本實用新型專利技術涉及一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置，包括設備殼體、第一主動輥、第二主動輥及從動輥，所述第一主動輥、第二主動輥及從動輥均水平設置在設備殼體內，所述設備殼體的內側壁上固定連接有隔熱層，所述第一主動輥、第二主動輥及從動輥均貫穿隔熱層并與隔熱層轉動連接，所述從動輥位于第一主動輥及第二主動輥的中心上方。本實用新型專利技術，驅動機構簡單，傳動可靠性高，基體豎直放置且進行旋轉沉積，可以消除基體面沉積顆粒雜質和接觸位置沉積不到位的問題，保證了基體的沉積質量。保證了基體的沉積質量。保證了基體的沉積質量。
【技術實現步驟摘要】
一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置
[0001]本技術涉及機械設備
，特別是涉及一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置。
技術介紹
[0002]現有化學氣相沉積(CVD)設備的基體支撐裝置采用行星齒輪機構傳動，每個行星齒輪帶動一疊基體在設備腔體內做水平轉動，轉動過程中進行沉積工藝。現有支撐裝置具有以下缺點：
[0003]在沉積過程中，基體面處于水平狀態，易在上表面沉積顆粒雜質，基體底面與轉臺的支撐桿一直處于接觸狀態，接觸位置因沒有反應氣體滲入而無法沉積到位，將會在基體上形成無涂層的缺口，影響基體的質量或使用壽命。
技術實現思路
[0004]本技術提供了一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置，解決了現有技術中的技術問題。
[0005]本技術解決上述技術問題的方案如下：
[0006]一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置，包括設備殼體、第一主動輥、第二主動輥及從動輥，所述第一主動輥、第二主動輥及從動輥均水平設置在設備殼體內，所述設備殼體的內側壁上固定連接有隔熱層，所述第一主動輥、第二主動輥及從動輥均貫穿隔熱層并與隔熱層轉動連接，所述從動輥位于第一主動輥及第二主動輥的中心上方。
[0007]進一步，所述第一主動輥、第二主動輥及從動輥外表面均交錯套接有若干固定套和基體定位套，所述基體定位套外側為槽口，所述第一主動輥、第二主動輥及從動輥上的若干基體定位套的槽口圍合形成若干槽型區域，每個槽型區域內豎直放置有基體。
[0008]進一步，所述第一主動輥、第二主動輥及從動輥的兩端均固定連接有轉接板，每個所述轉接板固定連接有轉軸，每個所述轉軸上轉動連接有安裝座，每個所述轉軸貫穿安裝座的軸心，每個所述安裝座貫穿設備殼體并與設備殼體固定連接。
[0009]進一步，每個所述轉軸的外側端設置有冷卻水的進水口和出水口。
[0010]進一步，所述第一主動輥與第二主動輥通過旋轉驅動機構相互傳動連接，所述旋轉驅動機構包括電機、電機座、第一傳動輪、第二傳動輪、第三傳動輪及傳動帶，所述電機座與設備殼體固定連接，所述電機座的頂端與電機固定連接，所述第三傳動輪固定連接在電機的輸出端，所述第一傳動輪與第一主動輥一端的轉軸外側端固定連接，所述第二傳動輪與第二主動輥一端的轉軸外側端固定連接，第一傳動輪、第二傳動輪及第三傳動輪通過所述傳動帶相互傳動連接做同步轉動。
[0011]進一步，所述電機為可調速電機。
[0012]本技術的有益效果是：本技術提供了一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置，具有以下優點：
[0013]驅動機構簡單，傳動可靠性高，基體面豎直放置時，可以消除基體上表面沉積顆粒雜質的問題，基體在定位套槽型區域內進行旋轉沉積時，基體與定位套的接觸位置在不斷改變，不存在接觸位置沉積不到位的問題，保證了基體的沉積質量。
[0014]上述說明僅是本技術技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本技術的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本技術的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本技術的具體實施方式由以下實施例及其附圖詳細給出。
附圖說明
[0015]此處所說明的附圖用來提供對本技術的進一步理解，構成本申請的一部分，本技術的示意性實施例及其說明用于解釋本技術，并不構成對本技術的不當限定。在附圖中：
[0016]圖1為本技術一實施例提供的一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置的剖視圖；
[0017]圖2為圖1提供的一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置的結構示意圖；
[0018]圖3為圖1提供的一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置中左視角剖視圖。
[0019]附圖中，各標號所代表的部件列表如下：
[0020]1、第一主動輥；2、第二主動輥；3、從動輥；4、旋轉驅動機構；5、基體；6、設備殼體；7、隔熱層；11、固定套；12、基體定位套；13、轉接板；14、轉軸；41、電機；42、電機座；43、第一傳動輪；44、第二傳動輪；45、第三傳動輪；46、傳動帶；141、進水口；142、出水口。
具體實施方式
[0021]以下結合下列附圖對本技術的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本技術，并非用于限定本技術的范圍。在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本技術。根據下面說明和權利要求書，本技術的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本技術實施例的目的。
[0022]需要說明的是，當組件被稱為“固定于”另一個組件，它可以直接在另一個組件上或者也可以存在居中的組件。當一個組件被認為是“連接”另一個組件，它可以是直接連接到另一個組件或者可能同時存在居中組件。當一個組件被認為是“設置于”另一個組件，它可以是直接設置在另一個組件上或者可能同時存在居中組件。本文所使用的術語“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的。
[0023]除非另有定義，本文所使用的所有的技術和科學術語與屬于本技術的
的技術人員通常理解的含義相同。本文中在本技術的說明書中所使用的術語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本技術。本文所使用的術語“及/或”包括一個或多個相關的所列項目的任意的和所有的組合。
[0024]如圖1
?
3所示，本技術提供了一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置，包括設備殼體6、第一主動輥1、第二主動輥2及從動輥3，第一主動輥1、第二主動輥2及從動輥3均水平設置在設備殼體6內，設備殼體6的內側壁上固定連接有隔熱層7，第一主動輥1、第二主動輥2及從動輥3均貫穿隔熱層7并與隔熱層7轉動連接，從動輥3位于第一主動輥1及第二主動
輥2的中心上方。第一主動輥1、第二主動輥2及從動輥3外表面均交錯套接有若干固定套11和基體定位套12，基體定位套12外側為槽口，第一主動輥1、第二主動輥2及從動輥3上的若干基體定位套12的槽口圍合形成若干槽型區域，每個槽型區域內豎直放置有基體5。槽型區域的尺寸與基體5的尺寸相匹配，便于基體5在轉動過程中不會被擠壓且便于基體5從槽型區域中取放。
[0025]優選的，第一主動輥1、第二主動輥2及從動輥3的兩端均固定連接有轉接板13，每個轉接板13固定連接有轉軸14，每個轉軸14上轉動連接有安裝座15，每個轉軸14貫穿安裝座15的軸心，每個安裝座15貫穿設備殼體6并與設備殼體6固定連接，轉軸14可在安裝座15中旋轉，并通過轉接板13將旋轉運動傳遞至第一主動輥1，轉接板13具有隔熱及便于拆裝的作用。每個轉軸14的外側端設置有冷卻水的進水口141和出水口142，避免設備殼體6內的高溫外溢。
[0026]優選的，第一主動輥1與第二主動輥2通過旋轉驅動機構4相互傳動連接，旋轉驅動機構4包括電機41、電機座42、第一傳動輪43、第二傳動輪44、第三傳動輪45及傳動帶46，電機座42與設備殼體6固定連本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置，包括設備殼體(6)、第一主動輥(1)、第二主動輥(2)及從動輥(3)，其特征在于，所述第一主動輥(1)、第二主動輥(2)及從動輥(3)均水平設置在設備殼體(6)內，所述設備殼體(6)的內側壁上固定連接有隔熱層(7)，所述第一主動輥(1)、第二主動輥(2)及從動輥(3)均貫穿隔熱層(7)并與隔熱層(7)轉動連接，所述從動輥(3)位于第一主動輥(1)及第二主動輥(2)的中心上方。2.根據權利要求1所述一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置，其特征在于，所述第一主動輥(1)、第二主動輥(2)及從動輥(3)外表面均交錯套接有若干固定套(11)和基體定位套(12)，所述基體定位套(12)外側為槽口，所述第一主動輥(1)、第二主動輥(2)及從動輥(3)上的若干基體定位套(12)的槽口圍合形成若干槽型區域，每個槽型區域內豎直放置有基體(5)。3.根據權利要求2所述一種化學氣相沉積設備的基體支撐裝置，其特征在于，所述第一主動輥(1)、第二主動輥(2)及從動輥(3)的兩端均固定連接有轉接板(13)，每個所述轉接板(13)固定連接有轉軸(14)，每個所述轉軸(14)上轉動連接有安裝座(15)，每個所述轉軸...
【專利技術屬性】
技術研發人員：宋光偉，高常春，
申請(專利權)人：湖南碳源科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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