一種晶圓基板側面清洗裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種晶圓基板側面清洗裝置，屬于晶圓基板加工設備技術領域，包括晶圓清洗設備和晶圓烘干設備，還包括底座板、基板邊緣夾持裝置和基板翻轉裝置，所述基板邊緣夾持裝置設置在底座板上，所述基板翻轉裝置設置在底座板上且位于基板邊緣夾持裝置的側端，所述晶圓清洗設備設置在底座板上且位于基板邊緣夾持裝置的下方，所述晶圓烘干設備設置在底座板上且位于基板邊緣夾持裝置的上方；本裝置解決了避免對晶圓基板進行固定和清洗的過程中出現清洗死角和提高晶圓基板清洗效率的問題。問題。問題。

【技術實現步驟摘要】
一種晶圓基板側面清洗裝置


[0001]本技術涉及晶圓基板加工設備
，尤其涉及一種晶圓基板側面清洗裝置。

技術介紹

[0002]晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。國內晶圓生產線以8英寸和12英寸為主。
[0003]現有技術中，面板領域或者半導體領域的玻璃基板均需要通過藥液浸泡、噴淋和清洗，以及涂膠、顯影、刻蝕和剝膜等工藝過程，以實現在玻璃表面印刷芯片的操作，在此過程中需在玻璃的側面進行焊接并形成焊盤，故因此需要對基板的側面進行清洗，基板側面顆粒物的控制程度，直接影響著基板的良品率，在清洗之前，首先需要對基板進行固定，但是現有技術的固定方式通常采用吸盤或者機械手夾持住基板的一角，所以在對其進行清洗時，基板上被夾持的部分往往無法清洗到，形成了清洗死角，并且通常的清洗方式為對基板的兩面進行清洗后再以依次其進行烘干，清洗效率較為低下。

技術實現思路

[0004]本技術實施例提供一種晶圓基板側面清洗裝置，以解決現有技術中對晶圓基板的側面進行清洗時，基板上被夾持的部分往往無法清洗到，形成了清洗死角，并且通常的清洗方式為對基板的兩面進行清洗后再依次對其進行烘干，清洗效率較為低下的技術問題。
[0005]本技術實施例采用下述技術方案：包括晶圓清洗設備和晶圓烘干設備，還包括底座板、基板邊緣夾持裝置和基板翻轉裝置，所述基板邊緣夾持裝置設置在底座板上，所述基板翻轉裝置設置在底座板上且位于基板邊緣夾持裝置的側端，所述晶圓清洗設備設置在底座板上且位于基板邊緣夾持裝置的下方，所述晶圓烘干設備設置在底座板上且位于基板邊緣夾持裝置的上方。
[0006]進一步的，所述基板邊緣夾持裝置包括安裝盒、夾緊組件和連桿驅動組件，所述安裝盒呈圓柱形并且呈中空設置，所述安裝盒設置在晶圓清洗設備和晶圓烘干設備之間，所述安裝盒的圓心處設置有圓形貫通口，所述夾緊組件有三個，三個所述夾緊組件呈圓形均勻地布設在安裝盒內部，所述連桿驅動組件設置在三個夾緊組件上，每個所述夾緊組件均包括滑槽架、滑動塊、夾持板和推動盤，所述滑槽架設置在安裝盒內部，所述滑動塊設置在滑槽架上且滑動配合，所述夾持板設置在滑動塊靠近貫通口的一端，所述推動盤偏心設置在安裝盒內部且推動盤的一端與滑動塊遠離夾持板的一端轉動連接。
[0007]進一步的，所述連桿驅動組件包括第一連桿、第二連桿、第三連桿和電動推桿，所述第一連桿有兩個，兩個所述第一連桿呈V形設置，兩個所述第一連桿的中部分別與其中兩個夾緊組件中的推動盤與安裝盒的連接處轉動連接，所述第二連桿的一端與另外一個夾緊
組件中的推動盤與安裝盒的連接處轉動連接，所述第三連桿有兩個，其中一個所述第三連桿的兩端分別與兩個第一連桿的一端轉動連接，另外一個第三連桿的兩端分別與其中一個第一連桿的一端和第二連桿的另一端轉動連接，所述電動推桿水平設置在安裝盒內部且電動推桿的尾端與安裝盒的底端銜接，所述電動推桿的輸出端與另外一個第一連桿的一端銜接。
[0008]進一步的，每個所述夾持板的夾持端均采用軟性材質。
[0009]進一步的，所述基板翻轉裝置包括雙軸電機和翻轉組件，所述雙軸電機設置在底座板上且位于安裝盒的一側，所述翻轉組件有兩個，兩個所述翻轉組件對稱設置在底座板上且位于安裝盒的兩側，每個所述翻轉組件均包括連接軸、連接架、皮帶輪和傳動皮帶，所述連接架設置在底座板上且位于安裝盒的側端，所述連接軸穿過連接架且轉動連接，所述連接軸的一端與安裝盒的側端連接，所述皮帶輪有兩個，其中一個所述皮帶輪設置在連接軸的另一端連接，另外一個所述皮帶輪設置在雙軸電機一端的輸出端上，所述傳動皮帶套設在兩個皮帶輪上。
[0010]本技術實施例采用的上述至少一個技術方案能夠達到以下有益效果：
[0011]其一，在對晶圓基板固定之前，首先三個夾持板均處于遠離安裝盒圓心處的貫通口的位置，將待清洗的晶圓基板放置在貫通口處，控制電動推桿工作，帶動與其銜接的第一連桿以與推動盤的連接處為軸進行旋轉，從而帶動與其連接的滑動塊在滑槽架內滑動，使得與其連接的夾持板往晶圓基板的側端移動，同時在兩個第三連桿的傳動配合下，另外兩個夾緊組件中的夾持板同時往晶圓基板的方向移動，三個夾緊組件中的夾持板合起來呈一個正圓形并且其內徑與晶圓基板的外徑契合，從而對晶圓基板的側端進行包圍式夾持固定，既保證了基板清洗時的穩定性，也不會對清洗面造成遮擋或者覆蓋，形成清洗死角。
[0012]其二，在對晶圓基板進行固定時，為了避免對其側端造成損傷，故采用軟性材質，既具有一定的摩擦力提高夾持時的穩定性，也不會對其表面造成損傷。
[0013]其三，當晶圓基板的一面清洗后，控制雙軸電機工作，在皮帶輪和傳動皮帶的傳動下，兩個連接軸同步旋轉從而帶動安裝盒旋轉180度，使得晶圓基板原本朝下的清洗過的一面翻轉至朝上進行烘干作業，烘干的同時另一面進行清洗作業，從而提高了晶圓基板的清洗效率。
附圖說明
[0014]此處所說明的附圖用來提供對本技術的進一步理解，構成本技術的一部分，本技術的示意性實施例及其說明用于解釋本技術，并不構成對本技術的不當限定。在附圖中：
[0015]圖1為本技術立體結構示意圖；
[0016]圖2為本技術的局部結構俯視圖；
[0017]圖3為本技術中基板邊緣夾持裝置的剖視圖；
[0018]圖4為圖3中A處的放大圖；
[0019]圖5為本技術中基板翻轉裝置的立體結構示意圖。
[0020]附圖標記
[0021]晶圓清洗設備1、晶圓烘干設備2、底座板3、基板邊緣夾持裝置4、安裝盒41、夾緊組
件42、滑槽架421、滑動塊422、夾持板423、推動盤424、連桿驅動組件43、第一連桿431、第二連桿432、第三連桿433、電動推桿434、基板翻轉裝置5、雙軸電機51、翻轉組件52、連接軸521、連接架522、皮帶輪523、傳動皮帶524。
具體實施方式
[0022]為使本技術的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本技術具體實施例及相應的附圖對本技術技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。
[0023]以下結合附圖，詳細說明本技術各實施例提供的技術方案。
[0024]本技術實施例提供一種晶圓基板側面清洗裝置，包括晶圓清洗設備1和晶圓烘干設備2，還包括底座板3、基板邊緣夾持裝置4和基板翻轉裝置5，所述基板邊緣夾持裝置4設置在底座板3上，所述基板翻轉裝置5設置在底座板3上且位于基板邊緣夾持裝置4的側端，所述晶圓清洗設備1設置在底座板3上且位于基板邊緣夾持裝置4的下方，所述晶圓烘本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種晶圓基板側面清洗裝置，包括晶圓清洗設備(1)和晶圓烘干設備(2)，其特征在于，還包括底座板(3)、基板邊緣夾持裝置(4)和基板翻轉裝置(5)，所述基板邊緣夾持裝置(4)設置在底座板(3)上，所述基板翻轉裝置(5)設置在底座板(3)上且位于基板邊緣夾持裝置(4)的側端，所述晶圓清洗設備(1)設置在底座板(3)上且位于基板邊緣夾持裝置(4)的下方，所述晶圓烘干設備(2)設置在底座板(3)上且位于基板邊緣夾持裝置(4)的上方。2.根據權利要求1所述的一種晶圓基板側面清洗裝置，其特征在于，所述基板邊緣夾持裝置(4)包括安裝盒(41)、夾緊組件(42)和連桿驅動組件(43)，所述安裝盒(41)呈圓柱形并且呈中空設置，所述安裝盒(41)設置在晶圓清洗設備(1)和晶圓烘干設備(2)之間，所述安裝盒(41)的圓心處設置有圓形貫通口，所述夾緊組件(42)有三個，三個所述夾緊組件(42)呈圓形均勻地布設在安裝盒(41)內部，所述連桿驅動組件(43)設置在三個夾緊組件(42)上，每個所述夾緊組件(42)均包括滑槽架(421)、滑動塊(422)、夾持板(423)和推動盤(424)，所述滑槽架(421)設置在安裝盒(41)內部，所述滑動塊(422)設置在滑槽架(421)上且滑動配合，所述夾持板(423)設置在滑動塊(422)靠近貫通口的一端，所述推動盤(424)偏心設置在安裝盒(41)內部且推動盤(424)的一端與滑動塊(422)遠離夾持板(423)的一端轉動連接。3.根據權利要求2所述的一種晶圓基板側面清洗裝置，其特征在于，所述連桿驅動組件(43)包括第一連桿(431)、第二連桿(432)、第三連桿(433)和電動推桿(434)，所述第一連桿(431)有兩個，兩個所述第一連桿(431)均呈V形設置，兩個所述...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陸先鋒，
申請(專利權)人：無錫頌林達科技有限公司，
類型：新型
國別省市：