多層噴淋裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體濕制程設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種多層噴淋裝置，包括至少一層外層非金屬管材、至少一層中間層金屬管材和至少一層內(nèi)層非金屬管材，其中，外層非金屬管材、中間層金屬管材和內(nèi)層非金屬管材依次同心套裝在一起。本裝置既耐化學(xué)藥品腐蝕又能具有很好的剛性，通過最外層非金屬管材實(shí)現(xiàn)耐化學(xué)藥品腐蝕功能，通過中間層金屬管材實(shí)現(xiàn)噴淋裝置具有足夠的剛性，通過最內(nèi)層非金屬管材實(shí)現(xiàn)化學(xué)藥品的承載。承載。承載。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
多層噴淋裝置


[0001]本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體濕制程設(shè)備
，特別是一種多層噴淋裝置。

技術(shù)介紹

[0002]在半導(dǎo)體濕制程中常常使用很多化學(xué)藥品，而某些化學(xué)藥品具有強(qiáng)腐蝕性與揮發(fā)性；在半導(dǎo)體濕制程設(shè)備中常常需要將工藝介質(zhì)噴淋至基板，如何使噴淋裝置既耐化學(xué)藥品腐蝕又能具有很好的剛性以及安裝便捷性，成為濕制程工藝設(shè)備的關(guān)鍵要素。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)雖使用非金屬且耐化學(xué)腐蝕管材用于承載化學(xué)藥品，但是遇多種化學(xué)藥品且單一裝置供液時(shí)，仍存在多種非金屬管材外漏且需要金屬材質(zhì)作為支撐載體；然而在半導(dǎo)體濕制程中某些化學(xué)藥品具有強(qiáng)腐蝕性與強(qiáng)揮發(fā)性，容易將未有效防護(hù)的金屬材質(zhì)腐蝕或者在防護(hù)密封失效的情況下導(dǎo)致金屬材質(zhì)腐蝕情況的發(fā)生。因此在不宜存在金屬材質(zhì)的半導(dǎo)體濕制程工藝設(shè)備中，現(xiàn)有技術(shù)存在被化學(xué)藥品腐蝕的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

[0004]本專利技術(shù)為了有效的解決上述
技術(shù)介紹
中的問題，提出了一種多層噴淋裝置。
[0005]具體技術(shù)方案如下：
[0006]一種多層噴淋裝置，包括至少一層外層非金屬管材、至少一層中間層金屬管材和至少一層內(nèi)層非金屬管材，其中，外層非金屬管材、中間層金屬管材和內(nèi)層非金屬管材依次同心套裝在一起。
[0007]優(yōu)選地，所述中間層金屬管材緊貼于所述外層非金屬管材。
[0008]優(yōu)選地，所述中間層金屬管材與內(nèi)層非金屬管材之間留有間隙。
[0009]優(yōu)選地，所述外層非金屬管材和內(nèi)層非金屬管材的兩端之間焊接有堵頭。
[0010]優(yōu)選地，所述堵頭的前端插入到中間層金屬管材與內(nèi)層非金屬管材之間的間隙中，堵頭的后端與內(nèi)層非金屬管材和外層非金屬管材焊接。
[0011]優(yōu)選地，所述外層非金屬管材上焊接有非金屬焊接塊。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本專利技術(shù)的有益效果是：本裝置既耐化學(xué)藥品腐蝕又能具有很好的剛性，通過最外層非金屬管材實(shí)現(xiàn)耐化學(xué)藥品腐蝕功能，通過中間層金屬管材實(shí)現(xiàn)噴淋裝置具有足夠的剛性，通過最內(nèi)層非金屬管材實(shí)現(xiàn)化學(xué)藥品的承載。
附圖說明
[0013]圖1是本專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是圖1中A處的放大圖；
[0015]圖3是圖1中B處的放大圖。
具體實(shí)施方式
[0016]為了便于描述，在這里可以使用空間相對(duì)術(shù)語，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、
“
在
……
上表面”、“上面的”等，用來描述如在圖中所示的一個(gè)器件或特征與其他器件或特征的空間位置關(guān)系。應(yīng)當(dāng)理解的是，空間相對(duì)術(shù)語旨在包含除了器件在圖中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附圖中的器件被倒置，則描述為“在其他器件或構(gòu)造上方”或“在其他器件或構(gòu)造之上”的器件之后將被定位為“在其他器件或構(gòu)造下方”或“在其他器件或構(gòu)造之下”。因而，示例性術(shù)語“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”兩種方位。該器件也可以其他不同方式定位旋轉(zhuǎn)90度或處于其他方位，并且對(duì)這里所使用的空間相對(duì)描述作出相應(yīng)解釋。
[0017]下面結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例詳細(xì)說明本專利技術(shù)的具體實(shí)施方式。
[0018]如圖1所示，本專利技術(shù)采用多層同心套裝結(jié)構(gòu)，以圖示三層為例：一種多層噴淋裝置，包括外層非金屬管材1、一層中間層金屬管材2和一層內(nèi)層非金屬管材3，通過最外層非金屬管材實(shí)現(xiàn)耐化學(xué)藥品腐蝕功能；通過中間層金屬管材實(shí)現(xiàn)噴淋裝置具有足夠的剛性；通過最內(nèi)層非金屬管材實(shí)現(xiàn)化學(xué)藥品的承載。可根據(jù)實(shí)際需要繼續(xù)在三層基礎(chǔ)之上增加金屬管材或非金屬管材層數(shù)用于不同功能的防護(hù)。本專利技術(shù)可通過改變非金屬管材材質(zhì)或非金屬零部件焊接材質(zhì)使其具備某種特定功能，例如：噴淋裝置中非金屬管材材質(zhì)或非金屬焊接零部件材質(zhì)采用導(dǎo)電或防靜電非金屬材料可使噴淋裝置具備導(dǎo)電或防靜電功能；
[0019]如圖2和圖3所示，所述中間層金屬管材緊貼于所述外層非金屬管材，中間層金屬管材與內(nèi)層非金屬管材之間留有間隙4。所述外層非金屬管材和內(nèi)層非金屬管材的兩端之間焊接有堵頭5，焊接堵頭且堵頭帶止口插入中層內(nèi)壁因此造成間隙。所述堵頭的前端插入到中間層金屬管材與內(nèi)層非金屬管材之間的間隙中，堵頭的后端與內(nèi)層非金屬管材和外層非金屬管材焊接。
[0020]所述外層非金屬管材上焊接有非金屬焊接塊6。用于整個(gè)噴淋裝置的與其它裝配安裝使用。
[0021]以上所述僅是本專利技術(shù)的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本
的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本專利技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本專利技術(shù)的保護(hù)范圍。
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【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

【技術(shù)特征摘要】
1.一種多層噴淋裝置，其特征在于：包括至少一層外層非金屬管材、至少一層中間層金屬管材和至少一層內(nèi)層非金屬管材，其中，外層非金屬管材、中間層金屬管材和內(nèi)層非金屬管材依次同心套裝在一起。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層噴淋裝置，其特征在于，所述中間層金屬管材緊貼于所述外層非金屬管材。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層噴淋裝置，其特征在于，所述中間層金屬管材與內(nèi)層非金屬管材之間留有間隙...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李足花，王淑梅，劉翠，蔣嘉，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：盛華基材天津科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：