一種高強度金屬遮罩制造技術

本發明專利技術公開一種高強度金屬遮罩，包括：金屬板材，所述金屬板材表面設有若干貫通孔，通過若干貫通孔在金屬板材上形成若干遮罩塊結構，所述遮罩塊結構包括第一遮部，所述第一遮部的厚度T3與金屬板材的厚度H1的比值小于等于1/5，本發明專利技術在不改變遮罩塊結構厚度的情況下，通過提高第一遮部與遮罩塊結構的厚度比來提高金屬遮罩的強度。提高金屬遮罩的強度。提高金屬遮罩的強度。

【技術實現步驟摘要】
一種高強度金屬遮罩


[0001]本專利技術涉及顯示屏蒸鍍
，具體涉及一種高強度金屬遮罩。

技術介紹

[0002]精密金屬遮罩主要用于OLED蒸鍍制程中，RGB三種顏色的蒸鍍材料透過精密金屬遮罩上的孔洞，準確地將位置形狀大小定義在玻璃基板上。隨著OLED需求分辨率越來越高，像素間距也就越來越近，精密金屬遮罩的圖形區結構從圖1所示結構發展成圖2所示結構。圖1中的圖形區結構厚度H2＝金屬板材厚度H1；圖2的圖形區結構厚度H3<金屬板材厚度H1。當圖形區結構厚度<金屬板材厚度的1/2時，精密金屬遮罩結構強度過低易產生折痕，目前均是透過降低金屬板材厚度，使圖形區結構厚度≥金屬板材厚度1/2,確保生產過程和使用過程不易產生折痕，但是，厚度越薄的金屬板材在軋制工藝上越難控制其板型平整性及厚度均勻性等品質。

技術實現思路

[0003]為解決以上技術問題，本專利技術提供了一種高強度金屬遮罩，在不改變遮罩塊結構厚度的情況下，通過提高第一遮部與遮罩塊結構的厚度比來提高金屬遮罩的強度。
[0004]本專利技術采用以下技術方案：
[0005]一種高強度金屬遮罩，包括：金屬板材，所述金屬板材表面設有若干貫通孔，通過若干貫通孔在金屬板材上形成若干遮罩塊結構，所述遮罩塊結構包括第一遮部，所述第一遮部的厚度T3與金屬板材的厚度H1的比值小于等于1/5。
[0006]作為優選，所述遮罩塊結構厚度小于金屬板材厚度的1/2。
[0007]作為優選，所述第一遮部包括錯位設置的上端點S1與下端點S2，且上端點S1與下端點S2形成的連線與遮罩塊結構上表面之間的夾角θ為70度
?
90度。
[0008]作為優選，所述上端點S1與下端點S2之間的水平距離W2小于相鄰兩個遮罩塊結構之間的距離W1的5％。
[0009]作為優選，所述上端點S1與下端點S2之間的水平距離為W2，且T3＝W2
×
tanθ。
[0010]作為優選，所述第一遮部的厚度T3為0.5～5um
[0011]作為優選，所述第一遮部的厚度T3為1～3um。
[0012]作為優選，所述第一遮部的上端點S1與下端點S2之間為弧形過渡。
[0013]作為優選，所述貫通孔包括相互連通的第一蝕刻孔、第二蝕刻孔，所述第一蝕刻孔、第二蝕刻孔開口尺寸不同，并致使遮罩塊結構形成第一遮部和第二遮部。
[0014]作為優選，所述金屬板材的材質為Fe
?
Ni合金。
[0015]與現有技術相比，本專利技術具有以下優點：當圖形區結構厚度<金屬板材厚度的1/2時，精密金屬遮罩結構強度過低易產生折痕，目前均是透過降低金屬板材厚度，使圖形區結構厚度≥金屬板材厚度1/2,確保生產過程和使用過程不易產生折痕，但是，厚度越薄的金屬板材在軋制工藝上越難控制其板型平整性及厚度均勻性等品質，故優選方案是不降低金
屬板材厚度。本專利技術提供了一種高強度金屬遮罩，在不改變遮罩塊結構厚度的情況下，通過提高第一遮部與遮罩塊結構的厚度比來提高金屬遮罩的強度。
附圖說明
[0016]圖1為現有技術的結構示意圖。
[0017]圖2為現有技術的另一種結構示意圖。
[0018]圖3為本專利技術的金屬遮罩的結構示意圖。
[0019]圖4為遮罩塊結構的結構示意圖。
[0020]圖5為遮罩塊結構的示意圖。
[0021]圖6為金屬遮罩的使用狀態示意圖。
[0022]圖7為金屬遮罩與有機發光膜層的結構示意圖。
[0023]圖8為金屬板材的結構示意圖。
[0024]圖9為金屬板材拉伸量示意圖。
[0025]圖中，金屬板材1、貫通孔11、第一蝕刻孔111、第二蝕刻孔112、遮罩塊結構12、第一遮部121、第二遮部122、板壁13、有機發光膜層2、基板3。
具體實施方式
[0026]為了便于理解本專利技術技術方案，以下結合附圖與具體實施例進行詳細說明。
[0027]實施例1
[0028]如圖1
?
2所示，為現有技術精密金屬遮罩的發展情況。具體的，圖1中圖形區結構厚度H2＝金屬板材厚度H1，隨著OLED需求分辨率越來越高，像素間距也就越來越近，精密金屬遮罩的圖形區結構從圖1發展成圖2，圖2中圖形區結構厚度H3<金屬板材厚度H1。
[0029]但是，當圖形區結構厚度<金屬板材厚度的1/2時，精密金屬遮罩結構強度過低易產生折痕，目前均是透過降低金屬板材厚度，使圖形區結構厚度≥金屬板材厚度1/2，確保生產過程和使用過程不易產生折痕。
[0030]但是，厚度越薄的金屬板材1在軋制工藝上越難控制其板型平整性及厚度均勻性等品質，目前品質符合生產精密金屬遮罩的最薄金屬板材1厚度約為0.02mm，其精密金屬遮罩的分辨率約≤550ppi，一旦金屬板材1厚度小于0.02mm，就會造成邊緣翹曲或者表面不平整等情況。
[0031]如圖3
?
4所示，本高強度金屬遮罩，包括：金屬板材1，所述金屬板材1表面設有若干貫通孔11，通過若干貫通孔11在金屬板材1上形成若干遮罩塊結構12，遮罩塊結構12厚度為H3，所述遮罩塊結構12包括第一遮部121，所述第一遮部121包括錯位設置的上端點S1與下端點S2，第一遮部121的厚度T3為上端點S1與下端點S2之間的豎直距離，所述第一遮部121的厚度T3與金屬板材1的厚度H1的比值小于等于1/5。
[0032]其中，若干遮罩塊結構12形成圖形區結構，故本高強度金屬遮罩在不改變遮罩塊結構12厚度的情況下，通過提高第一遮部121與遮罩塊結構12的厚度比來提高金屬遮罩的強度，確保生產過程和使用過程不易產生折痕。
[0033]其中，第一遮部121的厚度T3大于現有技術中的精密金屬遮罩的第一遮部121厚度數值1um～3um為優。
[0034]為了確保T3可以保持在一個相對較高的數值，本實施例將第一遮部121的上端點S1與下端點S2形成的連線與遮罩塊結構12上表面之間的夾角θ控制為70度－90度，其中，該夾角越接近90度越好。
[0035]當θ越接近90度時，所述上端點S1與下端點S2之間的水平距離W2越小，在實際使用中，W2越小，效果越好，具體體現在：一旦W2過大，第一，會使得T3減小；第二，會影響蒸鍍圖形的有效發光面積。
[0036]故作為一種優選方案，W2小于相鄰兩個遮罩塊結構12之間的距離W1的5％，可以有效的保證T3的高度同時還不會影響蒸鍍圖形的有效發光面積。
[0037]其中，所述上端點S1與下端點S2之間的水平距離為W2，且T3＝W2
×
tanθ。
[0038]例如，θ＝70，需求W1＝35um，W2≤1.5um，則T3≤4.1um。
[0039]所述第一遮部121的上端點S1與下端點S2之間為弧形過渡。
[0040]如圖5...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種高強度金屬遮罩，其特征在于，包括：金屬板材(1)，所述金屬板材(1)表面設有若干貫通孔(11)，通過若干貫通孔(11)在金屬板材(1)上形成若干遮罩塊結構(12)，所述遮罩塊結構(12)包括第一遮部(121)，所述第一遮部(121)的厚度T3與金屬板材(1)的厚度H1的比值小于等于1/5。2.根據權利要求1所述的一種高強度金屬遮罩，其特征在于，所述遮罩塊結構(12)厚度小于金屬板材(1)厚度的1/2。3.根據權利要求1所述的一種高強度金屬遮罩，其特征在于，所述第一遮部(121)包括錯位設置的上端點S1與下端點S2，且上端點S1與下端點S2形成的連線與遮罩塊結構(12)上表面之間的夾角θ為70度－90度。4.根據權利要求4所述的一種高強度金屬遮罩，其特征在于，所述上端點S1與下端點S2之間的水平距離W2小于相鄰兩個遮罩塊結構(12)之間的距離W1的5％。5.根據權利要求4所述的一種高強度金屬遮罩，其特征在于，...

【專利技術屬性】
技術研發人員：管金榜，沈洵，吳森強，黃婷，譚建，徐華偉，
申請(專利權)人：浙江眾凌科技有限公司，
類型：發明
國別省市：