本實用新型專利技術涉及半導體技術領域，且公開了一種半導體晶圓剖析設備，包括箱體，所述箱體的內部設置有移動機構，所述移動機構的頂部栓接有放置板，所述箱體的頂部固定套接有集塵罩，所述集塵罩的頂部連通有吸風機；本實用新型專利技術通過集塵罩將煙塵收集后，通過吸風機將煙塵吸入連接管中，再由連接管進入箱體，經過過濾網和活性炭處理后，排出箱體的方式，能夠達到對煙塵處理的目的，保護了環境，保證了人體健康，本實用新型專利技術通過轉動轉動筒，轉動筒轉動帶動連接桿移動，連接桿移動帶動卡接頭移動，卡接頭移動使卡接頭與激光切割頭的內壁脫離卡接的方式，能夠達到便于更換切割頭的目的，減少了工作量，提高了更換效率。提高了更換效率。提高了更換效率。
【技術實現步驟摘要】
一種半導體晶圓剖析設備
[0001]本技術涉及半導體
，具體為一種半導體晶圓剖析設備。
技術介紹
[0002]晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓，在對晶圓進行分析時，部分性能的分析需要將晶圓使用切割裝置分割開進行分析，而現有的切割裝置，不能對煙塵進行處理，一般晶圓切割裝置都是采用激光進行切割，在切割時會產生煙塵，煙塵飄散到空氣中，不僅污染空氣，還嚴重影響人體健康，也便于更換切割頭，一般切割頭都是通過螺栓固定在安裝架上的，在更換時，需要使用工具對其安裝拆卸，非常麻煩，增加了工作量，降低了更換效率，為了解決上述所存在的問題，我們提出一種半導體晶圓剖析設備。
技術實現思路
[0003]本技術的目的在于提供一種半導體晶圓剖析設備，具備能對煙塵進行處理和便于更換切割刀的優點，解決了現有的切割裝置不能對煙塵進行處理和不便更換切割刀的問題。
[0004]為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種半導體晶圓剖析設備，包括箱體，所述箱體的內部設置有移動機構，所述移動機構的頂部栓接有放置板，所述箱體的頂部固定套接有集塵罩，所述集塵罩的頂部連通有吸風機，所述吸風機的輸出端連通有連接管，且連接管的另一端與箱體的表面連通，所述箱體的內壁栓接有過濾網，所述過濾網之間填充有活性炭，所述箱體的內壁之間栓接有固定桿，所述固定桿的表面栓接有固定塊，所述固定塊的表面轉動套接有轉動筒，所述轉動筒的內壁鉸接有連接桿，所述連接桿的另一端鉸接有卡接頭，且卡接頭與固定塊的內壁連通，所述卡接頭與固定塊的內壁之間設置有彈簧，所述卡接頭的一端卡接有激光切割頭，且激光切割頭與固定塊的內壁滑動套接，通過集塵罩將煙塵收集后，通過吸風機將煙塵吸入連接管中，再由連接管進入箱體，經過過濾網和活性炭處理后，排出箱體的方式，能夠達到對煙塵處理的目的，保護了環境，保證了人體健康，通過轉動轉動筒，轉動筒轉動帶動連接桿移動，連接桿移動帶動卡接頭移動，卡接頭移動使卡接頭與激光切割頭的內壁脫離卡接的方式，能夠達到便于更換切割頭的目的，減少了工作量，提高了更換效率。
[0005]優選的，所述移動機構包括固定板，所述固定板的表面栓接有電機，所述電機的輸出端延伸至固定板的內部并栓接有螺桿，且螺桿的另一端與固定板的內壁轉動連接，所述螺桿的表面螺紋連接有滑動塊，且滑動塊與固定板的內壁滑動連接，且滑動塊的頂部與放置板的底部栓接，通過設置移動機構，方便移動晶圓，方便切割，提高了切割的質量。
[0006]優選的，所述箱體的內壁栓接有擋板，且擋板位于過濾網之間，通過設置擋板，增加煙塵處理的時間，提高處理效果。
[0007]優選的，所述轉動筒的表面開設有防滑紋，通過設置防滑紋，防止手滑，便于操作。
[0008]優選的，所述集塵罩的頂部栓接有保護殼，且吸風機位于保護殼的內部，通過設置保護殼，保護風機。
[0009]優選的，所述箱體的底部栓接有墊塊，通過設置墊塊，防止裝置滑動。
[0010]與現有技術相比，本技術提供了一種半導體晶圓剖析設備，具備以下有益效果：
[0011]1、本技術通過集塵罩將煙塵收集后，通過吸風機將煙塵吸入連接管中，再由連接管進入箱體，經過過濾網和活性炭處理后，排出箱體的方式，能夠達到對煙塵處理的目的，保護了環境，保證了人體健康；
[0012]2、本技術通過轉動轉動筒，轉動筒轉動帶動連接桿移動，連接桿移動帶動卡接頭移動，卡接頭移動使卡接頭與激光切割頭的內壁脫離卡接的方式，能夠達到便于更換切割頭的目的，減少了工作量，提高了更換效率。
附圖說明
[0013]圖1為本技術結構剖面圖；
[0014]圖2為本技術局部結構俯視剖面圖；
[0015]圖3為本技術圖1中A處結構放大圖。
[0016]圖中：1、箱體；2、移動機構；3、放置板；4、集塵罩；5、吸風機；6、連接管；7、過濾網；8、活性炭；9、固定桿；10、固定塊；11、轉動筒；12、連接桿；13、卡接頭；14、彈簧；15、激光切割頭；16、固定板；17、電機；18、螺桿；19、滑動塊；20、擋板；21、防滑紋；22、保護殼；23、墊塊。
具體實施方式
[0017]下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。
[0018]請參閱圖1、圖2和圖3，一種半導體晶圓剖析設備，包括箱體1，箱體1的內部設置有移動機構2，移動機構2的頂部栓接有放置板3，箱體1的頂部固定套接有集塵罩4，集塵罩4的頂部連通有吸風機5，吸風機5的輸出端連通有連接管6，且連接管6的另一端與箱體1的表面連通，箱體1的內壁栓接有過濾網7，過濾網7之間填充有活性炭8，箱體1的內壁之間栓接有固定桿9，固定桿9的表面栓接有固定塊10，固定塊10的表面轉動套接有轉動筒11，轉動筒11的內壁鉸接有連接桿12，連接桿12的另一端鉸接有卡接頭13，且卡接頭13與固定塊10的內壁連通，卡接頭13與固定塊10的內壁之間設置有彈簧14，卡接頭13的一端卡接有激光切割頭15，且激光切割頭15與固定塊10的內壁滑動套接，通過集塵罩4將煙塵收集后，通過吸風機5將煙塵吸入連接管6中，再由連接管6進入箱體1，經過過濾網7和活性炭8處理后，排出箱體1的方式，能夠達到對煙塵處理的目的，保護了環境，保證了人體健康，通過轉動轉動筒11，轉動筒11轉動帶動連接桿12移動，連接桿12移動帶動卡接頭13移動，卡接頭13移動使卡接頭13與激光切割頭15的內壁脫離卡接的方式，能夠達到便于更換切割頭的目的，減少了工作量，提高了更換效率。
[0019]進一步的，移動機構2包括固定板16，固定板16的表面栓接有電機17，電機17的輸出端延伸至固定板16的內部并栓接有螺桿18，且螺桿18的另一端與固定板16的內壁轉動連接，螺桿18的表面螺紋連接有滑動塊19，且滑動塊19與固定板16的內壁滑動連接，且滑動塊19的頂部與放置板3的底部栓接，通過設置移動機構2，方便移動晶圓，方便切割，提高了切割的質量。
[0020]進一步的，箱體1的內壁栓接有擋板20，且擋板20位于過濾網7之間，通過設置擋板20，增加煙塵處理的時間，提高處理效果。
[0021]進一步的，轉動筒11的表面開設有防滑紋21，通過設置防滑紋21，防止手滑，便于操作。
[0022]進一步的，集塵罩4的頂部栓接有保護殼22，且吸風機5位于保護殼22的內部，通過設置保護殼22，保護風機。
[0023]進一步的，箱體1的底部栓接有墊塊23，通過設置墊塊23，防止裝置滑動。
[0024]使用時，集塵罩4將煙塵收集后，本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種半導體晶圓剖析設備，包括箱體(1)，其特征在于：所述箱體(1)的內部設置有移動機構(2)，所述移動機構(2)的頂部栓接有放置板(3)，所述箱體(1)的頂部固定套接有集塵罩(4)，所述集塵罩(4)的頂部連通有吸風機(5)，所述吸風機(5)的輸出端連通有連接管(6)，且連接管(6)的另一端與箱體(1)的表面連通，所述箱體(1)的內壁栓接有過濾網(7)，所述過濾網(7)之間填充有活性炭(8)，所述箱體(1)的內壁之間栓接有固定桿(9)，所述固定桿(9)的表面栓接有固定塊(10)，所述固定塊(10)的表面轉動套接有轉動筒(11)，所述轉動筒(11)的內壁鉸接有連接桿(12)，所述連接桿(12)的另一端鉸接有卡接頭(13)，且卡接頭(13)與固定塊(10)的內壁連通，所述卡接頭(13)與固定塊(10)的內壁之間設置有彈簧(14)，所述卡接頭(13)的一端卡接有激光切割頭(15)，且激光切割頭(15)與固定塊(10)的內壁滑動套接。2.根據權利要求1所述的一種半導體晶...
【專利技術屬性】
技術研發人員：周益初，盧利軍，陳奇，殷萃雯，
申請(專利權)人：蓋澤華矽半導體科技蘇州有限公司，
類型：新型
國別省市：
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