可旋轉波紋管裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術涉及半導體濕制程設備技術領域，特別是一種可旋轉波紋管裝置，波紋管本體為非金屬材質通過一體機械加工方式制造而成，自身具有拉伸壓縮功能，兩端分別與回轉法蘭一體成型組合成整體，實現一體回旋功能。本裝置可以同時實現旋轉和升降運動防護的功能。時實現旋轉和升降運動防護的功能。時實現旋轉和升降運動防護的功能。

【技術實現步驟摘要】
可旋轉波紋管裝置


[0001]本專利技術涉及半導體濕制程設備
，特別是一種可旋轉波紋管裝置。

技術介紹

[0002]在半導體濕制程工藝設備中，存在某些特定環境例如化學腐蝕環境，在此種環境下運動機構金屬材質需要避免被化學介質腐蝕失效；同時為了避免占用過多的空間，需要一種密封有效且同時滿足升降旋轉運動的防護裝置。
[0003]現有技術一：采用交叉伸縮套筒+靜密封密封件(密封圈、密封墊片等)。缺點是交叉伸縮部分占據很大高度空間，例如占用空間≥2倍伸縮行程；
[0004]現有技術二：采用普通波紋管+靜密封密封件(密封圈、密封墊片等)；該結構能滿足升降運動防護，但是無法做到兼容旋轉運動。

技術實現思路

[0005]本專利技術為了有效的解決上述
技術介紹
中的問題，提出了一種可旋轉波紋管裝置。
[0006]具體技術方案如下：
[0007]一種可旋轉波紋管裝置，波紋管本體為非金屬材質通過一體機械加工方式制造而成，自身具有拉伸壓縮功能，兩端分別與回轉法蘭一體成型組合成整體，實現一體回旋功能。
[0008]優選地，所述回轉法蘭分為第一回轉法蘭和第二回轉法蘭，所述第一法蘭與運動裝置安裝，第二法蘭用于固定于安裝基座。
[0009]優選地，所述第二回轉法蘭包括由非金屬材料制成的第一回轉體、第二回轉體和第三回轉體，第一回轉體的一側與所述波紋管本體的一端一體成型，第一回轉體另一側向外伸出形成凸臺結構，第三回轉臺套在凸臺結構上并被第二回轉體限位，第一回轉體的內圈帶有螺紋，第二回轉體深入到第一回轉體的內圈并與其螺紋連接。
[0010]優選地，所述第三回轉體上設有沉頭孔，用于螺栓與基座或底座固定使用。
[0011]與現有技術相比，本專利技術的有益效果是：本裝置利用一個非金屬材質通過機械加工制作出來，可以同時實現旋轉和升降運動防護的功能，占用空間小，壽命長。
附圖說明
[0012]圖1是本專利技術的主視圖；
[0013]圖2是專利技術的右視圖；
[0014]圖3是本專利技術的左視圖；
[0015]圖4是本專利技術的極限壓縮狀態圖；
[0016]圖5是本專利技術的極限拉伸狀態圖；
[0017]圖6是本專利技術的立體圖；
[0018]圖7是本專利技術中第二回轉體的剖視圖。
具體實施方式
[0019]為了便于描述，在這里可以使用空間相對術語，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用來描述如在圖中所示的一個器件或特征與其他器件或特征的空間位置關系。應當理解的是，空間相對術語旨在包含除了器件在圖中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附圖中的器件被倒置，則描述為“在其他器件或構造上方”或“在其他器件或構造之上”的器件之后將被定位為“在其他器件或構造下方”或“在其他器件或構造之下”。因而，示例性術語“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”兩種方位。該器件也可以其他不同方式定位旋轉90度或處于其他方位，并且對這里所使用的空間相對描述作出相應解釋。
[0020]下面結合附圖及較佳實施例詳細說明本專利技術的具體實施方式。
[0021]如圖1
?
6所示，一種可旋轉波紋管裝置，波紋管本體1為非金屬材質通過一體機械加工方式制造而成，自身具有拉伸壓縮功能，兩端分別與回轉法蘭一體成型組合成整體，實現一體回旋功能。波紋管本身具備可自有拉伸與壓縮功能即可實現升降運動防護，本裝置不是簡單地組合而是通過波紋管一側法蘭作為非金屬回旋環裝置中第一回轉體，即可實現功能。
[0022]所述回轉法蘭分為第一回轉法蘭2和第二回轉法蘭3，所述第一法蘭與運動裝置安裝，第二法蘭用于固定于安裝基座。如圖7所示，所述第二回轉法蘭包括由非金屬材料制成的第一回轉體4、第二回轉體5和第三回轉體6，第一回轉體的一側與所述波紋管本體的一端一體成型，第一回轉體另一側向外伸出形成凸臺結構7，第三回轉臺套在凸臺結構上并被第二回轉體限位，第一回轉體的內圈帶有螺紋，第二回轉體深入到第一回轉體的內圈并與其螺紋連接，所述第三回轉體上設有沉頭孔，用于螺栓與基座或底座固定使用。第一環體與第二回轉體通過螺紋連接+螺紋防松結構組成一體；第三回轉體與第一回轉體及第二回轉體無任何連接且位于二者之間，但是三者保持同心關系；使用時僅通過第三回轉體與某一基座或底座安裝使用；
[0023]第一回轉法蘭和第二回轉法蘭外觀可根據不同需要進行適配。
[0024]本專利技術中法蘭安裝面可適配端面密封件，具體可根據實際使用情況而定。
[0025]以上所述僅是本專利技術的優選實施方式，應當指出，對于本
的普通技術人員來說，在不脫離本專利技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本專利技術的保護范圍。
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【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種可旋轉波紋管裝置，其特征在于：波紋管本體為非金屬材質通過一體機械加工方式制造而成，自身具有拉伸壓縮功能，兩端分別與回轉法蘭一體成型組合成整體，實現一體回旋功能。2.根據權利要求1所述的可旋轉波紋管裝置，其特征在于：所述回轉法蘭分為第一回轉法蘭和第二回轉法蘭，所述第一法蘭與運動裝置安裝，第二法蘭用于固定于安裝基座。3.根據權利要求2所述的可旋轉波紋管裝置，其特征在于：所述第二回轉法...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王淑梅，劉翠，蔣嘉，
申請(專利權)人：盛華基材天津科技有限公司，
類型：發明
國別省市：