本發明專利技術涉及蝕刻技術領域，尤其是指一種金屬散熱片的雙面蝕刻裝置及應用于該雙面時刻裝置的蝕刻工藝，雙面蝕刻裝置包括噴灑機構和翻面機構，翻面機構包括機體、均設置于機體的第一夾持機構、第一翻轉機構、第二夾持機構和第二翻轉機構，第一夾持機構和第二夾持機構分別用于夾住金屬散熱片的兩側，第一翻轉機構用于驅動第一夾持機構翻轉，第二翻轉機構用于驅動第二夾持機構翻轉。本發明專利技術通過第一夾持機構和第二夾持機構分別夾住金屬散熱片的兩端，當金屬散熱片的一面完成蝕刻后，通過第一翻轉機構、第二翻轉機構分別驅動第一夾持機構、第二夾持機構同時翻轉，即可讓金屬散熱片進行翻轉，以實現對于金屬散熱片另一面進行蝕刻。以實現對于金屬散熱片另一面進行蝕刻。以實現對于金屬散熱片另一面進行蝕刻。
【技術實現步驟摘要】
一種金屬散熱片的雙面蝕刻裝置及蝕刻工藝
[0001]本專利技術涉及蝕刻
，尤其是指一種金屬散熱片的雙面蝕刻裝置及蝕刻工藝。
技術介紹
[0002]金屬散熱片廣泛應用于高功率密度和集成度電子器件以減少發熱元器件熱量積累，能夠延長器件的工作壽命。目前金屬散熱片可作為相變傳熱器件殼體，內部封裝高潤濕性能吸液芯，密封抽真空灌注工質后，成為高效相變傳熱器件，具有良好的導熱性。金屬散熱片也可作為普通散熱翅片，在其上下表面分別蝕刻微陣列柱，以增大金屬散熱片的比表面積，從而提高金屬散熱片散熱效率。
[0003]但目前在金屬正、反兩面蝕刻微陣列圖案工藝尚不成熟。市面上常見金屬散熱片蝕刻工藝為一次蝕刻工序蝕刻一面，即當需要對金屬片的兩面分別進行蝕刻時，則需進行兩次蝕刻：第一次先蝕刻一面，然后對金屬散熱片的另一面進行曝光、顯影、蝕刻。這樣才能完成金屬散熱片正、反兩面的蝕刻。這種方式顯然具有以下不足：當前金屬散熱片雙面蝕刻工藝存在效率較低、部分中間工藝重復繁雜以及增加生產成本等；同時，金屬散熱片兩面蝕刻過程中存在對于金屬散熱片的移送，此間容易造成重復定位誤差，導致蝕刻的圖案發生錯位。
技術實現思路
[0004]本專利技術針對現有技術的問題提供一種金屬散熱片的雙面蝕刻裝置及蝕刻工藝，能夠實現金屬散熱片不移送且發生翻轉的效果。
[0005]為了解決上述技術問題，本專利技術采用如下技術方案：
[0006]本專利技術提供的一種金屬散熱片的雙面蝕刻裝置，包括噴灑機構和翻面機構，噴灑機構用于對金屬散熱片噴灑蝕刻液，翻面機構包括機體、均設置于機體的第一夾持機構、第一翻轉機構、第二夾持機構和第二翻轉機構，所述第一夾持機構和第二夾持機構分別用于夾住金屬散熱片的兩側，第一翻轉機構用于驅動第一夾持機構翻轉，第二翻轉機構用于驅動第二夾持機構翻轉。
[0007]進一步的，所述第一夾持機構包括第一夾持驅動件、第一夾持底座以及第一夾持組件，第一夾持底座轉動設置于機體，第一夾持底座設有第一豎板，第一夾持組件可升降設置于第一豎板，第一夾持驅動件用于驅動第一夾持組件升降以使得第一夾持組件靠近或遠離第一夾持底座；第一夾持組件與第一夾持底座配合用于夾住金屬散熱片的一側。
[0008]更進一步的，所述第一夾持組件包括第一加載板以及多個安裝于第一加載板底部的第一導向柱，第一豎板設置有第一導向件，第一導向件具有多個第一導向孔，多個第一導向柱與多個第一導向柱一一對應滑動安裝；第一導向柱靠近第一夾持底座的一端設置有由軟質材料支撐的第一抵觸件，第一抵觸件用于與金屬散熱片抵觸。
[0009]進一步的，所述第一翻轉機構包括第一電機、第一傳動組件、第一主動齒輪以及第
一傳動齒輪，第一電機安裝于機體，第一電機經第一傳動組件驅動第一主動齒輪轉動，第一主動齒輪與第一傳動齒輪嚙合，第一傳動齒輪與第一夾持機構同步轉動。
[0010]更進一步的，所述第一傳動組件包括第一聯軸器和第一支撐軸，第一電機的轉軸經第一聯軸器與第一支撐軸連接，第一主動齒輪安裝于第一支撐軸；第一傳動齒輪具有第一導向軸，第一傳動齒輪經第一導向軸固定于第一夾持機構。
[0011]進一步的，所述機體設置有分隔板，第一翻轉機構和第一夾持機構分別設置于分隔板的兩側；分隔板設置有聯動孔，第一翻轉機構經聯動孔驅動連接第一夾持機構。
[0012]進一步的，所述機體還設置有滑動座以及滑動模組，第二夾持機構和第二翻轉機構均裝設于滑動座，滑動模組裝設于機體，滑動座沿著滑動模組滑動以使得第二夾持機構靠近或遠離第一夾持機構。
[0013]更進一步的，所述滑動模組的數量為至少兩個，滑動模組包括導軌、滑塊以及兩個限位銷，導軌安裝于機體，滑塊滑動設置于導軌，滑動座裝設于滑塊；沿著導軌的長度方向，導軌間隔設置有多個限位孔，兩個限位銷可拆卸安裝于其中兩個限位孔內，滑動座位于兩個限位銷之間，兩個限位銷配合用于對滑動座進行限位。
[0014]本專利技術提供了一種蝕刻工藝，包括以下步驟：
[0015]A.在金屬散熱片的兩個端面分別進行感光材料的涂布；
[0016]B.對金屬散熱片的兩個端面的感光材料進行曝光顯影；
[0017]C.通過第一夾持機構和第二夾持機構分別夾住金屬散熱片的兩側；
[0018]D.對金屬散熱片的朝上的端面噴灑蝕刻液以進行蝕刻處理；
[0019]E.第一翻轉機構和第二翻轉機構分別控制第一夾持機構和第二夾持機構翻轉，使得金屬散熱片的另一端面朝上；
[0020]F.對金屬散熱片上述的另一端面噴灑蝕刻液以進行蝕刻處理；
[0021]G.對金屬散熱片的兩端面分別進行清洗。
[0022]進一步的，在步驟C中，具體包括：
[0023]C1.拔出限位銷，然后控制滑動座往遠離第一夾持機構的方向移動；
[0024]C2.通過第一夾持機構夾住金屬散熱片的一側；
[0025]C3.控制滑動座往靠近第一夾持機構的方向滑動，直至金屬散熱片的另一側被第二夾持機構夾住；
[0026]C4.通過第二夾持機構夾住金屬散熱片的另一側；
[0027]C5.往導軌插入限位銷，使得滑動座的兩側分別與兩個限位銷抵觸。
[0028]本專利技術的有益效果：本專利技術通過第一夾持機構和第二夾持機構分別夾住金屬散熱片的兩端，當金屬散熱片的一面完成蝕刻后，通過第一翻轉機構、第二翻轉機構分別驅動第一夾持機構、第二夾持機構同時翻轉，即可讓金屬散熱片不發生移位地進行翻轉，以實現對于金屬散熱片另一面進行蝕刻。
附圖說明
[0029]圖1為本專利技術的翻面機構的示意圖。
[0030]圖2為本專利技術的第一夾持機構的示意圖。
[0031]圖3為本專利技術的第一翻轉機構的示意圖。
[0032]圖4為本專利技術的滑動座一側的示意圖。
[0033]圖5為本專利技術的滑動座的另一側的示意圖。
[0034]圖6為本專利技術的滑動模組的示意圖。
[0035]圖7為應用有本專利技術的蝕刻工藝的流程圖。
[0036]附圖標記：1—機體，2—第一夾持機構，3—第一翻轉機構，4—第二夾持機構，5—第二翻轉機構，6—滑動座，7—滑動模組，11—分隔板，12—聯動孔，22—第一夾持底座，23—第一夾持組件，24—第一豎板，25—第一加載板，26—第一導向柱，27—第一導向件，28—第一抵觸件，31—第一電機，32—第一傳動組件，33—第一主動齒輪，34—第一傳動齒輪，35—第一聯軸器，36—第一支撐軸，37—第一導向軸，38—第一軸承，42—第二夾持底座，43—第二夾持組件，44—第二豎板，45—第二加載板，46—第二導向柱，47—第二導向件，48—第二抵觸件，51—第二電機，52—第二傳動組件，53—第二主動齒輪，54—第二傳動齒輪，55—第二聯軸器，56—第二支撐軸，57—第二導向軸，58—第二軸承，71—導軌，72—滑塊，73—限位銷，74—限位孔。
具體實施方式
[0037]為了便于本領域技術人員的理解，下面結合實本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種金屬散熱片的雙面蝕刻裝置，其特征在于：包括噴灑機構和翻面機構，噴灑機構用于對金屬散熱片噴灑蝕刻液，翻面機構包括機體、均設置于機體的第一夾持機構、第一翻轉機構、第二夾持機構和第二翻轉機構，所述第一夾持機構和第二夾持機構分別用于夾住金屬散熱片的兩側，第一翻轉機構用于驅動第一夾持機構翻轉，第二翻轉機構用于驅動第二夾持機構翻轉。2.根據權利要求1所述的金屬散熱片的雙面蝕刻裝置，其特征在于：所述第一夾持機構包括第一夾持驅動件、第一夾持底座以及第一夾持組件，第一夾持底座轉動設置于機體，第一夾持底座設有第一豎板，第一夾持組件可升降設置于第一豎板，第一夾持驅動件用于驅動第一夾持組件升降以使得第一夾持組件靠近或遠離第一夾持底座；第一夾持組件與第一夾持底座配合用于夾住金屬散熱片的一側。3.根據權利要求2所述的金屬散熱片的雙面蝕刻裝置，其特征在于：所述第一夾持組件包括第一加載板以及多個安裝于第一加載板底部的第一導向柱，第一豎板設置有第一導向件，第一導向件具有多個第一導向孔，多個第一導向柱與多個第一導向柱一一對應滑動安裝；第一導向柱靠近第一夾持底座的一端設置有由軟質材料支撐的第一抵觸件，第一抵觸件用于與金屬散熱片抵觸。4.根據權利要求1所述的金屬散熱片的雙面蝕刻裝置，其特征在于：所述第一翻轉機構包括第一電機、第一傳動組件、第一主動齒輪以及第一傳動齒輪，第一電機安裝于機體，第一電機經第一傳動組件驅動第一主動齒輪轉動，第一主動齒輪與第一傳動齒輪嚙合，第一傳動齒輪與第一夾持機構同步轉動。5.根據權利要求4所述的金屬散熱片的雙面蝕刻裝置，其特征在于：所述第一傳動組件包括第一聯軸器和第一支撐軸，第一電機的轉軸經第一聯軸器與第一支撐軸連接，第一主動齒輪安裝于第一支撐軸；第一傳動齒輪具有第一導向軸，第一傳動齒輪經第一導向軸固定于第一夾持機構。6.根據權利要求1所述的金屬散熱...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王文濤，張亮旗，王世權，張帆，
申請(專利權)人：揚州賽諾高德電子科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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