本發明專利技術公開了一種掃描式UV解膠機，包括機柜、所述機柜表面開設有通光口，所述通光口上方設有放置板，所述放置板中部開設有貫穿的掃描窗，所述通光口兩側設有軌道組件，所述放置板與軌道組件滑動連接，所述機柜內部設有UV燈，所述UV燈對應通光口設置，所述UV燈與通光口之間設置遮光組件，所述遮光組件用于遮擋UV燈與通光孔之間的光通道。本發明專利技術提供了一種掃描式UV解膠機，具有遮光組件，從而確保汞燈在連續工作情況下，不會影響人們將解膠好的晶圓取出。取出。取出。
【技術實現步驟摘要】
一種掃描式UV解膠機
[0001]本專利技術涉及晶圓解膠
，尤其涉及一種掃描式UV解膠機。
技術介紹
[0002]在針對晶圓進行切割等構裝工藝前，通常會先將晶圓黏著于一膠膜上，膠膜外周緣固定于一金屬材質的固定環框中，通過膠膜黏著固定晶圓，便于人們將晶圓進行轉運和加工。等晶圓要進行后續工藝步驟時，再通過晶圓解膠裝置的UV燈對黏著有晶圓的膠膜進行照射，降低膠膜上的固結膠對晶圓的黏著性，利用工藝設備自膠膜上取出晶粒進行預定的工藝步驟。
[0003]而現有的UV燈有兩種，一種是LED燈，一種是汞燈，雖然LED燈在功耗等方面相比汞燈具有更好地效果，但是汞燈的發射光譜是連續的，從紫外到紅外都有，特別是在UVB到短波的UVA這一段的光強比較集中，而LED燈的發射光譜比較窄，常見的是峰值為365nm和395nm的這兩個波段。從而LED燈在適應性上受到一定的限制，而汞燈更能夠滿足不同波段的使用需求，然而由于汞燈在使用前需要進行預熱，從而汞燈無法進行頻繁的開啟和關閉，需要保持汞燈的持續工作，才能連續對晶圓進行掃描照射，同時還需要對連續工作的汞燈進行遮擋，以避免晶圓在去除時，汞燈的照射對工作人員或者是工作環境造成影響，而現有的UV解膠機無法滿足汞燈的使用要求。
技術實現思路
[0004]本專利技術的目的在于提供一種掃描式UV解膠機，具有遮光組件，從而確保汞燈在連續工作情況下，不會影響人們將解膠好的晶圓取出。
[0005]本專利技術公開的一種掃描式UV解膠機所采用的技術方案是:
[0006]一種掃描式UV解膠機，包括機柜、所述機柜表面開設有通光口，所述通光口上方設有放置板，所述放置板中部開設有貫穿的掃描窗，所述通光口兩側設有軌道組件，所述放置板與軌道組件滑動連接，所述機柜內部設有UV燈，所述UV燈對應通光口設置，所述UV燈與通光口之間設置遮光組件，所述遮光組件用于遮擋UV燈與通光孔之間的光通道。
[0007]作為優選方案，所述UV燈采用汞燈。
[0008]作為優選方案，所述機柜上方罩設有機蓋，所述軌道組件設置于機蓋內部，所述機蓋對應軌道組件一端設有柜門，所述柜門一側與機蓋轉動連接。
[0009]作為優選方案，所述軌道組件包括滑動槽、導軌、滑動座及推動裝置，所述滑動槽和導軌相對設置于通光口兩側，所述滑動座滑動設置于滑動槽內，且所述推動裝置用于推動滑動座沿滑動槽滑動，所述放置板一側與滑動座固定連接，另一側通過滑套設于導軌上方，所述滑套與導軌滑動連接。
[0010]作為優選方案，所述推動裝置包括第一皮帶輪、第二皮帶輪、傳送帶及電機，所述第一皮帶輪和第二皮帶輪分別設置于滑動槽兩端，且所述第一皮帶輪和第二皮帶輪與滑動槽轉動連接，所述第一皮帶輪和第二皮帶輪通過傳送帶傳動連接，所述滑動座與傳送帶上
端固定連接，所述電機與第一皮帶輪固定連接。
[0011]作為優選方案，所述遮光組件包括箱體、第一遮光板、第二遮光板及氣缸，所述箱體設置于通光孔下方，所述箱體上端為開口狀，所述UV燈設置于箱體內部，所述UV燈兩端設有安裝板，所述第一遮光板和第二遮光板的兩端通過轉動桿與安裝板轉動連接，所述第一遮光板和第二遮光板的轉動桿一端穿過安裝板設有齒輪，兩個所述齒輪之間分別設有第一齒條和第二齒條，所述第一齒條和第二齒輪分別與第一遮光板和第二遮光板對應的齒輪嚙合，所述氣缸固定于齒條下方，所述氣缸的輸出軸通過連接板與第一齒條和第二齒條固定連接。
[0012]作為優選方案，所述箱體上方設有石英玻璃，所述石英玻璃通過支架固定于箱體與通光孔之間。
[0013]作為優選方案，所述箱體側面開設有若干個進風口，所述箱體下方設有風機，所述風機的進風端與箱體連通，所述風機的出風端通過通風管道延伸至機柜外部。
[0014]作為優選方案，所述UV燈下方設有燈罩，所述燈罩靠近UV燈一面的垂直截面為圓弧，所述燈罩遠離UV燈一面設有若干個散熱鰭片。
[0015]作為優選方案，所述機柜側面設有若干個排氣扇。
[0016]本專利技術公開的一種掃描式UV解膠機的有益效果是：在機柜內部設有UV燈，且機柜表面開設有與UV燈對應的通光口，并且在通光口上方設有放置板，可將晶圓放置于放置板上，并且晶圓對應放置板上的掃描窗，通過通光口兩側的軌道組件帶動放置板沿軌道組件進行滑動，從而將放置板上的晶圓從一端到另一端依次經過通光口，利用通光口下方的UV燈對晶圓進行掃描解膠，確保晶圓能夠確保勻速通過UV燈上方，使晶圓的解膠能夠更加均勻，而在UV燈與通光口之間設有遮光組件，可通過遮光組件起到遮擋UV燈與通光孔之間的光通道，從而避免UV燈的光線從通光孔射出，導致晶圓掃描解膠完成后，取出過程中，UV燈對工作人員造成影響的情況出現，通過遮光組件確保了如果UV燈使用汞燈時，可確保汞燈能夠持續保持使用，而不需要工作人員取出和放入晶圓時，汞燈進行關閉，并且當UV燈使用LED燈時，可將遮光組件保持常開狀態，也能夠滿足采用LED燈對晶圓進行解膠的使用。
附圖說明
[0017]圖1是本專利技術一種掃描式UV解膠機的結構示意圖。
[0018]圖2是本專利技術一種掃描式UV解膠機的加裝機蓋結構示意圖。
[0019]圖3是本專利技術一種掃描式UV解膠機的推動裝置結構示意圖。
[0020]圖4是本專利技術一種掃描式UV解膠機的遮光組件結構示意圖。
[0021]圖5是本專利技術一種掃描式UV解膠機的另一角度結構示意圖。
具體實施方式
[0022]下面結合具體實施例和說明書附圖對本專利技術做進一步闡述和說明:
[0023]請參考圖1和圖4，一種掃描式UV解膠機，包括機柜10、機柜10表面開設有通光口101，通光口101上方設有放置板11，放置板11中部開設有貫穿的掃描窗111，通光口101兩側設有軌道組件20，放置板11與軌道組件20滑動連接，機柜10內部設有UV燈12，UV燈12對應通光口101設置，UV燈12與通光口101之間設置遮光組件30，遮光組件30用于遮擋UV燈12與通
光孔之間的光通道。
[0024]在機柜10內部設有UV燈12，且機柜10表面開設有與UV燈12對應的通光口101，并且在通光口101上方設有放置板11，可將晶圓放置于放置板11上，并且晶圓對應放置板11上的掃描窗111，通過通光口101兩側的軌道組件20帶動放置板11沿軌道組件20進行滑動，從而將放置板11上的晶圓從一端到另一端依次經過通光口101，利用通光口101下方的UV燈12對晶圓進行掃描解膠，確保晶圓能夠確保勻速通過UV燈12上方，使晶圓的解膠能夠更加均勻。
[0025]而在UV燈12與通光口101之間設有遮光組件30，可通過遮光組件30起到遮擋UV燈12與通光孔之間的光通道，從而避免UV燈12的光線從通光孔射出，導致晶圓掃描解膠完成后，取出過程中，UV燈12對工作人員造成影響的情況出現，通過遮光組件30確保了如果UV燈12使用汞燈時，可確保汞燈能夠持續保持使用，而不需要工作人員取出和放入晶圓時，汞燈進行關閉，并且當UV本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種掃描式UV解膠機，其特征在于，包括機柜、所述機柜表面開設有通光口，所述通光口上方設有放置板，所述放置板中部開設有貫穿的掃描窗，所述通光口兩側設有軌道組件，所述放置板與軌道組件滑動連接，所述機柜內部設有UV燈，所述UV燈對應通光口設置，所述UV燈與通光口之間設置遮光組件，所述遮光組件用于遮擋UV燈與通光孔之間的光通道。2.如權利要求1所述的一種掃描式UV解膠機，其特征在于，所述UV燈采用汞燈。3.如權利要求1所述的一種掃描式UV解膠機，其特征在于，所述機柜上方罩設有機蓋，所述軌道組件設置于機蓋內部，所述機蓋對應軌道組件一端設有柜門，所述柜門一側與機蓋轉動連接。4.如權利要求3所述的一種掃描式UV解膠機，其特征在于，所述軌道組件包括滑動槽、導軌、滑動座及推動裝置，所述滑動槽和導軌相對設置于通光口兩側，所述滑動座滑動設置于滑動槽內，且所述推動裝置用于推動滑動座沿滑動槽滑動，所述放置板一側與滑動座固定連接，另一側通過滑套設于導軌上方，所述滑套與導軌滑動連接。5.如權利要求4所述的一種掃描式UV解膠機，其特征在于，所述推動裝置包括第一皮帶輪、第二皮帶輪、傳送帶及電機，所述第一皮帶輪和第二皮帶輪分別設置于滑動槽兩端，且所述第一皮帶輪和第二皮帶輪與滑動槽轉動連接，所述第一皮帶輪和第二皮帶輪通過傳送帶傳動連接，所述滑動座與傳...
【專利技術屬性】
技術研發人員：黃朝陽，陳清華，
申請(專利權)人：深圳市三昆科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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