一種晶棒自動檢測流水線制造技術

本實用新型專利技術提供一種用于晶棒流水檢測作業的晶棒自動檢測流水線，流水線主體上設有用于運輸晶棒的傳送帶；流水線主體上設有電阻率測量儀、截斷機、壽命檢測儀、晶向檢測儀、開方機和磨倒機，電阻率測量儀設置在截斷機前方的傳送帶的一側，壽命檢測儀和晶向檢測儀依次設置在開方機對應的傳送帶的一側；碳氧測量系統，碳氧測量系統包括機械臂和設置在機械臂上的碳氧測量儀，機械臂用于夾取和運輸晶棒，碳氧測量儀用于向晶棒射出紅外線以進行檢測。本實用新型專利技術的晶棒自動檢測流水線通過將檢測儀器設置在流水線上，實現了晶棒的全自動檢測，有效的降低了人工成本，減少了人為誤差和檢測時間，提升了生產效率。提升了生產效率。提升了生產效率。

【技術實現步驟摘要】
一種晶棒自動檢測流水線


[0001]本技術涉及單晶檢測
，具體涉及一種晶棒自動檢測流水線。

技術介紹

[0002]在單晶拉制行業中，單晶的氧碳含量、電阻率、壽命以及晶向等數據都需要進行檢測。晶棒首先需要經過人工初測測量表皮電阻，以確定截斷的長度以及大致的合格晶棒長度，然后將晶棒進行截斷操作，截下的頭部和尾部需要使用人工搬運，最后使用人工檢測的方式，進行晶棒頭尾氧碳、壽命電阻率等參數的檢測及數據錄入，檢測過程漫長而繁瑣，人工操作也容易產生檢測誤差。

技術實現思路

[0003]有鑒于此，本技術提供一種晶棒自動檢測流水線，用以解決人工檢測晶棒費時費力的問題。
[0004]為解決上述技術問題，本技術采用以下技術方案：
[0005]根據本技術實施例的一種晶棒自動檢測流水線，包括：
[0006]用于晶棒流水檢測作業的流水線主體，流水線主體上設有用于運輸晶棒的傳送帶；
[0007]流水線主體上設有電阻率測量儀、截斷機、壽命檢測儀、晶向檢測儀、開方機和磨倒機，電阻率測量儀設置在截斷機前方的傳送帶的一側，壽命檢測儀和晶向檢測儀依次設置在開方機對應的傳送帶的一側；
[0008]碳氧測量系統，碳氧測量系統包括機械臂和設置在機械臂上的碳氧測量儀，機械臂用于夾取和運輸晶棒，碳氧測量儀用于向晶棒射出紅外線以進行檢測。
[0009]在本技術的一個實施例中，流水線主體形成為多段，包括第一流水線主體和第二流水線主體，碳氧測量系統設置在第一流水線主體和第二流水線主體之間，第一流水線主體與碳氧測量系統連接處形成為出料端，出料端設置有晶棒定位裝置。
[0010]在本技術的一個實施例中，碳氧測量系統還包括：
[0011]檢測臺，檢測臺連接在出料端和第二流水線之間；
[0012]固定架，固定架設置在檢測臺上方，固定架上設置有與檢測臺長度方向一致的滑動軌道，滑動軌道延伸至出料端；
[0013]機械臂用于與滑動軌道滑動連接以夾持晶棒，機械臂包括至少一個。
[0014]在本技術的一個實施例中，機械臂上設置有功率可調節的同步電機。
[0015]在本技術的一個實施例中，機械臂與晶棒接觸的一端套設有隔熱件。
[0016]在本技術的一個實施例中，傳送帶為聚四氟乙烯制件。
[0017]在本技術的一個實施例中，晶棒自動檢測流水線還包括：控制器，控制器分別與碳氧測量系統、電阻率測量儀、截斷機、開方機、磨倒機、壽命檢測儀及晶向檢測儀電連接。
[0018]在本技術的一個實施例中，機械臂與控制器電連接。
[0019]在本技術的一個實施例中，控制器為PLC控制器。
[0020]在本技術的一個實施例中，晶棒自動檢測流水線還包括：顯示裝置，顯示裝置與控制器連接。
[0021]本技術的上述技術方案至少具有如下有益效果之一：
[0022]1、本技術的晶棒自動檢測流水線，將檢測儀器集成到流水線上，實現了晶棒的全自動檢測，有效減少了檢測時間，減少了人為誤差，提高了生產效率；
[0023]2、本技術的晶棒自動檢測流水線，將檢測儀器生成的數據集成至顯示裝置上，可以及時的反饋數據，進行數據交互，進一步提升了生產效率。
附圖說明
[0024]圖1為本技術實施例提供的一種晶棒自動檢測流水線的結構示意圖。
[0025]附圖標記：100、第一流水線主體；101、第二流水線主體；102、晶棒定位裝置；110、傳送帶；200、碳氧測量系統；210、檢測臺；220、固定架；230、機械臂；240、碳氧測量儀；300、電阻率測量儀；400、截斷機；500、壽命檢測儀；600、晶向檢測儀；700、開方機；800、磨倒機；900、晶棒。
具體實施方式
[0026]為使本技術實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本技術實施例的附圖，對本技術實施例的技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本技術的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于所描述的本技術的實施例，本領域普通技術人員所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。
[0027]除非另作定義，本技術中使用的技術術語或者科學術語應當為本技術所屬領域內具有一般技能的人士所理解的通常意義。本技術中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語并不表示任何順序、數量或者重要性，而只是用來區分不同的組成部分。同樣，“一個”或者“一”等類似詞語也不表示數量限制，而是表示存在至少一個。“連接”或者“相連”等類似的詞語并非限定于物理的或者機械的連接，而是可以包括電性的連接，不管是直接的還是間接的。“上”、“下”、“左”、“右”等僅用于表示相對位置關系，當被描述對象的絕對位置改變后，則該相對位置關系也相應地改變。
[0028]現有的晶棒檢測過程中，晶棒首先需要經過人工初測測量表皮電阻，以確定截斷的長度以及大致的合格晶棒長度，然后將晶棒進行截斷操作，截下的頭部和尾部需要使用人工搬運，最后使用人工檢測的方式，進行晶棒頭尾氧碳、壽命電阻率等參數的檢測及數據錄入，檢測過程漫長而繁瑣，人工操作也容易產生檢測誤差。
[0029]下面首先結合附圖具體描述本技術實施例的晶棒自動檢測流水線。
[0030]如圖1所示，圖1為本技術實施例的一種晶棒自動檢測流水線，包括：用于晶棒流水線檢測作業的流水線主體，流水線主體上設有用于運輸晶棒的傳送帶110，流水線主體上設有電阻率測量儀300、截斷機400、壽命檢測儀500、晶向檢測儀600、開方機700、磨倒機800；電阻率測量儀300設置在截斷機400前方的傳送帶110的一側，壽命檢測儀500和晶向檢測儀600依次設置在開方機700對應的傳送帶110的一側；碳氧測量系統200，碳氧測量系統
200包括機械臂230和設置在機械臂230上的碳氧測量儀240，機械臂230用于夾取和運輸晶棒900，碳氧測量儀240用于向晶棒900射出紅外線以進行檢測。具體來說，高溫的晶棒900可以放置在流水線主體的機架上，機架上的傳送帶110可以將晶棒900依次輸送至各個檢測儀器下方進行檢測。下面詳細描述晶棒900在流水線上的檢測流程，首先，傳送帶110將晶棒900傳送至碳氧測量系統200前方，機械臂230將晶棒900由傳送帶110夾取到碳氧測量系統200內，機械臂230上的碳氧測量儀240可以檢測晶棒900的碳氧含量，然后傳送帶110可以將晶棒900輸送到截斷機400上，截斷機400一側的電阻率測量儀300可以檢測晶棒900表皮的電阻率，并可以根據設定偏差值自動報警，之后截斷機400可以將晶棒900截成數段，然后傳送帶110可以將多段晶棒900分別輸送到開方機700上，開方機700兩側的壽命檢測儀500和晶向檢測儀600可以分別檢測晶棒900的少子壽命和晶向，再然后開方機700將圓柱狀的晶棒900切割成方棒，最后，傳送帶110將晶棒90本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種晶棒自動檢測流水線，其特征在于，包括：用于所述晶棒流水檢測作業的流水線主體，所述流水線主體上設有用于運輸所述晶棒的傳送帶；所述流水線主體上設有電阻率測量儀、截斷機、壽命檢測儀、晶向檢測儀、開方機和磨倒機，所述電阻率測量儀設置在所述截斷機前方的所述傳送帶的一側，所述壽命檢測儀和所述晶向檢測儀依次設置在所述開方機對應的所述傳送帶的一側；碳氧測量系統，所述碳氧測量系統包括機械臂和設置在所述機械臂上的碳氧測量儀，所述機械臂用于夾取和運輸晶棒，所述碳氧測量儀用于向所述晶棒射出紅外線以進行檢測。2.根據權利要求1所述的晶棒自動檢測流水線，其特征在于，所述流水線主體形成為多段，包括第一流水線主體和第二流水線主體，所述碳氧測量系統設置在所述第一流水線主體和所述第二流水線主體之間，所述第一流水線主體與所述碳氧測量系統連接處形成為出料端，所述出料端設置有晶棒定位裝置。3.根據權利要求2所述的晶棒自動檢測流水線，其特征在于，所述碳氧測量系統還包括：檢測臺，所述檢測臺連接在所述出料端和所述第二流水線之間；固定架，所述固定架設置在所述檢測臺上方，所述固定架上設...

【專利技術屬性】
技術研發人員：楊超，武絢麗，宋克冉，
申請(專利權)人：曲靖晶龍電子材料有限公司，
類型：新型
國別省市：