本申請屬于晶圓檢驗技術領域，公開了一種用于晶圓檢驗的對邊裝置，包括傳送帶，傳送帶的底部四家均固定有支撐板，傳送帶的頂部中間設置有支架一，支架一的底部安裝有相機，傳送帶的頂部左側固定有支架二，支架二的內部設置有移動機構，移動機構的底端安裝有液體鏟，移動機構的右端固定有橫板，橫板的底部設置有檢測相機和測距傳感器，傳送帶的前端安裝有控制器，本申請解決了現有的晶圓檢驗的對邊裝置在對晶圓進行檢驗時不能夠對晶圓芯片進行保護，導致晶圓芯片的底面擦傷，容易造成產品的損壞的問題。的問題。的問題。
【技術實現步驟摘要】
一種用于晶圓檢驗的對邊裝置
[0001]本申請涉及晶圓檢驗
，更具體地說，涉及一種用于晶圓檢驗的對邊裝置。
技術介紹
[0002]晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。國內晶圓生產線以8英寸和12英寸為主。
[0003]現有的晶圓檢驗的對邊裝置在對晶圓進行檢驗時不能夠對晶圓芯片進行保護，導致晶圓芯片的底面擦傷，容易造成產品的損壞。
技術實現思路
[0004]為了解決上述問題，本申請提供一種用于晶圓檢驗的對邊裝置。
[0005]本申請提供如下的技術方案：一種用于晶圓檢驗的對邊裝置，包括傳送帶，所述傳送帶的底部四家均固定有支撐板，所述傳送帶的頂部中間設置有支架一，所述支架一的底部安裝有相機，所述傳送帶的頂部左側固定有支架二，所述支架二的內部設置有移動機構，所述移動機構的底端安裝有液體鏟，所述移動機構的右端固定有橫板，所述橫板的底部設置有檢測相機和測距傳感器，所述傳送帶的前端安裝有控制器。
[0006]通過上述技術方案，解決了現有的晶圓檢驗的對邊裝置在對晶圓進行檢驗時不能夠對晶圓芯片進行保護，導致晶圓芯片的底面擦傷，容易造成產品的損壞的問題。
[0007]進一步的，所述移動機構包括電機一和絲桿，所述支架二的內部活動安裝有絲桿，所述支架二的外部固定有電機一，所述電機一的輸出端貫穿支架二并與絲桿的前端固定，所述絲桿的外部螺紋套接有豎桿，所述豎桿的頂部設置有限位滑塊，所述支架二的內頂壁開設有與限位滑塊相適配的限位滑槽。
[0008]通過上述技術方案，可調節液體鏟的位置。
[0009]進一步的，所述液體鏟包括固定箱、矩形孔、限位機構和鏟料機構，所述固定箱的內部對稱設置有電機二，所述電機二的輸出端固定有螺紋桿，所述螺紋桿的外部螺紋套接有移動塊，所述固定箱的右端面開設有矩形孔。
[0010]通過上述技術方案，可利用鏟子將晶圓芯片鏟起來，不會對晶圓芯片造成傷害。
[0011]進一步的，所述限位機構包括滑塊和滑槽，所述固定箱的內底壁對稱開設有滑槽，所述移動塊的底部設置有與滑槽相適配的滑塊。
[0012]通過上述技術方案，移動塊移動時帶動滑塊在滑槽的內部移動，提高了移動塊移動的穩定性。
[0013]進一步的，所述鏟料機構包括鏟子和聚四氟乙烯層，兩個所述移動塊之間固定有鏟子，所述鏟子的外部設置有聚四氟乙烯層。
[0014]通過上述技術方案，聚四氟乙烯層具有幾乎不溶于所有的溶劑的特性，且摩擦系數極低，從而在檢測晶圓時，可對晶圓進行保護，避免晶圓芯片的底部受到傷害。
[0015]進一步的，所述傳送帶、相機、電機一、檢測相機、測距傳感器和電機二均與控制器電性連接。
[0016]通過上述技術方案，實現自動化控制，提高了檢驗的工作效率。
[0017]綜上所述，本申請包括以下有益技術效果：
[0018]本申請檢驗時，控制器控制兩個電機二轉動分別帶動兩個螺紋桿轉動，使得鏟子穿過矩形孔向右移動，從而可利用鏟子將傳送帶上的晶圓鏟起來，由于聚四氟乙烯層具有幾乎不溶于所有的溶劑和不粘的特性，且摩擦系數極低，從而將晶圓鏟起時，不會對晶圓造成擦傷，這樣可對晶圓進行保護，避免晶圓芯片的底部受到傷害。
附圖說明
[0019]圖1為本申請的一種用于晶圓檢驗的對邊裝置結構示意圖；
[0020]圖2為本申請的一種用于晶圓檢驗的對邊裝置結構固定箱內部結構示意圖；
[0021]圖3為本申請的一種用于晶圓檢驗的對邊裝置結構鏟子示意圖；
[0022]圖中標號說明：
[0023]1、傳送帶；2、支架一；3、相機；4、支撐板；5、絲桿；6、支架二；7、電機一；8、檢測相機；9、橫板；10、測距傳感器；11、豎桿；12、液體鏟；121、固定箱；122、矩形孔；123、螺紋桿；124、滑槽；125、滑塊；126、移動塊；127、電機二；128、聚四氟乙烯層；129、鏟子；13、控制器。
具體實施方式
[0024]下面將結合本申請實施例中的附圖，對本申請實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述；顯然，所描述的實施例僅僅是本申請一部分實施例，而不是全部的實施例，基于本申請中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本申請保護的范圍。
[0025]在本申請的描述中，需要說明的是，術語“上”、“下”、“內”、“外”、“頂/底端”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本申請和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本申請的限制。此外，術語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
[0026]在本申請的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“設置有”、“套設/接”、“連接”等，應做廣義理解，例如“連接”，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本申請中的具體含義。
[0027]以下結合附圖1
?
3對本申請作進一步詳細說明。
[0028]本申請實施例公開一種用于晶圓檢驗的對邊裝置，包括傳送帶1，傳送帶1的底部四家均固定有支撐板4，傳送帶1的頂部中間設置有支架一2，支架一2的底部安裝有相機3，傳送帶1的頂部左側固定有支架二6，支架二6的內部設置有移動機構，移動機構的底端安裝有液體鏟12，移動機構的右端固定有橫板9，橫板9的底部設置有檢測相機8和測距傳感器10，傳送帶1的前端安裝有控制器13，可對晶圓的底面進行防護，避免晶圓的底面擦傷，本申
請解決了現有的晶圓檢驗的對邊裝置在對晶圓進行檢驗時不能夠對晶圓芯片進行保護，導致晶圓芯片的底面擦傷，容易造成產品的損壞的問題。
[0029]請參閱圖1，移動機構包括電機一7和絲桿5，支架二6的內部活動安裝有絲桿5，支架二6的外部固定有電機一7，電機一7的輸出端貫穿支架二6并與絲桿5的前端固定，絲桿5的外部螺紋套接有豎桿11，豎桿11的頂部設置有限位滑塊，限位滑塊在限位滑槽的內部移動，可限制豎桿11的轉動力，使得豎桿11做直線移動，使得支架二6的內頂壁開設有與限位滑塊相適配的限位滑槽，電機一7轉動帶動絲桿5轉動，絲桿5轉動帶動豎桿11可前后移動，從而可調節液體鏟12的位置。
[0030]請參閱圖1
?
2，液體鏟12包括固定箱121、矩形孔122、限位機構和鏟料機構，固定箱121的內部對稱設置有電機二127，電機二127的輸出端固定有螺紋桿123，螺紋桿123的外部螺紋套接有移動塊126，固定箱121的右端面開設有矩形孔12本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種用于晶圓檢驗的對邊裝置，包括傳送帶(1)，其特征在于：所述傳送帶(1)的底部四家均固定有支撐板(4)，所述傳送帶(1)的頂部中間設置有支架一(2)，所述支架一(2)的底部安裝有相機(3)，所述傳送帶(1)的頂部左側固定有支架二(6)，所述支架二(6)的內部設置有移動機構，所述移動機構的底端安裝有液體鏟(12)，所述移動機構的右端固定有橫板(9)，所述橫板(9)的底部設置有檢測相機(8)和測距傳感器(10)，所述傳送帶(1)的前端安裝有控制器(13)。2.根據權利要求1所述的一種用于晶圓檢驗的對邊裝置，其特征在于：所述移動機構包括電機一(7)和絲桿(5)，所述支架二(6)的內部活動安裝有絲桿(5)，所述支架二(6)的外部固定有電機一(7)，所述電機一(7)的輸出端貫穿支架二(6)并與絲桿(5)的前端固定，所述絲桿(5)的外部螺紋套接有豎桿(11)，所述豎桿(11)的頂部設置有限位滑塊，所述支架二(6)的內頂壁開設有與限位滑塊相適配的限位滑槽。3.根據權利要求1所述的一種用于晶圓檢驗的對邊裝置，其特征在于：所述液體鏟(1...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張平亞，
申請(專利權)人：武漢智勤興合電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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