一種具有高密封性的晶圓盒制造技術

本實用新型專利技術公開了一種具有高密封性的晶圓盒，其技術方案是：包括底板，底板頂部一端固定連接有圓盒，底板頂部另一端設有自動密封機構，自動密封機構包括空心套筒、活動桿、連接桿、兩個固定塊、兩個短柄與兩個長柄，空心套筒頂部封閉而內部空心，活動桿貫穿空心套筒頂部且與空心套筒頂部滑動連接，一種具有高密封性的晶圓盒的有益效果是：本實用新型專利技術通過設置自動密封機構，使用者僅需按壓插銷，再通過旋轉連接桿，就可以實現盒蓋的開啟，而直接松開連接桿，就可以在第一彈簧的作用下直接帶動盒蓋關閉，相較于卡接方式而言，可以有效避免操作人員忘記關閉盒蓋的問題，相較于螺紋連接方式而言，操作上更加簡單、快捷。快捷。快捷。

【技術實現步驟摘要】
一種具有高密封性的晶圓盒


[0001]本技術涉及晶圓盒
，具體涉及一種具有高密封性的晶圓盒。

技術介紹

[0002]晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。由于半導體的關鍵尺寸小，圖案密集，生產中的顆粒度要求非常嚴格，為了簡化運輸和盡可能降低被污染的風險，芯片制造商利用晶圓盒來搬運和儲存晶圓，晶圓盒在半導體生產中主要起到放置和輸送晶圓的作用。
[0003]現有的晶圓盒在使用時，盒蓋與盒體之間大多采取簡單的卡接方式或螺紋連接的方式，卡接方式密封性較差，而且盒蓋需要手動操作關閉，如果操作人員不小心忘記關閉盒蓋，外界空氣和灰塵就容易進入盒體內，導致晶圓受到污染，而螺紋連接開啟和關閉都需要旋轉擰緊，操作不便。

技術實現思路

[0004]為此，本技術提供一種具有高密封性的晶圓盒，通過設置自動密封機構，以解決上述
技術介紹
中提到的問題。
[0005]為了實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種具有高密封性的晶圓盒，包括底板，所述底板頂部一端固定連接有圓盒，所述底板頂部另一端設有自動密封機構；
[0006]所述自動密封機構包括空心套筒、活動桿、連接桿、兩個固定塊、兩個短柄與兩個長柄，所述空心套筒頂部封閉而內部空心，所述活動桿貫穿空心套筒頂部且與空心套筒頂部滑動連接，所述活動桿頂部兩側均固定連接有第二支桿，兩個所述固定塊分別與底板頂部兩側固定連接，兩個所述短柄一端的相反側均固定連接有轉軸，兩個所述轉軸分別貫穿兩個固定塊且與兩個固定塊轉動連接，兩個所述短柄另一端分別與連接桿的兩端固定連接，兩個所述短柄靠近連接桿一端的相反側均固定連接有第一支桿，兩個所述長柄一端分別與兩個第一支桿活動鉸接，兩個所述長柄的另一端分別與兩個第二支桿活動鉸接，所述空心套筒內部設有滑塊與第一彈簧，所述滑塊與空心套筒內壁滑動連接，所述滑塊頂部與活動桿底端固定連接，所述第一彈簧頂部與空心套筒的內頂壁固定連接，所述第一彈簧底部與滑塊頂部固定連接。
[0007]優選的，所述空心套筒的頂部和底部的兩側表面均開設有通孔。
[0008]優選的，所述底板頂部一端的兩側均固定連接有U形卡臺，兩個所述U形卡臺的中部均固定連接有橡膠軟墊。
[0009]優選的，所述活動桿頂部固定連接有連接塊，所述連接塊遠離活動桿一端固定連接有盒蓋。
[0010]優選的，所述盒蓋底部表面開設有環形槽，所述環形槽與圓盒相匹配。
[0011]優選的，所述圓盒頂部表面開設有環形槽，所述環形槽內設有密封圈。
[0012]優選的，所述環形槽內頂壁固定連接有環形板，所述環形板與密封槽相匹配。
[0013]優選的，所述盒蓋底部一端固定連接有插板，所述插板一側表面開設有彈簧槽，所述彈簧槽內設有第二彈簧與插銷。
[0014]優選的，所述第二彈簧一端與彈簧槽內壁固定連接，所述第二彈簧另一端與插銷固定連接，所述插銷通過彈簧槽與插板活動套接。
[0015]優選的，所述圓盒頂部一端固定連接有殼體，所述殼體一側表面開設有銷孔，所述銷孔與插銷相匹配。
[0016]本技術實施例具有如下優點：
[0017]1、本技術通過設置自動密封機構，使用者僅需按壓插銷，再通過旋轉連接桿，就可以實現盒蓋的開啟，而直接松開連接桿，就可以在第一彈簧的作用下直接帶動盒蓋關閉，相較于卡接方式而言，可以有效避免操作人員忘記關閉盒蓋的問題，相較于螺紋連接方式而言，操作上更加簡單、快捷。
[0018]2、本技術通過設置環形板與密封圈，當盒蓋向下運動時，圓盒頂部可以插入到環形槽內部，同時環形板插入到密封槽內部，對密封圈進行擠壓，通過多層的防護，有效實現圓盒的高密封性，最終通過插銷固定，使得盒蓋不會被輕易移動，保證盒蓋的穩定性。
附圖說明
[0019]為了更清楚地說明本技術的實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是示例性的，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖引申獲得其他的實施附圖。
[0020]本說明書所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本技術可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大小的調整，在不影響本技術所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本技術所揭示的
技術實現思路
的能涵蓋的范圍內。
[0021]圖1為本技術提供的整體結構示意圖；
[0022]圖2為本技術提供的正面結構示意圖；
[0023]圖3為本技術提供的整體結構剖視圖；
[0024]圖4為本技術提供的圖3中A部結構放大圖。
[0025]圖中：1、底板；2、圓盒；3、空心套筒；4、活動桿；5、連接桿；6、固定塊；7、短柄；8、長柄；9、第二支桿；10、轉軸；11、第一支桿；12、滑塊；13、第一彈簧；14、U形卡臺；15、連接塊；16、盒蓋；17、密封槽；18、環形板；19、插板；20、第二彈簧；21、插銷；22、殼體；23、銷孔；24、密封圈。
具體實施方式
[0026]以下由特定的具體實施例說明本技術的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本技術的其他優點及功效，顯然，所描述的實施例是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護
的范圍。
[0027]參照附圖1
?
4，本技術提供的一種具有高密封性的晶圓盒，包括底板1，底板1頂部一端固定連接有圓盒2，底板1頂部另一端設有自動密封機構；
[0028]自動密封機構包括空心套筒3、活動桿4、連接桿5、兩個固定塊6、兩個短柄7與兩個長柄8，空心套筒3頂部封閉而內部空心，活動桿4貫穿空心套筒3頂部且與空心套筒3頂部滑動連接，活動桿4頂部兩側均固定連接有第二支桿9，兩個固定塊6分別與底板1頂部兩側固定連接，兩個短柄7一端的相反側均固定連接有轉軸10，兩個轉軸10分別貫穿兩個固定塊6且與兩個固定塊6轉動連接，兩個短柄7另一端分別與連接桿5的兩端固定連接，兩個短柄7靠近連接桿5一端的相反側均固定連接有第一支桿11，兩個長柄8一端分別與兩個第一支桿11活動鉸接，兩個長柄8的另一端分別與兩個第二支桿9活動鉸接，空心套筒3內部設有滑塊12與第一彈簧13，滑塊12與空心套筒3內壁滑動連接，滑塊12頂部與活動桿4底端固定連接，第一彈簧13頂部與空心套筒3的內頂壁固定連接，第一彈簧13底部與滑塊12頂部固定連接；
[0029]本實施方案中，圓盒2是可以提供放置和儲存晶圓的場所，其內部的具體結構可根據需要進行自主設置。
[0030]其中，為了實現自動關閉的目的，本裝置采用如下技術方案實本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種具有高密封性的晶圓盒，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)頂部一端固定連接有圓盒(2)，所述底板(1)頂部另一端設有自動密封機構；所述自動密封機構包括空心套筒(3)、活動桿(4)、連接桿(5)、兩個固定塊(6)、兩個短柄(7)與兩個長柄(8)，所述活動桿(4)貫穿空心套筒(3)頂部且與空心套筒(3)頂部滑動連接，所述活動桿(4)頂部兩側均固定連接有第二支桿(9)，兩個所述固定塊(6)分別與底板(1)頂部兩側固定連接，兩個所述短柄(7)的一側均固定連接有轉軸(10)，兩個所述轉軸(10)分別貫穿兩個固定塊(6)且與兩個固定塊(6)轉動連接，兩個所述短柄(7)另一端分別與連接桿(5)的兩端固定連接，兩個所述短柄(7)靠近連接桿(5)一端的相反側均固定連接有第一支桿(11)，兩個所述長柄(8)一端分別與兩個第一支桿(11)活動鉸接，兩個所述長柄(8)的另一端分別與兩個第二支桿(9)活動鉸接，所述空心套筒(3)內部設有滑塊(12)與第一彈簧(13)，所述滑塊(12)與空心套筒(3)內壁滑動連接，所述滑塊(12)與活動桿(4)固定連接，所述第一彈簧(13)的一端與空心套筒(3)固定連接，所述第一彈簧(13))的另一端與滑塊(12)連接。2.根據權利要求1所述的一種具有高密封性的晶圓盒，其特征在于：所述空心套筒(3)的頂部和底部的兩側表面均開設有通孔。3.根據權利要求2所述的一種具有高密封性的晶圓盒，其特征在于：所述底板(1)頂部一端的兩側均固定連接...

【專利技術屬性】
技術研發人員：黃詩妤，
申請(專利權)人：廈門東駿佳得環保科技有限公司，
類型：新型
國別省市：