一種減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)及治具制造技術(shù)

本申請公開了一種減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)及及治具，包括若干裝載部，工件的每一個邊至少對應(yīng)一個裝載部，所述每一裝載部包括支撐連接部件和至少一個托部，托部與支撐連接部件連接，托部上設(shè)置有在工件裝載時與工件相接觸的托部接觸面，托部接觸面的長度方向為裝載時由工件邊緣向工件中心延伸的距離，托部接觸面的長x1值<2cm，托部接觸面的寬為y1，托部的厚為z1，y1值遠(yuǎn)小于工件的邊長。本申請減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的現(xiàn)象，提高了工件的有效使用面積。的有效使用面積。的有效使用面積。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
一種減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)及治具


[0001]本申請涉及磁控濺射領(lǐng)域，特別涉及一種減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)及治具。

技術(shù)介紹

[0002]磁控濺射工藝中，工件裝載在治具的裝載結(jié)構(gòu)上進(jìn)行磁控濺射，在工件上濺射形成涂層，現(xiàn)有的治具的裝載結(jié)構(gòu)如圖1
?
2所示，圖1
?
2中，裝載結(jié)構(gòu)為方形框1，方形框1由4個沿長度方向的截面為U形槽的裝載部件2圍成，其中U形槽的深度為2cm，裝載時，工件的一邊的邊緣插入1個裝載部件2的U 形槽，然后移動第二個的裝載部件2，使工件的第二邊的邊緣進(jìn)入第二個裝載部件2的U形槽，再移動第三個裝載部件2，使工件的第三邊的邊緣進(jìn)入第三個裝載部件2的U形槽，最后移動第四個裝載部件2，使工件的最后一邊的邊緣進(jìn)入第四個裝載部件2的U形槽，完成工件的裝載，然后將裝好工件的帶裝載結(jié)構(gòu)的治具進(jìn)行磁控濺射工藝步驟，完成工件的磁控濺射工藝，在工件上形成涂層。
[0003]上述的裝載結(jié)構(gòu)上的工件磁控濺射涂層沉積時出現(xiàn)五彩的現(xiàn)象，五彩的現(xiàn)象的工件一方面使用壽命較短，另一方面影響工件的美觀。

技術(shù)實現(xiàn)思路

[0004]基于上述問題，本申請?zhí)峁┮环N減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，該減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的現(xiàn)象，提高了工件的有效使用面積。
[0005]一種減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，包括若干裝載部，工件的每一個邊至少對應(yīng)一個裝載部，所述每一裝載部包括支撐連接部件和至少一個托部，托部與支撐連接部件連接，托部上設(shè)置有在工件裝載時與工件相接觸的托部接觸面，托部接觸面的長度方向為裝載時由工件邊緣向工件中心延伸的距離，托部接觸面的長x1值<2cm，托部接觸面的寬為y1，托部的厚為z1，y1 值遠(yuǎn)小于工件的邊長。
[0006]可選地，所述每一裝載部還包括至少一個卡部，卡部連接在支撐連接部件上，卡部接觸面的長x2值<2cm，卡部接觸面的寬為y1，卡部的厚為z1，y2 值遠(yuǎn)小于工件的邊長。
[0007]可選地，所述x1值、y1值和z1值根據(jù)工件的重量以及沉積過程中運動速度而定。
[0008]可選地，所述x2值、y2值和z2值根據(jù)工件的重量以及沉積過程中運動速度而定。
[0009]可選地，所述x1值為5mm。
[0010]可選地，所述x2值為5mm。
[0011]可選地，所述卡部接觸面和托部接觸面均為長條形，其中x1值遠(yuǎn)大于y1 值或z1值，x2值遠(yuǎn)大于y2值或z2值。一種減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)。
[0012]可選地，所述x1、x2為直線，y1、y2為弧線，從卡部接觸面的遠(yuǎn)離支撐連接部件的一端還設(shè)置有與工件距離逐漸遠(yuǎn)離的遠(yuǎn)離面，從托部接觸面的遠(yuǎn)離支撐連接部件的一端還設(shè)置有與工件距離逐漸遠(yuǎn)離的遠(yuǎn)離面。
[0013]可選地，所述卡部為由支撐連接部件向工件方向漸開的圓臺形，托部為由支撐連接部件向工件方向漸開的圓臺形。
[0014]本申請還提供一種治具。
[0015]一種治具，所述治具包括上述的減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)。
[0016]專利技術(shù)原理及有益效果：
[0017]本申請專利技術(shù)人在對現(xiàn)有的出現(xiàn)五彩的現(xiàn)象的涂層工件進(jìn)行研究分析中發(fā)現(xiàn)，出現(xiàn)五彩的現(xiàn)象的涂層的部位位于離工件邊緣的2cm處，而這樣的距離正好為裝載部件2的U形槽的深度，出現(xiàn)五彩的現(xiàn)象在鍍與不鍍的交界處。因此，五彩的現(xiàn)象與裝載結(jié)構(gòu)有關(guān)。
[0018]本申請通過將裝載結(jié)構(gòu)與工件的接觸由大面積的面接觸更換為很小面積的接觸(類似于點接觸)，一方面減少了涂層沉積時出現(xiàn)五彩的現(xiàn)象，另一方面增大了工件的圖層面積，從而一方面延長了工件的使用壽命，提高了工件的美觀度，另一方面還增大了工件的有效使用面積。
附圖說明
[0019]圖1為本技術(shù)
技術(shù)介紹
裝載結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本技術(shù)
技術(shù)介紹
裝載部件結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為本技術(shù)的一種減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)的仰視圖示意圖；
[0022]圖4為本技術(shù)帶卡部的裝載部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖5為本技術(shù)一種卡部(托部)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖6為本技術(shù)一種卡部(托部)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖7為本技術(shù)一種卡部(托部)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖8為本技術(shù)一種卡部(托部)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
[0027]下面將結(jié)合附圖對本申請作進(jìn)一步說明。
[0028]在本技術(shù)的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎向”、“縱向”、“側(cè)向”、“水平”、“內(nèi)”、“外”、“前”、“后”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，或者是該技術(shù)產(chǎn)品使用時慣常擺放的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本技術(shù)和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本技術(shù)的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于區(qū)分描述，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
[0029]在本技術(shù)的描述中，還需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“設(shè)置”、“開有”、“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本技術(shù)中的具體含義。
[0030]請參考圖3，圖3為本技術(shù)的一種減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)的仰視圖示意圖。
[0031]一種減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，包括若干裝載部1，工件4的每一個邊
至少對應(yīng)一個裝載部1，每一裝載部1包括支撐連接部件2和至少一個托部3，托部3與支撐連接部件2連接，托部3上設(shè)置有在工件4裝載時與工件4相接觸的托部3接觸面5，托部3接觸面5的長度方向為裝載時由工件 4邊緣向工件4中心延伸的距離，托部3接觸面5的長x1值<2cm。
[0032]本領(lǐng)域技術(shù)人員需要理解的是，本技術(shù)的支撐連接部件2是與治具的移動部件連接的，治具的移動部件與現(xiàn)有技術(shù)中的相同。
[0033]在本技術(shù)的一個或多個具體地實施方式中，托部3接觸面5的長x1 值、托部3接觸面5的寬y1值和托部3的厚z1值根據(jù)工件4的重量以及沉積過程中運動速度而定，在保證工件4運動時穩(wěn)定的條件下，x1值、y1值越小低越好。
[0034]在本技術(shù)的一個或多個具體地實施方式中，托部3接觸面5的長x1 值為5mm。
[0035]請參考圖4，在本技術(shù)的一個或多個具體地實施方式中，每一裝載部 1還包括至少一個卡部6，卡部6連接在支撐連接部件2上，在工件4裝載時，卡部6位于工件4的上方，托部本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】

【技術(shù)特征摘要】
1.一種減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，包括若干裝載部(1)，工件(4)的每一個邊至少對應(yīng)一個裝載部(1)，其特征在于：每一所述裝載部(1)包括支撐連接部件(2)和至少一個托部(3)，托部(3)與支撐連接部件(2)連接，托部(3)上設(shè)置有在工件(4)裝載時與工件(4)相接觸的托部(3)接觸面(5)，托部(3)接觸面(5)的長度方向為裝載時由工件(4)邊緣向工件(4)中心延伸的距離，托部(3)接觸面(5)的長x1值<2cm，托部(3)接觸面(5)的寬為y1，托部(3)的厚為z1，y1值遠(yuǎn)小于工件(4)的邊長。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，每一所述裝載部(1)還包括至少一個卡部(6)，卡部(6)連接在支撐連接部件(2)上，卡部(6)接觸面(5)的長x2值<2cm，卡部(6)接觸面(5)的寬為y1，卡部(6)的厚為z1，y2值遠(yuǎn)小于工件(4)的邊長。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述x1值、y1值和z1值根據(jù)工件(4)的重量以及沉積過程中運動速度而定。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減少涂層沉積時出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述x2值、y2值和z2值根據(jù)...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉鑫，蔣懿，
申請(專利權(quán))人：成都拓維高科光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：