【技術實現步驟摘要】
一種TFT
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LCD玻璃基板的蒸鍍方法
[0001]本專利技術屬于蒸鍍
，具體涉及一種TFT
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LCD玻璃基板的蒸鍍方法。
技術介紹
[0002]蒸鍍，是指在真空條件下，采用一定的加熱蒸發方式蒸發鍍膜材料(或稱膜料)并使之氣化，粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法；蒸鍍是使用較早、用途較廣泛的氣相沉積技術，具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高、膜結構和性能獨特等優點；
[0003]現有技術存在的問題：
[0004]傳統的TFT
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LCD玻璃基板的蒸鍍方法，都是對一塊玻璃基板上同時進行三種顏色的鍍膜工作，此方式，在蒸鍍過程中，不同顏色分子之間在撞擊玻璃基板表面時會相互影響，相互影響介入，進而導致各顏色覆膜交接處容易出現誤差，降低了成品的質量。
技術實現思路
[0005]本專利技術的目的是提供一種TFT
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LCD玻璃基板的蒸鍍方法，能夠同時完成三個玻璃基板的蒸鍍工作，大大提高工作效率，且解決在傳統鍍膜方式中不同顏色分子之間的相互影響，盡可能提高成品的質量，還可充分使用材料，降低材料的損耗，最后還可精準地完成玻璃基板的定位安裝。
[0006]本專利技術采取的技術方案具體如下：
[0007]一種TFT
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LCD玻璃基板的蒸鍍方法，具體步驟如下；
[0008]S1：先在像素點分鍍臺內部邊緣嵌入相應的分鍍模板，在發光材料固定臺的內部邊緣嵌入相應的單色有機發光材料板，三種分鍍模板則分...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種TFT
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LCD玻璃基板的蒸鍍方法，其特征在于：具體步驟如下；S1：先在像素點分鍍臺(8)內部邊緣嵌入相應的分鍍模板(801)，在發光材料固定臺(7)的內部邊緣嵌入相應的單色有機發光材料板(701)，三種分鍍模板(801)則分別對應紅、綠、藍三種單色有機發光材料板(701)，每一塊分鍍模板(801)均開設有單色蒸鍍孔(802)，單色蒸鍍孔(802)對應為相應顏色的單色有機發光材料板(701)打在玻璃基板(11)表面的位置；S2：利用換料機械臂(2)夾取玻璃基板(11)并將其運輸至固定槽(301)內部，啟動一側的兩個電機一(306)使雙向螺紋桿(305)旋轉，此時，該側兩個輪架(307)將相向移動，對應貼合運送輪(308)將沿著移動槽(302)的方向移動，直至貼合運送輪(308)貼合玻璃基板(11)的兩側壁，在啟動電機二(309)使兩側的貼合運送輪(308)旋轉，最終實現在固定槽(301)內部微調玻璃基板(11)的位置，使玻璃基板(11)調整到正確的蒸鍍位置，最終啟動氣泵對抽氣管(5)抽氣，將玻璃基板(11)吸附固定在固定槽(301)內部；S3：使密封蒸鍍室(1)內為真空狀態，接著啟動激光加熱器(1002)，激光加熱器(1002)發出的激光使單色有機發光材料板(701)加熱，進而將對應顏色單色有機發光材料板(701)蒸發分解成分子或者原子，這些顆粒透過單色蒸鍍孔(802)撞擊在玻璃基板(11)的表面，在玻璃基板(11)表面對應的位置形成單色發光薄膜；S4：接著啟動電機三(9)使齒輪(901)旋轉，在齒環(602)與齒輪(901)的嚙合傳動下使轉動蒸鍍座(6)旋轉，因此各個單色蒸鍍孔(802)將會接替更換位置，從而使三種單色有機發光材料板(701)接替運動到一個玻璃基板(11)的下方，緊接著重復S3工作，進而在玻璃基板(11)表面對應的位置形成另一種顏色的發光薄膜；S5：在S3的工作中，電機四(1013)一同工作，此時轉盤(1014)將旋轉，由于激光加熱器(1002)底部邊緣的伸縮桿(1010)連接在轉盤(1014)邊緣的偏移槽體(1015)內部，因此轉盤(1014)在旋轉時，激光加熱器(1002)自身也將同時發生晃動，激光加熱器(1002)的頂端也將同時做圓周運動，進而增大照射單色有機發光材料板(701)的面積，使單色有機發光材料板(701)能夠充分蒸發；包括密封蒸鍍室(1)；所述密封蒸鍍室(1)的內部頂端邊緣等距固定安裝有升降氣缸(4)，所述升降氣缸(4)的輸出端共同固定組裝有基板固定臺(3)，且所述基板固定臺(3)活動設置在所述密封蒸鍍室(1)的內部頂端，所述密封蒸鍍室(1)的內部底端轉動安裝有轉動蒸鍍座(6)，所述轉動蒸鍍座(6)的上方通過邊緣等距設置的支架(601)依次固定組裝有發光材料固定臺(7)以及像素點分鍍臺(8)，所述轉動蒸鍍座(6)的內部等距設置有激光加熱臺(10)；所述密封蒸鍍室(1)的外壁等距固定設置有換料管(101)，且三個所述換料管(101)的內部均安裝有換料機械臂(2)；所述基板固定臺(3)的下表面邊緣等距開設有固定槽(301)，且三個所述固定槽(301)的位置分別與三個所述換料機械臂(2)的位置相對應，所述固定槽(301)的內部均活動安裝有玻璃基板(11)；所述發光材料固定臺(7)的邊緣內部活動組裝有單色有機發光材料板(701)，所述像素點分鍍臺(8)設置在所述發光材料固定臺(7)的正上方，所述像素點分鍍臺(8)的邊緣內部均嵌入有分鍍模板(801)，且三個所述分鍍模板(801)分別設置在三個所述單色有機發光材料板(701)的正上方，所述分鍍模板(801)的表面均開設有單色蒸鍍孔(802)。
2.根據權利要求1所述的一種TFT
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LCD玻璃基板的蒸鍍方法，其特征在于：所述密封蒸鍍室(1)的內部一側固定設置有電機室(102)，所述電機室(102)的內部固定安裝有電機三(9)，且所述電機三(9)的輸出端固定安裝有齒輪(901)。3.根據權利要求2所述的...
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