本實(shí)用新型專利技術(shù)公開的屬于晶圓清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓噴淋清洗裝置，包括第一供液管、第二供液管和噴淋管，所述第二供液管的頂端通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第二支撐塊，所述第二供液管的底端通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第一支撐塊，所述第一供液管通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)動(dòng)連接第二供液管，所述第二供液管的頂部固定安裝在噴淋管的底端內(nèi)壁上，且第二供液管與噴淋管相連通，本實(shí)用新型專利技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)預(yù)期功能、構(gòu)造簡(jiǎn)單、容易維護(hù)、成本低的作用，在放入盛有晶圓片花籃的同時(shí)自動(dòng)改變噴淋管的位置，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓片的近距離噴淋清洗，并且減少了噴淋清洗液的飛濺，該裝置設(shè)計(jì)安放位置合理，操作維修空間大，非常便于維護(hù)和更換。非常便于維護(hù)和更換。非常便于維護(hù)和更換。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種晶圓噴淋清洗裝置
[0001]本技術(shù)涉及晶圓清洗設(shè)備
，具體為一種晶圓噴淋清洗裝置。
技術(shù)介紹
[0002]在半導(dǎo)體晶圓硅片清洗過(guò)程中，為了對(duì)硅片進(jìn)行高效高質(zhì)量的清洗，通常要采用在半導(dǎo)體硅晶片上部噴淋下部氮?dú)夤呐莸姆绞健Ｈ欢喜繃娏芮逑吹那逑匆簢娏芄苁艿綑C(jī)械手及晶圓片花籃的影響，噴淋管的安裝位置都是固定的而且距離晶圓片的距離很大，這樣就存在以下缺點(diǎn)：一是當(dāng)把盛有晶圓片的花籃放入清洗槽當(dāng)中時(shí)，噴淋管噴出的很難保證所有的晶圓片都能夠被沖洗到；二是存在清洗液飛濺比較嚴(yán)重的情況。而在晶圓片的加工生產(chǎn)工藝過(guò)程中，晶圓片表面的雜質(zhì)和污染清洗是要求非常高的工藝過(guò)程，以上缺點(diǎn)一是達(dá)不到清洗效果，二是清洗環(huán)境不好。
[0003]為此，我們提出一種晶圓噴淋清洗裝置。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
[0004]鑒于上述和/或現(xiàn)有一種晶圓噴淋清洗裝置中存在的問(wèn)題，提出了本技術(shù)。
[0005]因此，本技術(shù)的目的是提供一種晶圓噴淋清洗裝置，能夠解決上述提出現(xiàn)有的問(wèn)題。
[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，根據(jù)本技術(shù)的一個(gè)方面，本技術(shù)提供了如下技術(shù)方案：
[0007]一種晶圓噴淋清洗裝置，其包括第一供液管、第二供液管和噴淋管，所述第二供液管的頂端通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第二支撐塊，所述第二供液管的底端通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第一支撐塊，所述第一供液管通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)動(dòng)連接第二供液管，所述第二供液管的頂部固定安裝在噴淋管的底端內(nèi)壁上，且第二供液管與噴淋管相連通；
[0008]所述噴淋管上安裝有手動(dòng)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述第二供液管上安裝有機(jī)械旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)；
[0009]所述機(jī)械旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括安裝在第一支撐塊上的驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件通過(guò)傳動(dòng)組件連接第二供液管，且驅(qū)動(dòng)組件可與傳動(dòng)組件斷開連接。
[0010]作為本技術(shù)所述的一種晶圓噴淋清洗裝置的一種優(yōu)選方案，其中：所述噴淋管的輸出端開設(shè)有噴淋孔。
[0011]作為本技術(shù)所述的一種晶圓噴淋清洗裝置的一種優(yōu)選方案，其中：所述驅(qū)動(dòng)組件包括箱體，所述箱體固定安裝在第一支撐塊的頂部上，所述箱體的內(nèi)壁固定安裝伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出軸固定安裝傳動(dòng)軸。
[0012]作為本技術(shù)所述的一種晶圓噴淋清洗裝置的一種優(yōu)選方案，其中：所述傳動(dòng)軸的頂部固定安裝盒體，所述盒體的內(nèi)壁固定安裝氣缸，所述氣缸的輸出端通過(guò)活塞桿固定安裝擠壓板。
[0013]作為本技術(shù)所述的一種晶圓噴淋清洗裝置的一種優(yōu)選方案，其中：所述傳動(dòng)組件為第一轉(zhuǎn)軸、第一齒輪和第二齒輪，所述第二支撐塊的底部通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第一轉(zhuǎn)
軸，所述第一轉(zhuǎn)軸上固定安裝第一齒輪，所述第二齒輪的內(nèi)壁固定安裝第二供液管，所述第一齒輪與所述第二齒輪嚙合連接。
[0014]作為本技術(shù)所述的一種晶圓噴淋清洗裝置的一種優(yōu)選方案，其中：所述第一轉(zhuǎn)軸的下方設(shè)有擠壓板，所述擠壓板與所述第一轉(zhuǎn)軸的相對(duì)端設(shè)置成端面齒。
[0015]作為本技術(shù)所述的一種晶圓噴淋清洗裝置的一種優(yōu)選方案，其中：所述手動(dòng)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括連接桿，所述連接桿固定安裝在噴淋管的頂部上，所述連接桿的頂部固定安裝漂浮杠桿。
[0016]作為本技術(shù)所述的一種晶圓噴淋清洗裝置的一種優(yōu)選方案，其中：所述傳動(dòng)組件為第二轉(zhuǎn)軸、第一皮帶輪、第二皮帶輪和皮帶，所述第二支撐塊的底部通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第二轉(zhuǎn)軸，所述第二轉(zhuǎn)軸上固定安裝第一皮帶輪，所述第二皮帶輪的內(nèi)壁固定安裝第二供液管，所述第一皮帶輪與所述第二皮帶輪通過(guò)皮帶傳動(dòng)連接。
[0017]作為本技術(shù)所述的一種晶圓噴淋清洗裝置的一種優(yōu)選方案，其中：所述第二轉(zhuǎn)軸的下方設(shè)有擠壓板，所述擠壓板與所述第二轉(zhuǎn)軸的相對(duì)端設(shè)置成端面齒。
[0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比：
[0019]1.本技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)預(yù)期功能、構(gòu)造簡(jiǎn)單、容易維護(hù)、成本低的作用，在放入盛有晶圓片花籃的同時(shí)自動(dòng)改變噴淋管的位置，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓片的近距離噴淋清洗，并且減少了噴淋清洗液的飛濺，該裝置設(shè)計(jì)安放位置合理，操作維修空間大，非常便于維護(hù)和更換；
[0020]2.通過(guò)手動(dòng)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)和機(jī)械旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)可以對(duì)噴淋管進(jìn)行人工旋轉(zhuǎn)或機(jī)械旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)了操作的多樣化，提高了便捷性。
附圖說(shuō)明
[0021]圖1為本技術(shù)實(shí)施例1結(jié)構(gòu)正視示意圖；
[0022]圖2為本技術(shù)圖1中A處結(jié)構(gòu)放大示意圖；
[0023]圖3為本技術(shù)驅(qū)動(dòng)組件局部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4為本技術(shù)實(shí)施例2結(jié)構(gòu)正視示意圖；
[0025]圖5為本技術(shù)圖4中B處結(jié)構(gòu)放大示意圖。
[0026]圖中：第一供液管1、旋轉(zhuǎn)接頭11、第二供液管2、第一支撐塊21、第二支撐塊22、噴淋管3、噴淋孔31、驅(qū)動(dòng)組件4、箱體41、伺服電機(jī)42、傳動(dòng)軸43、盒體44、氣缸45、擠壓板46、傳動(dòng)組件5、第一轉(zhuǎn)軸51、第一齒輪52、第二齒輪53、第二轉(zhuǎn)軸54、第一皮帶輪55、第二皮帶輪56、皮帶57、手動(dòng)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)6、連接桿61、漂浮杠桿62。
具體實(shí)施方式
[0027]為使本技術(shù)的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù)的實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0028]實(shí)施例1：
[0029]本技術(shù)提供一種晶圓噴淋清洗裝置，請(qǐng)參閱圖1
?
圖3，包括第一供液管1、第二供液管2和噴淋管3，第二供液管2的頂端通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第二支撐塊22，第二供液管2的底端通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第一支撐塊21，第二支撐塊22和第一支撐塊21上的軸承設(shè)置為聚醚
醚酮軸承，第二支撐塊22和第一支撐塊21具有與外部物體進(jìn)行固定的作用，第一供液管1通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭11轉(zhuǎn)動(dòng)連接第二供液管2，清洗液具有依次經(jīng)過(guò)第一供液管1、旋轉(zhuǎn)接頭11和第二供液管2流入到噴淋管3中的作用，流入后，清洗液則會(huì)通過(guò)噴淋孔31流出去，從而對(duì)晶圓片進(jìn)行清洗，第一供液管1和第二供液管2設(shè)置為硬管，旋轉(zhuǎn)接頭11是管路連接器件，且相連管路可相對(duì)旋轉(zhuǎn)，第二供液管2的頂部固定安裝在噴淋管3的底端內(nèi)壁上，噴淋管3為工程塑料PFA材質(zhì)，且第二供液管2與噴淋管3相連通，噴淋管3上安裝有手動(dòng)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)6，第二供液管2上安裝有機(jī)械旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，機(jī)械旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括安裝在第一支撐塊21上的驅(qū)動(dòng)組件4，驅(qū)動(dòng)組件4通過(guò)傳動(dòng)組件5連接第二供液管2，且驅(qū)動(dòng)組件4可與傳動(dòng)組件5斷開連接，噴淋管3的輸出端開設(shè)有噴淋孔31。
[0030]驅(qū)動(dòng)組件4包括箱體41，箱體41固定安裝在第一支撐塊21的頂部上，箱體41的內(nèi)壁固定安裝伺服電機(jī)42，伺服電機(jī)42的輸出軸固定安裝傳動(dòng)軸43，傳動(dòng)軸43的頂部固定安裝盒體44，盒體44的內(nèi)壁固定安裝氣缸45，氣缸45的輸出端通過(guò)活塞桿固定安裝擠壓板46，氣缸45上的活塞桿設(shè)置成不旋轉(zhuǎn)，傳動(dòng)組件5為第一轉(zhuǎn)軸51、第一齒輪52和第二齒輪53，第二支撐塊22的底部通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第一轉(zhuǎn)軸51，第一轉(zhuǎn)軸51上固定安裝第一齒輪52，第二齒輪53的內(nèi)壁固定安裝第二供液管2，第一齒輪52與第二齒輪53嚙合連接，第一轉(zhuǎn)軸51的下方本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
1.一種晶圓噴淋清洗裝置，包括第一供液管(1)、第二供液管(2)和噴淋管(3)，所述第二供液管(2)的頂端通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第二支撐塊(22)，所述第二供液管(2)的底端通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接第一支撐塊(21)，其特征在于：所述第一供液管(1)通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭(11)轉(zhuǎn)動(dòng)連接第二供液管(2)，所述第二供液管(2)的頂部固定安裝在噴淋管(3)的底端內(nèi)壁上，且第二供液管(2)與噴淋管(3)相連通；所述噴淋管(3)上安裝有手動(dòng)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)(6)，所述第二供液管(2)上安裝有機(jī)械旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)；所述機(jī)械旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括安裝在第一支撐塊(21)上的驅(qū)動(dòng)組件(4)，所述驅(qū)動(dòng)組件(4)通過(guò)傳動(dòng)組件(5)連接第二供液管(2)，且驅(qū)動(dòng)組件(4)可與傳動(dòng)組件(5)斷開連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓噴淋清洗裝置，其特征在于，所述噴淋管(3)的輸出端開設(shè)有噴淋孔(31)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓噴淋清洗裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件(4)包括箱體(41)，所述箱體(41)固定安裝在第一支撐塊(21)的頂部上，所述箱體(41)的內(nèi)壁固定安裝伺服電機(jī)(42)，所述伺服電機(jī)(42)的輸出軸固定安裝傳動(dòng)軸(43)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓噴淋清洗裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)軸(43)的頂部固定安裝盒體(44)，所述盒體(44)的內(nèi)壁固定安裝氣缸(45)，所述氣缸(45)的輸出端通過(guò)活塞桿固定安裝擠壓板(46)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓噴淋清洗裝...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陸先鋒，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：無(wú)錫頌林達(dá)科技有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：
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