016]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：
[0017]兩個(gè)所述第二螺栓后端位置固定連接有第二轉(zhuǎn)動(dòng)把手。
[0018]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：
[0019]兩個(gè)所述第二螺栓前端位置固定連接有第二L型固定器。
[0020]本技術(shù)具有如下有益效果：
[0021]1、本技術(shù)中，首先在使用時(shí)，將晶圓放置在載物臺(tái)上方，晶圓較多時(shí)，可以通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)兩側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)把手，轉(zhuǎn)動(dòng)把手與限位板呈螺紋作用，轉(zhuǎn)動(dòng)把手推動(dòng)一端的L型固定器對(duì)晶圓進(jìn)行固定，防止在運(yùn)輸途中出現(xiàn)掉落的現(xiàn)象，避免晶圓損壞，可推動(dòng)推把，將整個(gè)車體進(jìn)行推動(dòng)運(yùn)輸，液壓桿外徑設(shè)置有減震彈簧，可以防止在運(yùn)輸途中出現(xiàn)晃動(dòng)的情況，有效的保護(hù)了載物臺(tái)上方的晶圓。
[0022]2、本技術(shù)中，載物臺(tái)底部凹槽內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)氣浮機(jī)，氣浮機(jī)前端中間位置設(shè)置有進(jìn)氣口，進(jìn)氣口外徑設(shè)置有螺紋圈，螺紋圈在安裝進(jìn)氣管道時(shí)較為方便，也避免了漏氣的現(xiàn)象發(fā)生，通過(guò)進(jìn)氣口對(duì)氣浮機(jī)內(nèi)部進(jìn)行輸送氣體，然后使車體稍微懸浮，氣浮機(jī)可以懸浮起上噸的貨物，運(yùn)輸?shù)呢浳锱枯^大，懸浮起以后，工人直接推動(dòng)車體即可，懸浮以后可以大大減少車體與地面的接觸，推起來(lái)更為輕便，該設(shè)備是兩用車體，使用范圍較廣，可以大大節(jié)省人工使用，值得大力推廣。
附圖說(shuō)明
[0023]圖1為本技術(shù)提出的一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具的立體圖；
[0024]圖2為本技術(shù)提出的一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具的仰視立體圖；
[0025]圖3為本技術(shù)提出的一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具的正視圖。
[0026]圖例說(shuō)明：
[0027]1、載物臺(tái)；2、第一限位板；3、第一螺栓；4、第一轉(zhuǎn)動(dòng)把手；5、第一L型固定器；6、行走輪；7、液壓桿；8、減震彈簧；9、第二限位板；10、第二螺栓；11、第二轉(zhuǎn)動(dòng)把手；12、第二L型固定器；13、擋板；14、推把；15、護(hù)墊；16、進(jìn)氣口；17、氣浮機(jī)；18、螺紋圈。
具體實(shí)施方式
[0028]下面將結(jié)合本技術(shù)實(shí)施例中的附圖，對(duì)本技術(shù)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本技術(shù)一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本技術(shù)中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本技術(shù)保護(hù)的范圍。
[0029]在本技術(shù)的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本技術(shù)和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本技術(shù)的限制；術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性，此外，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本技術(shù)中的具體含義。
[0030]參照?qǐng)D1
?
3，本技術(shù)提供的一種實(shí)施例：一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具，包括載物臺(tái)1，載物臺(tái)1底部四角位置均固定連接有液壓桿7，載物臺(tái)1底部凹槽內(nèi)固定連接有兩個(gè)氣浮機(jī)17，兩個(gè)氣浮機(jī)17前端中間位置貫穿并固定連接有進(jìn)氣口16，載物臺(tái)1頂部前端位置固定連接有第一限位板2，第一限位板2左右兩側(cè)中間位置均貫穿并螺紋連接有第一螺栓3，載物臺(tái)1頂部后端位置固定連接有第二限位板9，第二限位板9左右兩側(cè)中間位置均貫穿并螺紋連接有第二螺栓10，載物臺(tái)1頂部右側(cè)位置固定連接有擋板13，擋板13右側(cè)頂部位置固定連接有推把14，推把14外徑中間位置固定連接有護(hù)墊15，將晶圓放置在載物臺(tái)1上方，晶圓較多時(shí)，可以通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)兩側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)把手，轉(zhuǎn)動(dòng)把手與限位板呈螺紋作用，轉(zhuǎn)動(dòng)把手推動(dòng)一端的L型固定器對(duì)晶圓進(jìn)行固定，防止在運(yùn)輸途中出現(xiàn)掉落的現(xiàn)象，避免晶圓損壞，可推動(dòng)推把14，將整個(gè)車體進(jìn)行推動(dòng)運(yùn)輸，液壓桿外徑設(shè)置有減震彈簧，可以防止在運(yùn)輸途中出現(xiàn)晃動(dòng)的情況，有效的保護(hù)了載物臺(tái)1上方的晶圓。
[0031]液壓桿7外徑設(shè)置有減震彈簧8，四個(gè)液壓桿7底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有行走輪6，兩個(gè)進(jìn)氣口16外徑設(shè)置有螺紋圈18，兩個(gè)第一螺栓3前端位置固定本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

【技術(shù)特征摘要】
1.一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具，包括載物臺(tái)(1)，其特征在于：所述載物臺(tái)(1)底部四角位置均固定連接有液壓桿(7)，所述載物臺(tái)(1)底部凹槽內(nèi)固定連接有兩個(gè)氣浮機(jī)(17)，兩個(gè)所述氣浮機(jī)(17)前端中間位置貫穿并固定連接有進(jìn)氣口(16)，所述載物臺(tái)(1)頂部前端位置固定連接有第一限位板(2)，所述第一限位板(2)左右兩側(cè)中間位置均貫穿并螺紋連接有第一螺栓(3)，所述載物臺(tái)(1)頂部后端位置固定連接有第二限位板(9)，所述第二限位板(9)左右兩側(cè)中間位置均貫穿并螺紋連接有第二螺栓(10)，所述載物臺(tái)(1)頂部右側(cè)位置固定連接有擋板(13)，所述擋板(13)右側(cè)頂部位置固定連接有推把(14)，所述推把(14)外徑中間位置固定連接有護(hù)墊(15)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓氣浮式鍍銅用網(wǎng)格盤(pán)的載具，其特征在于：所述液壓桿(7)外徑設(shè)置有減震彈簧(8)。3.根據(jù)...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：雷超，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：常熟市兆恒眾力精密機(jī)械有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：