耐酸堿腐蝕的導流套制造技術

本實用新型專利技術公開了一種耐酸堿腐蝕的導流套，導流套為一體化的PTFE材質的管道，分為階梯狀的漲緊段和嵌入段；漲緊段與管口的入口流道過盈連接，其內設置喇叭狀的引導流道；嵌入段內設置沖蝕流道，沖蝕流道與引導流道連通；嵌入段外壁上設置有防滑紋路，且其尾部外徑與管口的主體流道內徑相等。本實用新型專利技術采用上述導流套，將管口與液體隔開，從而有效提高了管口的耐酸堿腐蝕能力。口的耐酸堿腐蝕能力。口的耐酸堿腐蝕能力。

【技術實現步驟摘要】
耐酸堿腐蝕的導流套


[0001]本技術涉及晶圓管道
，尤其是涉及耐酸堿腐蝕的導流套。

技術介紹

[0002]半導體芯片加工過程中，常需要使用到強酸性或強堿性液體。液體在設備中進行不間斷流動，如何保證液體流動順暢是各工站的關鍵。
[0003]現國內晶圓廠使用到的通強酸/強堿液體設備里的管道均采用一體式，無法拆卸，硬質塑料設計方式。這種管道在長期使用過程中，容易出現破損，特別是在進出管道連接處在液體流動沖刷下出現破裂。一旦管道如果出現破損，液體就會流出并腐蝕到設備內的其他零部件，需要花費極多費用向國外購買。而且設備停機的時間成本極為昂貴，非常影響晶圓加工效率。

技術實現思路

[0004]本技術的目的提供一種管道連接處使用的保護套，用于解決晶圓加工設備管道連接處容易被強酸/強堿性液體腐蝕的問題。
[0005]為實現上述目的，本技術提供了如下技術方案：
[0006]耐酸堿腐蝕的導流套，其為一體化的PTFE材質的管道，分為階梯狀的漲緊段和嵌入段；漲緊段與管口的入口流道過盈連接，其內設置喇叭狀的引導流道；嵌入段內設置沖蝕流道，沖蝕流道與引導流道連通；嵌入段外壁上設置有防滑紋路，且其尾部外徑與管口的主體流道內徑相等。
[0007]本技術采用上述結構的耐酸堿腐蝕的導流套，通過將管口與液體隔開，從而有效提高了管口的耐酸堿腐蝕能力。而且，導流套的兩端與管口流道內壁緊密貼合，有效防止液體流入導流套與管口之間縫隙，提高了保護效果。
附圖說明
[0008]圖1為現有技術中管口的結構示意圖；
[0009]圖2為現有技術中管口的縱向剖面圖；
[0010]圖3為本技術導流套的結構示意圖；
[0011]圖4為本技術導流套的縱向剖面圖；
[0012]圖5為圖4中A部的放大圖；
[0013]圖6為本技術導流套的安裝示意圖。
[0014]附圖標記
[0015]1、管口；11、入口流道；12、主體流道；2、導流套；21、漲緊段；22、嵌入段；23、引導流道；24、沖蝕流道；25、凸點。
具體實施方式
[0016]以下結合附圖和實施例對本技術的技術方案作進一步說明。
[0017]如圖1～2所示，管口1內設置入口流道11和主體流道12，二者之間大致為階梯孔構造。對應的，為保護管口1，導流套2也設置為階梯構造。為提高耐酸堿腐蝕性能，導流套2采用PTFE材質制作。
[0018]如圖3～5所示，導流套2分為漲緊段21和嵌入段22。漲緊段21與管口1的入口流道11過盈連接，其內設置喇叭狀的引導流道23。嵌入段22內設置沖蝕流道24，沖蝕流道24與引導流道23連通。嵌入段22外壁上均勻設置有若干凸點25，以更好貼合管口流道，提高連接穩定性。但嵌入段22尾部外徑需保持與管口1的主體流道12內徑相等，以防止液體從管口1與導流套2之間縫隙流入，從而提高保護效果。
[0019]如圖6所示，使用導流套2時，只需將導流套2沿流道插入管口1內即可，簡單方便，也便于后期更換。
[0020]以上是本技術的具體實施方式，但本技術的保護范圍不應局限于此。任何熟悉本領域的技術人員在本技術所揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本技術的保護范圍之內，因此本技術的保護范圍應以權利要求書所限定的保護范圍為準。
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【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.耐酸堿腐蝕的導流套，其特征在于，導流套為一體化的PTFE材質的管道，分為階梯狀的漲緊段和嵌入段；漲緊段與管口的入口流道過盈連接，其內設置喇...

【專利技術屬性】
技術研發人員：葉文君，梁晗，李榮中，
申請(專利權)人：豐豹智能科技上海有限公司，
類型：新型
國別省市：