描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法及裝置和描繪方法及裝置制造方法及圖紙

利用照相機(jī)（２６）檢測預(yù)先設(shè)置在基板（１２）上的規(guī)定位置的多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記（１２ａ），由檢測位置信息取得機(jī)構(gòu)（５２）取得對該基準(zhǔn)標(biāo)記（１２ａ）的位置進(jìn)行表示的檢測位置信息，根據(jù)該取得的檢測位置信息，由曝光軌跡信息取得機(jī)構(gòu)（５４）取得對曝光頭（３０）的各微反射鏡（３８）在基板（１２）上的實(shí)際曝光軌跡進(jìn)行表示的曝光軌跡信息，在曝光數(shù)據(jù)取得機(jī)構(gòu)（５６）中從曝光圖像數(shù)據(jù)中取得與每個(gè)微反射鏡（３８）的曝光軌跡信息對應(yīng)的曝光點(diǎn)數(shù)據(jù)，根據(jù)該取得的曝光點(diǎn)數(shù)據(jù)，由曝光頭（３０）曝光基板（１２）。從而可在使曝光頭相對基板移動(dòng)的同時(shí)，對應(yīng)于該移動(dòng)，在基板上依次形成曝光點(diǎn)，對曝光圖像進(jìn)行曝光，無論基板是否變形等，都在基板上的期望位置曝光期望的曝光圖像。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)涉及一種在使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪點(diǎn)形成區(qū)域 相對基板移動(dòng)的同時(shí)，對應(yīng)于該移動(dòng)來依次形成描繪點(diǎn)、描繪圖像的描 繪方法及裝置和用于該描繪方法及裝置的取得描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù) 取得方法及裝置。
技術(shù)介紹
以往，作為在印刷布線板或平板顯示器的基板上記錄規(guī)定圖案的裝 置，提出了各種利用光刻法技術(shù)的曝光裝置。作為上述的曝光裝置，例如提出了通過使光束在涂抹了光致抗蝕劑 的基板上沿主掃描方向及副掃描方向掃描，并且，根據(jù)表示布線圖案的 圖像數(shù)據(jù)調(diào)制該光束，從而形成布線圖案的曝光裝置。作為上述的曝光裝置，例如提議了各種利用數(shù)字微反射鏡裝置(下面稱為DMD)等空間光調(diào)制元件，對應(yīng)于圖像數(shù)據(jù)，并利用空間光調(diào)制 元件調(diào)制光束來進(jìn)行曝光的曝光裝置。而且，作為上述使用了 DMD的曝光裝置，例如提出了如下的曝光裝 置在使DMD相對曝光面沿規(guī)定的掃描方向移動(dòng)的同時(shí)，對應(yīng)于沿該掃 描方向的移動(dòng)，將由對應(yīng)于多個(gè)微反射鏡的多個(gè)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)構(gòu)成的幀數(shù) 據(jù)輸入到DMD的存儲(chǔ)單元，按時(shí)間序列依次形成與DMD的微反射鏡對 應(yīng)的描繪點(diǎn)群，從而在曝光面上形成期望的圖像(例如參照特開 2004-233718號公報(bào))。這里，利用上述的曝光裝置形成的印刷布線板的布線圖案等具有日 益高精細(xì)化的傾向，例如在形成多層印刷布線板的情況下，需要使各層 布線圖案高精度地對位。為了進(jìn)行上述的對位，各層的布線圖案在相對基板預(yù)先設(shè)定的位置被曝光，但在形成多層印刷布線板時(shí)，由于存在著在粘接各層的沖壓(press)工序中對基板加熱，使得基板會(huì)因該熱度而變形的情況，所以 如上所述擔(dān)心因在預(yù)先設(shè)定的位置曝光各層的布線圖案，使得各層的布 線圖案產(chǎn)生記錄位置偏移，導(dǎo)致各層的布線圖案難以高精度地對位。并且，在平板顯示器中也擔(dān)心當(dāng)曝光濾色器圖案時(shí)，由于對基板施 加加熱處理，所以基板基于該熱度而伸縮，產(chǎn)生R、 G、 B各色的記錄位 置偏移。另外，例如在通過使基板沿著規(guī)定的掃描方向移動(dòng)、由光束在基板 上掃描時(shí)，存在著對應(yīng)于使基板移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制精度，在基板的 移動(dòng)方向產(chǎn)生偏移的情況，因而擔(dān)心一旦產(chǎn)生這種偏移，則難以使布線 圖案等高精度地對位。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)鑒于上述問題而提出，其目的在于，提供一種在上述曝光裝 置的描繪方法及裝置中，不受基板變形或基板的移動(dòng)方向偏移等影響， 可在基板上的期望位置描繪所期望圖像的描繪方法及裝置、和用于該描 繪方法及裝置的取得描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的方法及裝置。本專利技術(shù)的第一描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的 描繪點(diǎn)形成區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在描繪對象上 依次形成描繪點(diǎn)，取得在描繪對象上描繪圖像時(shí)所使用的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)， 在該描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法中，取得在圖像的原圖像數(shù)據(jù)上的描繪點(diǎn)形成 區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從圖 像數(shù)據(jù)中取得與描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。本專利技術(shù)的第二描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的 描繪點(diǎn)形成區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在描繪對象上 依次形成描繪點(diǎn)，取得在描繪對象上描繪圖像時(shí)所使用的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)， 在該描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法中，取得在描繪圖像時(shí)描繪對象上的描繪點(diǎn)形 成區(qū)域的描繪軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪軌跡信息，取得在圖像的原 圖像數(shù)據(jù)上的描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從圖像數(shù)據(jù)中取得與描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)描 繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。本專利技術(shù)的第三描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的 描繪點(diǎn)形成區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在描繪對象上 依次形成描繪點(diǎn)，取得在描繪對象上描繪圖像時(shí)所使用的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)， 在該描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法中，取得在描繪對象上的圖像空間中的描繪點(diǎn) 形成區(qū)域的描繪軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪軌跡信息，取得在圖像的 原圖像數(shù)據(jù)上的描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的 描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從圖像數(shù)據(jù)中取得與描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè) 描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。而且，在上述本專利技術(shù)的第二及第三描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法中，可檢測 在描繪對象上的規(guī)定位置的多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記及/或基準(zhǔn)部位，取得表示該基 準(zhǔn)標(biāo)記及/或基準(zhǔn)部位的位置的檢測位置信息，并根據(jù)該取得的檢測位置 信息，取得描繪軌跡信息。并且，可取得圖像描繪時(shí)描繪對象的實(shí)際相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿 勢相對預(yù)先設(shè)定的描繪對象的規(guī)定相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿勢的偏移信 息，根據(jù)該取得的偏移信息，取得描繪軌跡信息。另外，可取得圖像描繪時(shí)描繪對象的實(shí)際相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿 勢相對預(yù)先設(shè)定的描繪對象的規(guī)定相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿勢的偏移信 息，根據(jù)該取得的偏移信息及檢測位置信息，取得描繪軌跡信息。此外，可使從構(gòu)成圖像數(shù)據(jù)的各像素?cái)?shù)據(jù)中取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的數(shù) 量，對應(yīng)于由描繪軌跡信息表示的描繪軌跡的距離而變化。而且，在上述本專利技術(shù)的第一 第三描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法中，可取得 對圖像描繪時(shí)描繪對象的實(shí)際相對移動(dòng)速度相對預(yù)先設(shè)定的描繪對象的 規(guī)定相對移動(dòng)速度的變動(dòng)進(jìn)行表示的速度變動(dòng)信息，根據(jù)該取得的速度 變動(dòng)信息，按照越是在描繪對象的實(shí)際相對移動(dòng)速度相對慢的描繪對象 上的描繪區(qū)域，從構(gòu)成圖像數(shù)據(jù)的各像素?cái)?shù)據(jù)中取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的數(shù) 量越多的方式，從各像素?cái)?shù)據(jù)中取得描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。并且，作為通過多個(gè)描繪點(diǎn)形成區(qū)域取得在進(jìn)行描繪時(shí)使用的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，可按每個(gè)描繪點(diǎn)形成區(qū)域取得描繪點(diǎn)數(shù) 據(jù)。另外，可將描繪點(diǎn)形成區(qū)域設(shè)為由空間光調(diào)制元件形成的聚束點(diǎn)(beam spot)。此外，可在描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息中附帶取得描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的間距成分。而且，可具備多個(gè)描繪點(diǎn)形成區(qū)域，按每2個(gè)以上描繪點(diǎn)形成區(qū)域 取得1個(gè)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息。并且，可將多個(gè)描繪點(diǎn)形成區(qū)域排列成二維狀。本專利技術(shù)的第一描繪方法使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪點(diǎn)形成 區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在描繪對象上依次形成描繪點(diǎn)，在描繪對象上描繪圖像，其特征在于取得在圖像的原圖像數(shù)據(jù) 上的描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù) 軌跡信息，從圖像數(shù)據(jù)中取得與描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)， 根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過描繪點(diǎn)形成區(qū)域在描繪對象上形成描繪 點(diǎn)。本專利技術(shù)的第二描繪方法使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪點(diǎn)形成 區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在描繪對象上依次形成描 繪點(diǎn)，在描繪對象上描繪圖像，其特征在于取得在描繪圖像時(shí)描繪對 象上的描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪軌跡信息， 取得在圖像的原圖像數(shù)據(jù)上的描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息， 根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從圖像數(shù)據(jù)中取得與描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌 跡對應(yīng)的多個(gè)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過描繪點(diǎn)形成 區(qū)域在描繪對象上形成描繪點(diǎn)。本專利技術(shù)的第三描繪方法使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪點(diǎn)形成 區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在描繪對象上依次形成描 繪點(diǎn)，在描繪對象上描繪圖像，其特征在于取得在描繪對象上的圖像 空間中的描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪軌跡信息， 取得在圖像的原圖像數(shù)據(jù)上的描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息， 根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從圖像數(shù)據(jù)中取得與描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪點(diǎn)形成區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在所述描繪對象上依次形成所述描繪點(diǎn)，取得在所述描繪對象上描繪圖像時(shí)所使用的所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，其特征在于：取得在所述圖像的原圖像數(shù)據(jù)上 的所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從所述圖像數(shù)據(jù)中取得與所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。

【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】JP 2005-3-31 103787/20051、一種描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪點(diǎn)形成區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在所述描繪對象上依次形成所述描繪點(diǎn)，取得在所述描繪對象上描繪圖像時(shí)所使用的所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，其特征在于取得在所述圖像的原圖像數(shù)據(jù)上的所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從所述圖像數(shù)據(jù)中取得與所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。2、 一種描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪 點(diǎn)形成區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在所述描繪對象上依 次形成所述描繪點(diǎn)，取得在所述描繪對象上描繪圖像時(shí)所使用的所述描繪 點(diǎn)數(shù)據(jù)，其特征在于取得在描繪所述圖像時(shí)所述描繪對象上的所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描 繪軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪軌跡信息，取得在所述圖像的原圖像數(shù)據(jù)上的所述 描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從所述圖像數(shù)據(jù)中取得與所述描 繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。3、 一種描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪 點(diǎn)形成區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在所述描繪對象上依 次形成所述描繪點(diǎn)，取得在所述描繪對象上描繪圖像時(shí)所使用的所述描繪 點(diǎn)數(shù)據(jù)，其特征在于取得在所述描繪對象上的圖像空間中的所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪 軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪軌跡信息，取得在所述圖像的原圖像數(shù)據(jù)上的所述 描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從所述圖像數(shù)據(jù)中取得與所述描 繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。4、 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，其特征在于 檢測在所述描繪對象上的規(guī)定位置的多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記及/或基準(zhǔn)部位,取得表示該基準(zhǔn)標(biāo)記及/或基準(zhǔn)部位的位置的檢測位置信息， 根據(jù)該取得的檢測位置信息，取得所述描繪軌跡信息。5、 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，其特征在于-取得所述圖像描繪時(shí)所述描繪對象的實(shí)際相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿勢相對預(yù)先設(shè)定的所述描繪對象的規(guī)定相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿勢的偏 移信息，根據(jù)該取得的偏移信息，取得所述描繪軌跡信息。6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，其特征在于 取得所述圖像描繪時(shí)所述描繪對象的實(shí)際相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿勢相對預(yù)先設(shè)定的所述描繪對象的規(guī)定相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿勢的偏 移信息，根據(jù)該取得的偏移信息及所述檢測位置信息，取得所述描繪軌跡信息。7、 根據(jù)權(quán)利要求2 6中任意一項(xiàng)所述的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，其特 征在于使從構(gòu)成所述圖像數(shù)據(jù)的各像素?cái)?shù)據(jù)中取得的所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的數(shù) 量，對應(yīng)于由所述描繪軌跡信息表示的描繪軌跡的距離而變化。8、 根據(jù)權(quán)利要求1 7中任意一項(xiàng)所述的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，其特 征在于-取得速度變動(dòng)信息，所述速度變動(dòng)信息表示所述圖像描繪時(shí)所述描繪 對象的實(shí)際相對移動(dòng)速度相對預(yù)先設(shè)定的所述描繪對象的規(guī)定相對移動(dòng) 速度的變動(dòng)，根據(jù)該取得的速度變動(dòng)信息，按照越是在所述描繪對象的實(shí)際相對移 動(dòng)速度相對慢的所述描繪對象上的描繪區(qū)域，從構(gòu)成所述圖像數(shù)據(jù)的各像 素?cái)?shù)據(jù)中取得的所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的數(shù)量越多的方式，從所述各像素?cái)?shù)據(jù)中 取得所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。9、 根據(jù)權(quán)利要求1 8中任意一項(xiàng)所述的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，其特 征在于，取得在通過多個(gè)所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域進(jìn)行所述描繪時(shí)所使用的所 述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，按每個(gè)所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域取得所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。10、 根據(jù)權(quán)利要求1 9中任意一項(xiàng)所述的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，其特征在于所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域是由空間光調(diào)制元件形成的聚束點(diǎn)。11、 根據(jù)權(quán)利要求1 10中任意一項(xiàng)所述的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，其 特征在于在所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息中附帶有取得所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的間距成分。12、 根據(jù)權(quán)利要求1 U中任意一項(xiàng)所述的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，其 特征在于具備多個(gè)描繪點(diǎn)形成區(qū)域，按每2個(gè)以上描繪點(diǎn)形成區(qū)域取得1個(gè)描 繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息。13、 根據(jù)權(quán)利要求1 12中任意一項(xiàng)所述的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得方法，其 特征在于所述多個(gè)描繪點(diǎn)形成區(qū)域被排列成二維狀。14、 一種描繪方法，使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪點(diǎn)形成區(qū)域 相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在所述描繪對象上依次形成所述 描繪點(diǎn)，在所述描繪對象上描繪圖像，其特征在于取得在所述圖像的原圖像數(shù)據(jù)上的所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù) 據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從所述圖像數(shù)據(jù)中取得與所述描 繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域在所述描繪對象 上形成所述描繪點(diǎn)。15、 一種描繪方法，使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪點(diǎn)形成區(qū)域 相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在所述描繪對象上依次形成所述 描繪點(diǎn)，在所述描繪對象上描繪圖像，其特征在于取得在描繪所述圖像時(shí)所述描繪對象上的所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描 繪軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪軌跡信息，取得在所述圖像的原圖像數(shù)據(jù)上的所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從所述圖像數(shù)據(jù)中取得與所述描 繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域在所述描繪對象 上形成所述描繪點(diǎn)。16、 一種描繪方法，使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪點(diǎn)形成區(qū)域 相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在所述描繪對象上依次形成所述描繪點(diǎn)，在所述描繪對象上描繪圖像，其特征在于取得在所述描繪對象上的圖像空間中的所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪 軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪軌跡信息，取得在所述圖像的原圖像數(shù)據(jù)上的所述 描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從所述圖像數(shù)據(jù)中取得與所述描 繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對應(yīng)的多個(gè)所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，根據(jù)該取得的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域在所述描繪對象 上形成所述描繪點(diǎn)。17、 根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的描繪方法，其特征在于檢測在所述描繪對象上的規(guī)定位置的多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記及/或基準(zhǔn)部位，取 得表示該基準(zhǔn)標(biāo)記及/或基準(zhǔn)部位的位置的檢測位置信息， 根據(jù)該取得的檢測位置信息，取得所述描繪軌跡信息。18、 根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的描繪方法，其特征在于取得所述圖像描繪時(shí)所述描繪對象的實(shí)際相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿 勢相對預(yù)先設(shè)定的所述描繪對象的規(guī)定相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿勢的偏 移信息，根據(jù)該取得的偏移信息，取得所述描繪軌跡信息。19、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的描繪方法，其特征在于取得所述圖像描繪時(shí)所述基板的實(shí)際相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿勢相 對預(yù)先設(shè)定的所述基板的規(guī)定相對移動(dòng)方向及/或移動(dòng)姿勢的偏移信息， 根據(jù)該取得的偏移信息及所述檢測位置信息，取得所述描繪軌跡信息。20、 根據(jù)權(quán)利要求15 19中任意一項(xiàng)所述的描繪方法，其特征在于使從構(gòu)成所述圖像數(shù)據(jù)的各像素?cái)?shù)據(jù)中取得的所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的數(shù) 量，對應(yīng)于由所述描繪軌跡信息表示的描繪軌跡的距離而變化。21、 根據(jù)權(quán)利要求14 20中任意一項(xiàng)所述的描繪方法，其特征在于: 取得速度變動(dòng)信息，所述速度變動(dòng)信息表示所述圖像描繪時(shí)所述描繪對象的實(shí)際相對移動(dòng)速度相對預(yù)先設(shè)定的所述描繪對象的規(guī)定相對移動(dòng) 速度的變動(dòng)，根據(jù)該取得的速度變動(dòng)信息，按照越是在所述描繪對象的實(shí)際相對移 動(dòng)速度相對慢的所述描繪對象上的描繪區(qū)域，從構(gòu)成所述圖像數(shù)據(jù)的各像 素?cái)?shù)據(jù)中取得的所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的數(shù)量越多的方式，從所述各像素?cái)?shù)據(jù)中 取得所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。22、 根據(jù)權(quán)利要求14 21中任意一項(xiàng)所述的描繪方法，其特征在于 通過多個(gè)所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域進(jìn)行所述描繪，按每個(gè)所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域中取得所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。23、 根據(jù)權(quán)利要求14 22中任意一項(xiàng)所述的描繪方法，其特征在于 所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域是由空間光調(diào)制元件形成的聚束點(diǎn)。24、 根據(jù)權(quán)利要求14 23中任意一項(xiàng)所述的描繪方法，其特征在于-在所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息中附帶有取得所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)的間距成分。25、 根據(jù)權(quán)利要求14 24中任意一項(xiàng)所述的描繪方法，其特征在于 具備多個(gè)描繪點(diǎn)形成區(qū)域，按每2個(gè)以上描繪點(diǎn)形成區(qū)域取得1個(gè)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息。26、 根據(jù)權(quán)利要求14 25中任意一項(xiàng)所述的描繪方法，其特征在于 多個(gè)描繪點(diǎn)形成區(qū)域被排列成二維狀。27、 一種描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得裝置，使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪 點(diǎn)形成區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在所述描繪對象上依 次形成所述描繪點(diǎn)，取得在所述描繪對象上描繪圖像時(shí)所使用的所述描繪 點(diǎn)數(shù)據(jù)，其特征在于，具備.-描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息取得機(jī)構(gòu)，其取得在所述圖像的原圖像數(shù)據(jù)上的 所述描繪點(diǎn)形成區(qū)域的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息；和 描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得機(jī)構(gòu)，其根據(jù)由該描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息取得機(jī)構(gòu)取得 的描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡信息，從所述圖像數(shù)據(jù)中取得與所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)軌跡對 應(yīng)的多個(gè)所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)。28、 一種描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)取得裝置，使根據(jù)描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)形成描繪點(diǎn)的描繪 點(diǎn)形成區(qū)域相對描繪對象移動(dòng)，并且對應(yīng)于該移動(dòng)，在所述描繪對象上依 次形成所述描繪點(diǎn)，取得在所述描繪對象上描繪圖像時(shí)所使用的所述描繪點(diǎn)數(shù)據(jù)，其特征在于，具備描繪軌跡信息取得機(jī)構(gòu)，其取得在描繪所述圖像時(shí)所述...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：武者野滿，
申請(專利權(quán))人：富士膠片株式會(huì)社，
類型：發(fā)明
國別省市：JP[日本]