具備：帶狀部；框狀部，包圍所述帶狀部；以及連結部，位于帶狀部與框狀部之間，將帶狀部連結于框狀部。帶狀部具備具有一對長邊和一對短邊的邊緣、具有多個掩模孔的掩模部、以及包圍掩模部的周邊部。長邊的延伸方向為帶狀部的長邊方向。周邊部之中，在長邊方向上的掩模部與短邊之間存在有脆弱部，該脆弱部具有從一方的長邊朝向另一方的長邊延伸的形狀。的長邊朝向另一方的長邊延伸的形狀。的長邊朝向另一方的長邊延伸的形狀。
【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】蒸鍍掩模中間體、蒸鍍掩模、掩模裝置及蒸鍍掩模的制造方法
[0001]本專利技術涉及蒸鍍掩模中間體、蒸鍍掩模、掩模裝置以及蒸鍍掩模的制造方法。
技術介紹
[0002]有機EL顯示裝置所具備的顯示元件的制造時利用使用了蒸鍍掩模的真空蒸鍍。真空蒸鍍所使用的蒸鍍掩模是具有帶狀的金屬制的薄板。蒸鍍掩模具備掩模部及包圍掩模部的周邊部，該掩模部具有用于形成顯示元件的多個掩模孔。蒸鍍掩模具備由一對長邊和一對短邊形成的邊緣(例如參照專利文獻1)。
[0003]現有技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1：國際公開第2017/014172號
技術實現思路
[0006]專利技術所要解決的課題
[0007]蒸鍍掩模在被固定于支撐蒸鍍掩模的框架后，與框架一起被搭載于真空蒸鍍裝置。在蒸鍍掩模被固定于框架時，長邊方向上的各端部被向從另一方的端部離開的方向拉引，因而蒸鍍掩模被作用沿著蒸鍍掩模的長邊方向的張力。蒸鍍掩模以被作用張力的狀態被固定于框架。此時，周邊部之中的比短邊靠掩模部的部分被固定于框架，因此蒸鍍掩模中包含短邊的部分從框架的外側邊緣伸出。
[0008]出于減小蒸鍍掩模的設置面積、抑制將蒸鍍掩模向真空蒸鍍裝置搭載的作業中等時蒸鍍掩模鉤掛到其他構件的目的，蒸鍍掩模之中從框架伸出的部分被從蒸鍍掩模除去。因此，從提高使用蒸鍍掩模進行的蒸鍍的效率的觀點出發，希望在將蒸鍍掩模固定到框架后將蒸鍍掩模的端部除去的作業更加容易。
[0009]本專利技術的目的在于提供一種蒸鍍掩模中間體、蒸鍍掩模、掩模裝置以及蒸鍍掩模的制造方法，能夠使將蒸鍍掩模固定到框架后的將蒸鍍掩模的端部除去的作業容易。
[0010]用于解決課題的手段
[0011]用于解決上述課題的蒸鍍掩模中間體具備：帶狀部；框狀部，包圍所述帶狀部；以及連結部，位于所述帶狀部與所述框狀部之間，將所述帶狀部連結于所述框狀部。所述帶狀部具備具有一對長邊和一對短邊的邊緣、具有多個掩模孔的掩模部、以及包圍所述掩模部的周邊部。所述周邊部之中，在所述帶狀部的長邊方向上的所述掩模部與所述短邊之間存在有脆弱部，該脆弱部具有從一方的所述長邊朝向另一方的所述長邊延伸的形狀。
[0012]用于解決上述課題的蒸鍍掩模具有帶狀，具備：邊緣，具有一對長邊和一對短邊；掩模部，具有多個掩模孔；以及周邊部，包圍所述掩模部。所述周邊部之中，在所述蒸鍍掩模的長邊方向上的所述掩模部與所述短邊之間存在有脆弱部，該脆弱部具有從一方的所述長邊朝向另一方的所述長邊延伸的形狀。
[0013]用于解決上述課題的蒸鍍掩模的制造方法包括：形成帶狀部、包圍所述帶狀部的
框狀部、以及位于所述帶狀部與所述框狀部之間且將所述帶狀部連結于所述框狀部的連結部的步驟；以及通過切斷所述連結部、將所述帶狀部從所述框狀部切離而得到蒸鍍掩模的步驟。所述帶狀部具備具有一對長邊和一對短邊的邊緣。所述帶狀部具備具有多個掩模孔的掩模部、以及包圍所述掩模部的周邊部。所述周邊部之中，在所述帶狀部的長邊方向上的所述掩模部與所述短邊之間存在有脆弱部，該脆弱部具有從一方的所述長邊朝向另一方的所述長邊延伸的形狀。
[0014]根據上述的蒸鍍掩模中間體、蒸鍍掩模、掩模裝置以及蒸鍍掩模的制造方法，通過切斷脆弱部，能夠將帶狀部之中的包含短邊的兩端部從帶狀部之中的包含掩模部的部分切離。因此，在將從帶狀部形成的蒸鍍掩模安裝到框架后，能夠容易地將蒸鍍掩模的端部除去。
附圖說明
[0015]圖1是表示第1實施方式中的蒸鍍掩模中間體的構造的俯視圖。
[0016]圖2是表示掩模部的構造的截面圖。
[0017]圖3是將第1脆弱部的構造的第1例與第1脆弱部的周圍的構造一起表示的截面圖。
[0018]圖4是將第1脆弱部的構造的第2例與第1脆弱部的周圍的構造一起表示的截面圖。
[0019]圖5是將圖1所示的蒸鍍掩模中間體的構造的一部分放大表示的俯視圖。
[0020]圖6是將圖5所示的區域A放大表示的俯視圖。
[0021]圖7是將圖5所示的區域A放大表示的俯視圖。
[0022]圖8是將圖5所示的區域B放大表示的俯視圖。
[0023]圖9是將蒸鍍掩模中間體的搬運方向上的第2脆弱部的下游端的構造放大表示的俯視圖。
[0024]圖10是表示蒸鍍掩模被固定于框架的狀態的俯視圖。
[0025]圖11是表示從蒸鍍掩模將蒸鍍掩模的端部除去后的狀態的俯視圖。
[0026]圖12是將從與蒸鍍掩模的背面對置的視點觀察的、蒸鍍掩模的端部的構造放大表示的局部放大俯視圖。
[0027]圖13是將從與蒸鍍掩模的背面對置的視點觀察的、蒸鍍掩模的端部的構造放大表示的局部放大俯視圖。
[0028]圖14是表示試驗例1的蒸鍍掩模所具備的第1脆弱部的構造的俯視圖。
[0029]圖15是表示試驗例2的蒸鍍掩模所具備的第1脆弱部的構造的俯視圖。
[0030]圖16是表示試驗例3的蒸鍍掩模所具備的第1脆弱部的構造的俯視圖。
[0031]圖17是表示試驗例4的蒸鍍掩模所具備的第1脆弱部的構造的俯視圖。
[0032]圖18是表示第2實施方式中的蒸鍍掩模中間體的構造的俯視圖。
[0033]圖19是將第2實施方式中與圖5所示的區域A相當的部分放大表示的俯視圖。
[0034]圖20是將第2實施方式中與圖5所示的區域A相當的部分放大表示的俯視圖。
[0035]圖21是表示變更例中的掩模部的構造的截面圖。
具體實施方式
[0036][第1實施方式][0037]參照圖1至圖13說明蒸鍍掩模中間體、蒸鍍掩模以及蒸鍍掩模的制造方法的第1實施方式。以下，依次說明蒸鍍掩模中間體的構造以及掩模裝置的構造。
[0038][蒸鍍掩模中間體的構造][0039]參照圖1至圖9說明蒸鍍掩模中間體的構造。
[0040]如圖1所示那樣，蒸鍍掩模中間體10具備帶狀部11、框狀部12以及連結部13。框狀部12包圍帶狀部11。連結部13位于帶狀部11與框狀部12之間，將帶狀部11連結于框狀部12。圖1中，蒸鍍掩模中間體10之中的連結部13所位于的部分被施加了點。帶狀部11的延伸方向是帶狀部11的長邊方向DL，與長邊方向DL正交的方向是帶狀部11的寬度方向DW。在圖1所示的例子中，在蒸鍍掩模中間體10中，2個帶狀部11沿著寬度方向DW排列。另外，在蒸鍍掩模中間體10中，各帶狀部11也可以在寬度方向DW上不與其他帶狀部11排列。或者，在蒸鍍掩模中間體10中，也可以是，3個以上的帶狀部11在寬度方向DW上排列。
[0041]帶狀部11具備邊緣11e、掩模部11a以及周邊部11b。邊緣11e具有一對長邊11e1和一對短邊11e2。在圖1所示的例子中，短邊11e2具備具有U字狀的切缺e21。另外，短邊11e2也可以不具有切缺e21。各長邊11e1沿著長邊方向DL延伸，各短邊11e2沿著寬度方向DW延伸。一對長邊11e1相互平行，一對短本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】1.一種蒸鍍掩模中間體，其特征在于，具備：帶狀部；框狀部，包圍所述帶狀部；以及連結部，位于所述帶狀部與所述框狀部之間，將所述帶狀部連結于所述框狀部，所述帶狀部具備具有一對長邊和一對短邊的邊緣、具有多個掩模孔的掩模部、以及包圍所述掩模部的周邊部，所述長邊的延伸方向為所述帶狀部的長邊方向，所述周邊部之中，在所述長邊方向上的所述掩模部與所述短邊之間存在有脆弱部，該脆弱部具有從一方的所述長邊朝向另一方的所述長邊延伸的形狀。2.根據權利要求1記載的蒸鍍掩模中間體，其特征在于，所述脆弱部包含多個半蝕刻部，所述多個半蝕刻部沿著從一方的所述長邊朝向另一方的所述長邊的方向以鋸齒狀排列。3.根據權利要求1或2記載的蒸鍍掩模中間體，其特征在于，所述周邊部以及所述框狀部具有第1板厚，所述連結部包含沿著所述帶狀部的所述邊緣的半蝕刻線、以及沿著所述帶狀部的所述邊緣排列的多個半蝕刻部中的至少一方，所述半蝕刻線以及所述半蝕刻部具有比所述第1板厚薄的第2板厚。4.根據權利要求1至3中任一項記載的蒸鍍掩模中間體，其特征在于，所述長邊包含不被連結于所述框狀部的非連結部，所述非連結部包含在所述帶狀部的寬度方向上與所述掩模部相鄰的部分，在所述非連結部與所述框狀部之間存在有狹縫。5.根據權利要求4記載的蒸鍍掩模中間體，其特征在于，所述脆弱部為第1脆弱部，所述框狀部包含包圍所述帶狀部的內側邊緣、以及形成所述框狀部的外形的外側邊緣，在所述框狀部中還具備第2脆弱部，該第2脆弱部具有從所述狹縫朝向相對于所述狹縫而與所述帶狀部相反的一側延伸的線狀。6.根據權利要求5記載的蒸鍍掩模中間體，其特征在于，所述狹縫包含沿著所述帶狀部的所述邊緣延伸的延伸部、以及從所述延伸部朝向相對于所述延伸部而與所述帶狀部相反的一側突出的突出部，所述第2脆弱部被連接于所述突出部。7.根據權利要求6記載的蒸鍍掩模中間體，其特征在于，所述非連結部在所述帶狀部的所述長邊方向上延伸到比所述掩模部靠所述短邊的位置，所述連結部將所述長邊中的所述非連結部以外的部分連結于所述框狀部，所述突出部從所述狹縫的端部朝向相對于所述延伸部而與所述帶狀部相反的一側突出，所述第1脆弱部在所述帶狀部的所述長邊方向上位于比所述突出部靠所述掩模部的位
置。8.根據權利要求1或2記載的蒸鍍掩模中間體，其特征在于，所述周邊部以及所述框狀部具有第1板厚，所述連結部為多個連結部之中的1個，所述多個連結部沿著所述帶狀部的所述邊緣隔開間隔而存在，各連結部...
【專利技術屬性】
技術研發人員：松隈香，相川建一郎，小林昭彥，
申請(專利權)人：凸版印刷株式會社，
類型：發明
國別省市：
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