本發明專利技術公開了一種單晶爐副室管道清掃機器人，包括攀爬裝置、安裝于攀爬裝置上的清潔裝置、電源及控制裝置、跟隨照明及云臺相機檢測部件。該清掃機器人通過攀爬裝置在管道內壁上攀爬。同時，在管道的攀爬過程中，通過清潔裝置對管道內可以攀爬到的各個位置進行。該清掃機器人能夠代替人力人工遠程操作控制，避免使用人力在管道內部爬高的安全隱患，實現對管道內的無人自動化清掃。內的無人自動化清掃。內的無人自動化清掃。
【技術實現步驟摘要】
一種單晶爐副室管道清掃機器人
[0001]本專利技術涉及機器人
技術介紹
[0002]由于半導體產業中對單晶太陽能長晶爐的需求持續大量增長，使長晶爐的使用頻率增加，隨著長晶爐的大量使用，副室清潔的工作量也大幅增加。現有技術中，單純依靠人力對副室清潔已經無法滿足要求，且由于人的因素會因體力、情緒、責任心等諸多因素而變動，清潔質量無法實效控制。
[0003]通過目前人工清潔情況的了解，存在人工攀爬、噴灑無水酒精、手工用無塵紙擦拭、觀察表面清潔情況等，重復這幾個步驟直到目測清潔干凈為止。現有技術須要人力全手工操作，爬到高空拆裝檢修孔洞蓋板，以及采用不夠規范的工具和手段，費時費力。即使這樣還無法防止氧化物等污染物散落到無塵潔凈的廠房內。無法均勻連續清潔副室內表面，無法觀察和檢查內壁表面的氧化物沉積情況和清潔的質量。無法保障清潔質量。
技術實現思路
[0004]專利技術目的：針對以上缺點，本專利技術提供一種單晶爐副室管道清掃機器人，目的是避免使用人力在管道內部爬高的安全隱患，實現對管道內的無人自動化清掃，同時提高對管道內的清潔質量。
[0005]技術方案：為解決上述問題，本專利技術可采用以下技術方案：
[0006]一種單晶爐副室管道清掃機器人，包括攀爬裝置及安裝于攀爬裝置上的清潔裝置；所述攀爬裝置包括上基體、下基體、若干第一攀爬部件、若干第二攀爬部件、若干攀爬伸縮桿；所述若干第一攀爬部件、若干第二攀爬部件、若干攀爬伸縮桿均安裝于上基體與下基體之間；第一攀爬部件包括第一伸縮桿、與第一伸縮桿配合的第一攀爬腿；第一伸縮桿伸長時，第一攀爬腿向內收；第一伸縮桿縮短時，第一攀爬腿向外擴張；第二攀爬部件包括第二伸縮桿、與第二伸縮桿配合的第二攀爬腿；第二伸縮桿伸長時，第二攀爬腿向內收；第二伸縮桿縮短時，第二攀爬腿向外擴張；所述第一攀爬腿位于第二攀爬腿的上方；所述清潔裝置包括周向設置的若干清潔刷。
[0007]進一步的，所述第一攀爬部件包括安裝于上基體并向下基體方向延伸的第一收容桿，所述第一收容桿具有上下延伸的第一收容槽，所述第一伸縮桿的一端安裝于第一收容槽的底部，第一伸縮桿的另一端與第一攀爬腿的中間位置鉸接，第一攀爬腿位于第一伸縮桿上方，第一攀爬腿的后端鉸接于第一收容槽內，第一攀爬腿的前端延伸出第一收容槽，第一伸縮桿與第一攀爬腿的鉸接處為第一攀爬腿的杠桿支點；所述第二攀爬部件包括安裝于下基體并向上基體方向延伸的第二收容桿，所述第二收容桿具有上下延伸的第二收容槽，所述第二伸縮桿的一端安裝于第二收容槽的底部，第二伸縮桿的另一端與第二攀爬腿的中間位置鉸接，第二攀爬腿位于第二伸縮桿下方，第二攀爬腿的后端鉸接于第二收容槽內，第二攀爬腿的前端延伸出第二收容槽，第二伸縮桿與第二攀爬腿的鉸接處為第二攀爬腿的杠
桿支點。
[0008]進一步的，所述清潔裝置包括安裝于上基體上的主體、通過軸承安裝于主體外圍上端并圍繞主體轉動的轉動部、位于轉動部下方的套筒、通過軸承安裝于套筒外側的旋轉齒輪、安裝于套筒底部的升降齒輪、驅動升降齒輪轉動的第一電機、驅動旋轉齒輪轉動的第二電機；所述旋轉齒輪與清潔刷底部之間連接有第一連桿，第一連桿的底部與旋轉齒輪鉸接，第一連桿的頂部與清潔刷底部鉸接，清潔刷內側與轉動部外側之間連接有第二連桿，第二連桿的一端與清潔刷內側鉸接而另一端與轉動部外側鉸接；當升降齒輪上升而靠近轉動部時，清潔刷相對轉動部向外移動。
[0009]進一步的，所述主體內安裝有風機、位于風機上方的過濾器、位于風機下方的流道，所述主體外側周向設有一圈吹氣口，該吹氣口與流道連通；風機工作時，風機上方形成負壓。
[0010]進一步的，所述主體上還設有圍繞主體周向設置的進氣口，所述轉動部上設有圍繞轉動部周向設置的吸入通道，吸入通道位于清潔刷內側，吸入通道與進氣口連通；所述進氣口位于過濾器上方且與過濾器進口連通。
[0011]進一步的，所述主體的頂端設有噴劑噴嘴，主體內設有存貯壺、連接存貯壺的微型泵及電動閥，通過微型泵及電動閥將噴劑輸送到噴劑噴嘴。
[0012]進一步的，所述主體頂部設有光源及云臺相機，云臺相機配備無線視頻連接模塊用以將采集圖像傳輸至管道外的監視器。
[0013]進一步的，所述上基體為環狀；若干第一攀爬部件、若干第二攀爬部件、若干攀爬伸縮桿圍成一圈的排列于上基體與下基體之間；所述主體的下半部分自上基體向下延伸至若干第一攀爬部件、若干第二攀爬部件、若干攀爬伸縮桿圍成的中空空間內。
[0014]進一步的，所述主體中間位置設有向外凸出的環狀臺階，該環狀臺階安裝于上基體的上表面，所述升降齒輪設置于環狀臺階的上表面，所述環狀臺階的外緣周向設置吹氣口。
[0015]進一步的，所述第一電機、第二電機設置于上基體下表面，且第一電機的輸出軸、第二電機的輸出軸自下向上穿過上基體及環狀臺階，第一電機的輸出軸頂端設有與升降齒輪嚙合的第一輸出齒輪，第二電機的輸出軸頂端設有與旋轉齒輪嚙合的第二輸出齒輪。
[0016]有益效果：本專利技術提供的單晶爐副室管道清掃機器人是能夠在單晶爐副室管道內移動并進行清掃作業的專用機器人。該清掃機器人通過第一攀爬部件與第二攀爬部件交替支撐于單晶爐副室管道內壁，并通過攀爬伸縮桿的伸縮使清掃機器人能夠在管道內壁上攀爬。同時，在管道的攀爬過程中，通過清潔裝置對管道內可以攀爬到的各個位置進行。該清掃機器人能夠代替人力人工遠程操作控制，避免使用人力在管道內部爬高的安全隱患，實現對管道內的無人自動化清掃。并且清掃機器人的清掃裝置為機械標準化設備，對每個方向的清掃作業程度均相同，以提高清潔質量。
附圖說明
[0017]圖1為本專利技術單晶爐副室管道清掃機器人的立體圖。
[0018]圖2為本專利技術單晶爐副室管道清掃機器人的剖視示意圖。
[0019]圖3為清潔裝置的立體圖。
[0020]圖4為清潔裝置的剖視示意圖。
[0021]圖5為攀爬裝置的立體圖。
[0022]圖6為攀爬裝置中攀爬伸縮桿伸長時的立體圖。
[0023]圖7為攀爬裝置中第一攀爬腿、第二攀爬腿同時向外展開的立體圖。
具體實施方式
[0024]下面結合附圖和具體實施例對本專利技術進行詳細說明,所述實例僅是專利技術的一部分實施例，并不是全部實施例。
[0025]本實施方式提供一種單晶爐副室管道清掃機器人。如圖1及圖2所示，包括攀爬裝置100、安裝于攀爬裝置上的清潔裝置200、電源及控制裝置300、跟隨照明及云臺相機檢測部件400。
[0026]請參閱圖5至圖7所示，所述攀爬裝置100包括上基體101、下基體102、若干第一攀爬部件120、若干第二攀爬部件130、若干攀爬伸縮桿110；所述若干第一攀爬部件120、若干第二攀爬部件130、若干攀爬伸縮桿110均安裝于上基體101與下基體102之間。
[0027]第一攀爬部件120包括第一伸縮桿121、與第一伸縮桿121配合的第一攀爬腿122、安裝于上基體101并向下基體102方向延伸的第一收容桿123。所述本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種單晶爐副室管道清掃機器人，其特征在于：包括攀爬裝置及安裝于攀爬裝置上的清潔裝置；所述攀爬裝置包括上基體、下基體、若干第一攀爬部件、若干第二攀爬部件、若干攀爬伸縮桿；所述若干第一攀爬部件、若干第二攀爬部件、若干攀爬伸縮桿均安裝于上基體與下基體之間；第一攀爬部件包括第一伸縮桿、與第一伸縮桿配合的第一攀爬腿；第一伸縮桿伸長時，第一攀爬腿向內收；第一伸縮桿縮短時，第一攀爬腿向外擴張；第二攀爬部件包括第二伸縮桿、與第二伸縮桿配合的第二攀爬腿；第二伸縮桿伸長時，第二攀爬腿向內收；第二伸縮桿縮短時，第二攀爬腿向外擴張；所述第一攀爬腿位于第二攀爬腿的上方；所述清潔裝置包括周向設置的若干清潔刷。2.根據權利要求1所述的單晶爐副室管道清掃機器人，其特征在于，所述第一攀爬部件包括安裝于上基體并向下基體方向延伸的第一收容桿，所述第一收容桿具有上下延伸的第一收容槽，所述第一伸縮桿的一端安裝于第一收容槽的底部，第一伸縮桿的另一端與第一攀爬腿的中間位置鉸接，第一攀爬腿位于第一伸縮桿上方，第一攀爬腿的后端鉸接于第一收容槽內，第一攀爬腿的前端延伸出第一收容槽，第一伸縮桿與第一攀爬腿的鉸接處為第一攀爬腿的杠桿支點；所述第二攀爬部件包括安裝于下基體并向上基體方向延伸的第二收容桿，所述第二收容桿具有上下延伸的第二收容槽，所述第二伸縮桿的一端安裝于第二收容槽的底部，第二伸縮桿的另一端與第二攀爬腿的中間位置鉸接，第二攀爬腿位于第二伸縮桿下方，第二攀爬腿的后端鉸接于第二收容槽內，第二攀爬腿的前端延伸出第二收容槽，第二伸縮桿與第二攀爬腿的鉸接處為第二攀爬腿的杠桿支點。3.根據權利要求1或2所述的單晶爐副室管道清掃機器人，其特征在于，所述清潔裝置包括安裝于上基體上的主體、通過軸承安裝于主體外圍上端并圍繞主體轉動的轉動部、位于轉動部下方的套筒、通過軸承安裝于套筒外側的旋轉齒輪、安裝于套筒底部的升降齒輪、驅動升降齒輪轉動的第一電機、驅動旋轉齒輪轉動的第二電機；所述旋轉齒輪與清潔刷底部之間連接有第一連桿，第一連桿的底部與旋轉齒輪鉸接，第一連桿的頂部與...
【專利技術屬性】
技術研發人員：羅漢昌，姜宏偉，
申請(專利權)人：南京晶能半導體科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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