【技術實現步驟摘要】
一種熔融石英半球諧振子夾持裝置
[0001]本技術涉及一種化學處理裝置,具體涉及一種用于化學蝕刻工藝的熔融石英半球諧振子夾持裝置。
技術介紹
[0002]半球諧振陀螺是一種以布萊恩效應為基礎的新型固體波動陀螺,其核心結構為半球結構的諧振子,整體結構簡單,使其具備小體積、高精度、低功耗、長壽命等優點,除此之外,半球諧振陀螺還具備良好的抗沖擊性、抗輻照能力等特點。由于半球諧振陀螺特有的優勢,使其在海、陸、空、天等領域中得到了廣泛應用。
[0003]半球諧振子是半球諧振陀螺的核心敏感器件,其采用低膨脹系數、高品質因數的熔融石英制造,熔融石英半球諧振子的加工精度直接影響半球諧振陀螺的測量精度。熔融石英半球諧振子在機械加工過程中不可避免的會產生裂紋或斷口,并導致諧振子表面附著有加工過程中產生的雜質,為了增大熔融石英半球諧振子的品質因數,必須對表層缺陷進行處理。
[0004]化學蝕刻可以有效的去除熔融石英半球諧振子表面的缺陷層及雜質,經過化學蝕刻后的半球諧振子品質因數可以提升1
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2個數量級,大幅度提升半球諧振陀螺的綜合性能,因此,化學蝕刻是半球諧振陀螺加工過程中必不可少的環節。化學蝕刻過程中使用的蝕刻液通常以氫氟酸水溶液為主,并添加以硫酸為主的強無機酸去除氫氟酸反應產生的未溶解與水的氟化物及氟硅酸鹽,提升化學蝕刻效果。
技術實現思路
[0005]本技術為克服現有技術不足,提供一種熔融石英半球諧振子夾持裝置。
[0006]一種熔融石英半球諧振子夾持裝置包含電機、安裝座、鎖緊套 ...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種熔融石英半球諧振子夾持裝置,其特征在于:包含電機(1)、安裝座(2)、鎖緊套組件(K)和夾持組件(S);電機(1)固定在安裝座(2)上,用于固定熔融石英半球諧振子(5)的夾持組件(S)固定在鎖緊套組件(K)內,鎖緊套組件(K)固定在電機(1)的輸出軸上,所述鎖緊套組件(K)和夾持組件(S)中與蝕刻液直接接觸的部件為抗腐蝕性材質。2.根據權利要求1所述一種熔融石英半球諧振子夾持裝置,其特征在于:所述鎖緊套組件(K)包含套筒(31)和套筒過渡件(32);所述夾持組件(S)包含夾持桿(33)和夾持過渡件(34);套筒(31)的一端與套筒過渡件(32)可拆卸連接,夾持桿(33)與夾持過渡件(34)可拆卸連接,夾持桿(33)和夾持過渡件(34)布置在套筒(31)內,夾持過渡件(34)與套筒過渡件(32)相連。3.根據權利要求2所述一種熔融石英半球諧振子夾持裝置,其特征在于:套筒(31)和夾持桿(33)的材質均為聚四氟乙烯。4.根據權利要求2所述一種熔融石英半球諧振子夾持裝置,其特征在于:套筒過渡件(32)和夾持過渡件(34)的材質均為不銹鋼。5.根據權利要求2所述一種熔融石英半球諧振子夾持裝置,其特征在于:套筒過渡件(32)包含一體制成的固定件A(32
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1)和固定件B(32
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2),固定件A(32
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1)與固定件B(32
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2)呈階梯式布置,套筒(31)插裝在固定件A(32
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1)上,固定件B(32
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2)與電機(1)的輸出軸相連。6.根據權利要求5所述一種熔融石英半球諧振子夾持裝置,其特征在于:夾持過渡件(34)包含一體制成的連接件(34
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1)和圓柱件(34
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2),連接件(34
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1)具有插槽,夾持桿(33)的一端插在插槽內并通過第一螺絲(D)固定。7.根據權利要求6所述一種熔融石英半球諧振子夾持裝置,其特征在于:圓柱件(34
?
2)加工有一個螺紋孔B(34
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21),固定件A(32
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1)上開有第一中心孔(32<...
【專利技術屬性】
技術研發人員:王常虹,魏振楠,趙瑜,伊國興,孫一為,
申請(專利權)人:哈爾濱工業大學,
類型:新型
國別省市:
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