本實用新型專利技術涉及用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置，包括第一模具、第二模具、驅動機構、充壓組件、以及氣壓檢測組件；第一模具以及第二模具可開合設置，用于供待檢晶圓包裝盒裝入；驅動機構與第一模具和/或第二模具連接，用于帶動第一模具以及第二模具做開合運動；充壓組件與第一模具和/或第二模具連接，用于在第一模具以及第二模具合并后向第一模具以及第二模具中充壓；氣壓檢測組件與第一模具和/或第二模具連接，用于檢測合并后第一模具以及第二模具中的壓力變化。用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置實現在無拆封晶圓包裝盒的狀態下，對晶圓包裝盒進行密封性檢測，避免晶圓包裝盒在檢測過程中破壞，實現對晶圓包裝盒進行無塵保護，提高檢測效率。提高檢測效率。提高檢測效率。
【技術實現步驟摘要】
用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置
[0001]本技術涉及晶圓包裝盒密封性檢測領域，更具體地說，涉及一種用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置。
技術介紹
[0002]相關技術中，用于檢測FOSB(晶圓包裝盒)的密封性，通常是將FOSB(晶圓包裝盒)放入水中檢測，或者人為將蓋部破壞，往FOSB(晶圓包裝盒)里面充氣，這幾種方案操作不方便，也不利于FOSB(晶圓包裝盒)無塵保護，容易導致產品被破壞，不能繼續使用。
技術實現思路
[0003]本技術要解決的技術問題在于，提供一種用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置。
[0004]本技術解決其技術問題所采用的技術方案是：構造一種用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置，包括第一模具、第二模具、驅動機構、充壓組件、以及氣壓檢測組件；
[0005]所述第一模具以及所述第二模具可開合設置，用于供待檢晶圓包裝盒裝入；
[0006]所述驅動機構與所述第一模具和/或所述第二模具連接，用于帶動所述第一模具以及所述第二模具做開合運動；
[0007]所述充壓組件與所述第一模具和/或第二模具連接，用于在所述第一模具以及第二模具合并后向所述第一模具以及第二模具中充壓；
[0008]所述氣壓檢測組件與所述第一模具和/或第二模具連接，用于檢測合并后所述第一模具以及所述第二模具中的壓力變化。
[0009]在一些實施例中，所述充壓組件包括管接頭、充氣管路；所述管接頭設置于所述第一模具上，且與所述充氣管路連接。
[0010]在一些實施例中，所述驅動機構包括帶動所述第二模具朝所述第一模具做開合運動的升降氣缸。
[0011]在一些實施例中，還包括用于給所述第二模具運動導向的導向結構。
[0012]在一些實施例中，所述導向結構包括第一安裝板、與所述第一安裝板平行且間隔設置的第二安裝板、設置于所述第一安裝板以及所述第二安裝板之間的兩組導向桿、設置于每組導向桿上且沿所述導向桿的軸向滑動的滑架；
[0013]所述第二模具上設置有第一連接板，所述第一連接板與所述滑架連接；
[0014]所述驅動機構與所述滑架連接，通過驅動所述滑架沿所述導向桿的軸向滑動，進而帶動所述第二模具與所述第一模具開合運動。
[0015]在一些實施例中，每組導向桿包括兩個導向桿；所述滑架包括與兩個所述導向桿對應設置的兩個滑套、以及連接兩個所述滑套的第二連接板，所述第一連接板與所述第二連接板連接。
[0016]在一些實施例中，還包括第一緩沖結構；
[0017]所述第一緩沖結構設置于所述第一安裝板上，用于給所述第二模具向遠離第一模具方向運動緩沖。
[0018]在一些實施例中，還包括第二緩沖結構；所述第二緩沖結構可與所述第一連接板彈性接觸設置，用于給所述第二模具向靠近所述第一模具方向運動緩沖。
[0019]在一些實施例中，所述第一模具和/或所述第二模具中設置有固定待檢工件的固定結構。
[0020]在一些實施例中，所述固定結構上設置有氣流通孔。
[0021]實施本技術的用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置，具有以下有益效果：該用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置通過將第一模具以及第二模具開合設置，以及通過充壓組件向該第一模具和第二模具中充入壓力，并通過氣壓檢測組件檢測合并后第一模具以及第二模具的壓力變化，從而實現在無拆封晶圓包裝盒的狀態下，對晶圓包裝盒進行密封性檢測，避免晶圓包裝盒在檢測過程中破壞以及可實現對晶圓包裝盒進行無塵保護，提高檢測效率。
附圖說明
[0022]下面將結合附圖及實施例對本技術作進一步說明，附圖中：
[0023]圖1是本技術一些實施例中用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置的結構示意圖；
[0024]圖2是圖1所示的用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置的局部結構示意圖；
[0025]圖3是圖2所示的用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置的局部結構分解示意圖。
具體實施方式
[0026]為了對本技術的技術特征、目的和效果有更加清楚的理解，現對照附圖詳細說明本技術的具體實施方式。
[0027]圖1示出了本技術用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置的一些優選實施例。該用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置可在晶圓包裝盒無拆封的狀態下對晶圓包裝盒的密封性進行檢測。用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置可避免晶圓包裝盒在檢測過程中破壞以及可實現對晶圓包裝盒進行無塵保護，提高檢測效率。
[0028]如圖1及圖2所示，在一些實施例中，該用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置包括第一模具10、第二模具20、驅動機構30、充壓組件以及氣壓檢測組件。該第一模具10以及第二模具20可開合設置，以便于待檢晶圓包裝盒裝入或取出。該驅動機構30與該第二模具20連接，用于驅動該第二模具20升降，也即朝該第一模具10做靠近或遠離運動，實現與該第一模具10開合。可以理解地，在其他一些實施例中，該驅動機構30也可與該第一模具10或者只與該第一模具10連接，用于帶動該第一模具10朝該第二模具20做靠近或者遠離運動，實現與該第二模具20開合。該充壓組件可與該第一模具10連接，當然，在其他一些實施例中，該充壓組件也可與該第二模具20連接，可在第一模具 10和該第二模具20合并后用于向該第一模具10和第二模具20中充壓。在一些實施例中，該氣壓檢測組件可與該第一模具10連接，其可用于檢測合并后第一模具10以及該第二模具20中的壓力變化，進而可實現對晶圓包裝盒的密封性進行檢測。
[0029]進一步地，在一些實施例中，該第一模具10可包括第一本體11以及第一腔體12，該第一本體11可呈長方體狀，當然，可以理解地，在其他一些實施例中，該第一本體11可不限于呈長方體狀。在一些實施例中，該第一腔體12 可形成于該第一本體11中，該第一腔體12可供待檢的晶圓包裝盒至少部分容置于其中。在一些實施例中，該第一模具10可采用塑料制成，當然，可以理解地，在其他一些實施例中，該第一模具10可不限于采用塑料制成。
[0030]在一些實施例中，該第二模具20的形狀以及尺寸可與該第一模具10相適配。該第二模具20可包括第二本體21以及第二腔體22；該第二本體21可呈長方體狀，當然，可以理解地，該第二本體21可不限于呈長方體狀。在一些實施例中，該第二腔體22可形成于該第二本體21中，該第二腔體22可與該第一腔體12拼接形成容置腔，用于將整個晶圓包裝盒容置于其中。在一些實施例中，該第二模具20可采用塑料制成，當然，可以理解地，在其他一些實施例中，該第二模具20可不限于采用塑料制成。在一些實施例中，該第二模具20上設置有第一連接板23，該第一連接板23可位于該第二模具20的頂部，且可向該第二模具20的兩相對側延伸出。在一些實施例中，該第一連接板23 可與該驅動機構30通過該導向結構50中的滑架54連接，當然，可以理解地，在其他一些實施例中，該第一連接板23也可直接與該驅動機構30連接。可以理解地，在其他一些實施例中，該第一連接板23可以省去。
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【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置，其特征在于，包括第一模具(10)、第二模具(20)、驅動機構(30)、充壓組件、以及氣壓檢測組件；所述第一模具(10)以及所述第二模具(20)可開合設置，用于供待檢晶圓包裝盒裝入；所述驅動機構(30)與所述第一模具(10)和/或所述第二模具(20)連接，用于帶動所述第一模具(10)以及所述第二模具(20)做開合運動；所述充壓組件與所述第一模具(10)和/或第二模具(20)連接，用于在所述第一模具(10)以及第二模具(20)合并后向所述第一模具(10)以及第二模具(20)中充壓；所述氣壓檢測組件與所述第一模具(10)和/或第二模具(20)連接，用于檢測合并后所述第一模具(10)以及所述第二模具(20)中的壓力變化。2.根據權利要求1所述的用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置，其特征在于，所述充壓組件包括管接頭(40)、充氣管路；所述管接頭(40)設置于所述第一模具(10)上，且與所述充氣管路連接。3.根據權利要求1所述的用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置，其特征在于，所述驅動機構(30)包括帶動所述第二模具(20)朝所述第一模具(10)做開合運動的升降氣缸。4.根據權利要求1所述的用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置，其特征在于，還包括用于給所述第二模具(20)運動導向的導向結構(50)。5.根據權利要求4所述的用于晶圓包裝盒的密封性檢測裝置，其特征在于，所述導向結構(50)包括第一安裝板(51)、與所述第一安裝板(51)平行且間隔設置的第二安裝板(52)、設置于所述第一安裝板(51)以及所述第二安裝板(52)之間的兩...
【專利技術屬性】
技術研發人員：邱摩西，何江波，譚文明，
申請(專利權)人：義柏應用技術深圳有限公司，
類型：新型
國別省市：
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