設備、膜形成方法及設備的制造方法技術

提供一種防止在隔壁的附近產生的膜的偏斜，能形成均勻的膜的設 備。本發明專利技術的設備具備：隔壁(B)；在由所述隔壁(B)區劃出的區域上 設置的膜(F)；在由所述隔壁(B)區劃出的區域的外周部上設置的槽(D)。 膜(F)通過在由隔壁(B)區劃出的區域上配置液體材料(L)而形成， 槽(D)的表面的一部分由膜F所覆蓋。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及。
技術介紹
近年來，逐漸開發出采用液相法作為電子設備的制造方法的設備。例如，專利文獻1～3中公開了在基體上通過液滴噴出法配置有機EL裝置的形成材料(空穴注入材料、發光材料)的技術。圖15是用于說明采用液滴噴出法的膜形成方法的說明圖。如圖15所示，以往的膜形成方法中，首先在形成膜F的區域的周圍形成隔壁B(圖15(a))。并且，將該隔壁B的表面通過CF4等離子體處理進行疏液性加工后，在由隔壁B區劃出的區域上噴出包括功能性材料的液體材料L。并且，通過將該液體材料L進行干燥，來析出功能性材料的膜F(圖15(b))。專利文獻1特開2001-291583號公報專利文獻2特開2002-56980號公報專利文獻3特開2004-235128號公報但是，若用隔壁B來形成膜，則如圖15(b)所示，存在膜的端部F2、F3大大鼓起，不能形成均勻的膜的問題。這根據以下的理由來考慮。一般配置在基體上的液體在邊緣(edge)中較快地進行干燥。從而，液體的干燥過程中，液體的邊緣中溶質的濃度首先達到飽和濃度，開始析出。另一方面，對液體內部補給在液體的邊緣中由于蒸發而失去的液體，因此產生從液體中央部向液體周緣部的液體的流動。其結果，液體中央部的溶質由于其流動運送到液體周緣部，隨著液滴的干燥而促進來自周緣部的析出。并且，若這樣的液體的流動在隔壁B的開口區域內產生，則在隔壁B的附近形成為膜的表面以M字狀或U字狀鼓起的狀態，膜的平坦性損壞。由此若膜在偏斜的狀態下形成，則也對在其之上形成的膜的平坦性及膜厚的均勻性產生影響。例如，在形成有機EL元件時，在由隔壁區劃出的區域依次形成空穴注入/輸送層和發光層，但是若空穴注入/輸送層的平坦性差，則在其之上形成的發光層的平坦性也差，對發光特性產生較大的偏差。并且，專利文獻1中，公開了通過用液滴噴出法將液滴噴出2次以上，來進行凹部或未涂敷部分的修正，對膜平坦化的技術。另外，專利文獻2中，公開了添加由硅系化合物或氟素系化合物構成的均勻(leveling)劑，對膜平坦化的技術。進一步，專利文獻3中，公開了在空穴注入/輸送層上對隔壁圖案化，消除空穴注入/輸送層的凹凸的影響的技術。但是，專利文獻1的方法中，若多次噴出中采用同一溶劑，則之前形成的膜再次溶解到溶劑中，因此存在溶劑的選擇被受限制的問題。另外，專利文獻2的方法中，均勻劑對發光特性的影響成為問題。進一步，在專利文獻3的方法中，存在在形成充分高的隔壁時液滴的干燥開始位置不穩定，且膜厚不均勻的問題。
技術實現思路
本專利技術是鑒于上述問題而提出的，其目的在于，提供一種能防止在隔壁的附近產生的膜的偏斜，且能形成均勻的膜的膜形成方法及設備的制造方法。另外，其目的還在于，提供一種通過具備由上述方法來形成的膜而能實現特性的均勻化的設備。為了解決上述的問題，本專利技術的設備，其特征在于，具備隔壁；膜，設置在由所述隔壁區劃出的區域；和槽，設置在由所述隔壁區劃出的區域的外周部。根據該構成，由于在隔壁的附近形成槽，因此在由液相法形成膜時，抑制形成在膜的端部的鼓起，得到平坦性良好的膜。作為該理由，考慮以下情況運送到隔壁附近的溶質(功能性材料)被收容到槽內，由槽改變隔壁附近的液體的對流等；另外實驗驗證了通過形成槽來消除隔壁附近的膜的鼓起。本專利技術中，優選為，所述槽形成為環狀，以便包圍形成有所述膜的區域。根據該構成，消除在隔壁附近形成為環狀的膜的偏斜，可對膜全體實現高平坦性。本專利技術中，優選為，所述槽的深度根據離所述隔壁的距離而不同。膜的鼓起從由隔壁區劃出的區域的外周部到中央部形成為錐形狀。從而，通過與該錐形狀的鼓起對應而改變槽的深度，而能形成平坦性良好的膜。例如，當膜形成為U字狀時，優選為在由隔壁區劃出的區域的最外周部，槽的深度最深。另外，當膜形成為M字狀時，優選為，中央部側的槽的深度比上述區域的最外周部更深。本專利技術的膜形成方法，在由隔壁區劃出的區域配置液體材料并形成膜，包括在由所述隔壁區劃出的區域的外周部形成槽的工序；在由所述隔壁區劃出的區域配置含有功能性材料的液體材料的工序；和將所述液體材料進行干燥，以形成覆蓋所述槽的所述功能性材料的膜的工序。根據該方法，由于在隔壁的附近形成槽，抑制形成在膜的端部的鼓起，得到平坦性良好的膜。作為該理由，考慮以下情況運送到隔壁附近的溶質(功能性材料)被收容到槽內，由槽改變隔壁附近的液體的對流等；另外實驗驗證了通過形成槽來消除隔壁附近的膜的鼓起。此外，本說明書中，“功能性材料”是指具有以下各種功能的材料電氣/電子功能(導電性、絕緣性、壓電性、焦電性、感應性等)、光學功能(光選擇吸收、反射性、偏振性、光選擇透過性、非線性光學性、熒光或磷光等的發光、光致變色性(photochromic)等)、磁性功能(硬磁性、軟磁性、非磁性、透磁性等)、化學功能(吸著性、解吸性、催化性、吸水性、離子傳導性、氧化還原性、電氣化學特性、電致發光性等)、機械功能(耐摩性等)、熱功能(傳熱性、絕熱性、紅外線放射性等)、生物功能(生物適合性、抗血栓性等)等。另外，包括功能性材料的液體材料是指通過對液體材料中含有的固形成分膜化，來可形成具有上述功能的膜(功能膜)的材料。例如，在形成發光裝置中的發光層時，作為功能性材料使用具有熒光或磷光的材料即可，在形成濾色器時，使用涂料等的微粒子著色材料即可。另外，在形成液晶裝置的透明像素電極時，使用銦錫氧化物(ITO)等的微粒子導電材料即可。本專利技術中，優選為，所述槽由與形成所述隔壁的工序相同的工序來形成。根據該方法，不需要用于形成槽的新的工序，因此制造變得容易。另外，從以往的工序的移行也容易。例如，用蝕刻等來對隔壁圖案化時，若在隔壁的附近形成深蝕刻的溝，則能同時形成隔壁和槽。在本專利技術中，優選為，在進行配置所述液體材料的工序時，在所述隔壁的表面形成對所述液體材料具有親液性的親液區域。如上所述，配置在基體上的液體在其邊緣中溶質局部地析出。并且，通過其析出后的溶質而液體的邊緣成為銷固定后的狀態，抑制伴隨其以后的干燥的液體的收縮(外徑的收縮)。在此，若在隔壁的表面未形成親液區域，則液體材料的干燥開始的點不均勻，不能形成均勻的膜厚的圖案。例如，圖15(b)中，堆積在隔壁附近的膜F2、F3的膜厚不均勻，受其影響而即使在中央部的膜F1中，膜中央部和膜周緣部的膜厚也不同。另外，這樣的干燥開始位置的不均勻按每個像素不均勻地產生，因此按每個像素形成均勻的膜變得困難，其結果，適用于有機EL裝置等的發光設備中時，存在產生發光不均或暗點等的顯示不良的情況。另一方面，若如本專利技術那樣，在隔壁的表面設置親液區域，則液體的邊緣被固定在形成有親液區域的位置上，因此不會產生這樣的干燥開始位置的不均勻。從而，在液體材料的干燥過程中，形成有親液區域的位置成為干燥的開始點而進行液體材料的干燥，如以往那樣，干燥開始位置不均勻，從而不會產生膜的厚度不均勻等問題。此外，以后的說明中，上述的現象即由邊緣中析出的溶質來抑制伴隨干燥的液體的收縮的現象稱作“制止(pinning)”，該制止產生的位置稱作“制止點”。本方法通過在隔壁的表面設置親液性的區域，來控制液體材料的制止點即液體材料的干燥開始的位置。另外，本說明書中，“親液性”是指對在由隔壁區劃出的區域上配置的液體材料表示親和性的特性，本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種設備，　　　　具備：　　　　隔壁；　　　　膜，設置在由所述隔壁區劃出的區域；和　　　　槽，設置在由所述隔壁區劃出的區域的外周部。

【技術特征摘要】
...

【專利技術屬性】
技術研發人員：三橋悅央，關俊一，
申請(專利權)人：精工愛普生株式會社，
類型：發明
國別省市：JP