本實用新型專利技術公開了一種具有烘干設備的晶圓盒清洗機，其技術方案是：包括外殼，外殼的內壁固定設有烘干機，一種具有烘干設備的晶圓盒清洗機有益效果是：通過烘干機可以將需要烘干的晶圓盒進行烘干，并且通過電機的轉動，可以使晶圓盒在烘干的過程中可以進行移動和轉動，達到全方位的烘干，并且通過設有鐵絲網的結構還可以將底部進行烘干，可以提高清洗后的晶圓盒烘干的效率，烘干速度快，減少烘干后進入晶圓盒內部的灰塵，并且通過機器烘干，提高晶圓盒的外觀是干凈程度在包裝晶圓時，晶圓盒干凈程度高自然不會影響晶圓的干凈程度。程度高自然不會影響晶圓的干凈程度。程度高自然不會影響晶圓的干凈程度。
【技術實現步驟摘要】
一種具有烘干設備的晶圓盒清洗機
[0001]本技術涉及烘干設備
，具體涉及一種具有烘干設備的晶圓盒清洗機。
技術介紹
[0002]晶圓盒清洗機是清洗晶圓盒所使用的設備，對生產出的晶圓盒進行清洗，晶圓盒的清洗，在包裝晶圓時可以使在晶圓盒內的晶圓更加干凈。
[0003]現有的晶圓盒清洗機在使用時沒有烘干設備，通常是讓晶圓盒自然晾干，這樣可能會使晶圓盒內部落入灰塵，并且落入灰塵烘干后的晶圓盒在外觀上不整潔，在包裝晶圓時也會影響晶圓的干凈程度。
技術實現思路
[0004]為此，本技術提供一種具有烘干設備的晶圓盒清洗機，通過設有烘干機及電機使晶圓盒在烘干的過程中可以進行移動和轉動，以解決現有的晶圓盒清洗機在使用時沒有烘干設備，通常是讓晶圓盒自然晾干，這樣可能會使晶圓盒內部落入灰塵，并且落入灰塵烘干后的晶圓盒在外觀上不整潔，在包裝晶圓時也會影響晶圓的干凈程度的問題。
[0005]為了實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種具有烘干設備的晶圓盒清洗機，包括外殼，所述外殼的內壁固定設有烘干機，所述外殼的外部固定設有電機，所述電機輸出端固定連接有第二連接軸，所述外殼一側開設有方槽，所述第二連接軸貫穿外殼并延伸入方槽內部，所述第二連接軸與外殼連接處通過軸承連接，所述第二連接軸外部固定套設有第三齒輪，所述第三齒輪一側嚙合連接有第二齒輪，所述第二齒輪一側固定設有絲桿，所述絲桿貫穿方槽并延伸入外殼內部，所述絲桿與方槽和外殼連接處通過軸承連接，所述絲桿的外部通過螺紋連接有滑塊，所述滑塊頂部通過軸承連接有第一連接軸，所述第一連接軸的外部固定套設有第一齒輪，所述第一連接軸的頂端固定設有鐵絲網，所述鐵絲網兩側均固定設有第二阻擋板，所述鐵絲網的頂部固定設有第一阻擋板，所述鐵絲網的頂部固定設有斜板，所述外殼的內壁固定設有齒板，所述齒板與第一齒輪嚙合連接。
[0006]優選的，所述鐵絲網的頂部設有晶圓盒本體。
[0007]優選的，所述外殼的底部四角均固定設有支撐腳。
[0008]優選的，所述外殼的內腔底部設有水槽。
[0009]優選的，所述外殼的一側開設有開口槽，所述水槽一側固定設有把手，所述把手貫穿開口槽并延伸出開口槽外部。
[0010]優選的，所述外殼內壁固定設有限位桿，所述限位桿貫穿滑塊。
[0011]優選的，所述外殼的頂部固定設有第一水箱，所述第一水箱的兩側均固定設有第一水管，兩個所述第一水管貫穿外殼并延伸入外殼。
[0012]優選的，所述外殼的一側固定設有第二水箱，所述第二水箱一側固定設有第二水管，所述第二水管貫穿外殼并延伸入外殼內部。
[0013]優選的，所述外殼的兩側均開設有料口。
[0014]本技術實施例具有如下優點：
[0015]1、烘干機可以將需要烘干的晶圓盒進行烘干，并且通過電機的轉動，使晶圓盒在烘干的過程中可以進行移動和轉動，達到全方位的烘干，并且通過設有鐵絲網的結構還可以將晶圓盒的底部進行烘干；
[0016]2、烘干機和電機的設置可以提高清洗后的晶圓盒烘干的效率，烘干速度快，減少烘干后進入晶圓盒內部的灰塵，并且通過機器烘干，提高晶圓盒的外觀是干凈程度在包裝晶圓時，晶圓盒干凈程度高自然不會影響晶圓的干凈程度。
附圖說明
[0017]為了更清楚地說明本技術的實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是示例性的，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據提供的附圖引伸獲得其它的實施附圖。
[0018]本說明書所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本技術可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大小的調整，在不影響本技術所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本技術所揭示的
技術實現思路
得能涵蓋的范圍內。
[0019]圖1為本技術提供的整體結構示意圖；
[0020]圖2為本技術提供的第一側視剖視圖；
[0021]圖3為本技術提供的第二側視剖視圖；
[0022]圖4為本技術提供的圖2中A部結構放大圖；
[0023]圖中：1外殼、2第一水管、3第一連接軸、4晶圓盒本體、5第一水箱、6鐵絲網、7第一阻擋板、8第二阻擋板、9第一齒輪、10絲桿、11滑塊、12把手、13水槽、14烘干機、15料口、16方槽、17第二齒輪、18第三齒輪、19第二連接軸、20電機、21支撐腳、22齒板、23限位桿、24斜板、25第二水管、26第二水箱。
具體實施方式
[0024]以下由特定的具體實施例說明本技術的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本技術的其他優點及功效，顯然，所描述的實施例是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。
[0025]參照附圖1
?
4，本技術提供的一種具有烘干設備的晶圓盒清洗機，包括外殼1，所述外殼1的內壁固定設有烘干機14，所述外殼1的外部固定部設有電機20，所述電機20輸出端固定連接有第二連接軸19，所述外殼1一側開設有方槽16，所述第二連接軸19貫穿外殼1并延伸入方槽16內部，所述第二連接軸19與外殼1連接處通過軸承連接，所述第二連接軸19外部固定套設有第三齒輪18，所述第三齒輪18一側嚙合連接有第二齒輪17，所述第二齒
輪17一側固定設有絲桿10，所述絲桿10貫穿方槽16并延伸入外殼1內部，所述絲桿10與方槽16和外殼1連接處通過軸承連接，所述絲桿10的外部通過螺紋連接有滑塊11，所述滑塊11頂部通過軸承連接有第一連接軸3，所述第一連接軸3的外部固定套設有第一齒輪9，所述第一連接軸3的頂端固定設有鐵絲網6，所述鐵絲網6兩側均固定設有第二阻擋板8，所述鐵絲網6的頂部固定設有第一阻擋板7，所述鐵絲網6的頂部固定設有斜板24，所述外殼1的內壁固定設有齒板22，所述齒板22與第一齒輪9嚙合連接；
[0026]本實施方案中，將晶圓盒本體4放在鐵絲網6上，晶圓盒本體4的開口部分接觸鐵絲網6，的尾端接觸斜板24，打開第二水管25和第一水管2對晶圓盒本體4進行清洗，第二水管25將對晶圓盒本體4的內部和下部進行清洗，第一水管2則對晶圓盒本體4的頂部和兩側進行清洗，因為晶圓盒本體4為傾斜狀態，開口斜向下，因此內部清洗完成后不會留有大量的積水，待清洗完畢后，關閉第一水管2和第二水管25，打開電機20，打開烘干機14，電機20帶動第二連接軸19轉動，第二連接軸19轉動帶動第三齒輪18轉動，當第三齒輪18和第二齒輪17嚙合時，第二齒輪17轉動，第二齒輪17帶動絲桿10轉動，絲桿10轉動和帶動滑塊11運動，滑塊11運動帶動第一連接軸3運動本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種具有烘干設備的晶圓盒清洗機，包括外殼(1)，其特征在于：所述外殼(1)的內壁固定設有烘干機(14)，所述外殼(1)的外部設有電機(20)，所述電機(20)輸出端固定連接有第二連接軸(19)，所述外殼(1)一側開設有方槽(16)，所述第二連接軸(19)貫穿外殼(1)并延伸入方槽(16)內部，所述第二連接軸(19)外部固定套設有第三齒輪(18)，所述第三齒輪(18)一側嚙合連接有第二齒輪(17)，所述第二齒輪(17)一側固定設有絲桿(10)，所述絲桿(10)貫穿方槽(16)并延伸入外殼(1)內部，所述絲桿(10)與方槽(16)和外殼(1)連接處通過軸承連接，所述絲桿(10)的外部螺紋連接有滑塊(11)，所述滑塊(11)頂部通過軸承連接有第一連接軸(3)，所述第一連接軸(3)的外部固定套設有第一齒輪(9)，所述第一連接軸(3)的頂端固定設有鐵絲網(6)，所述鐵絲網(6)兩側均固定設有第二阻擋板(8)，所述鐵絲網(6)的頂部固定設有第一阻擋板(7)，所述鐵絲網(6)的頂部固定設有斜板(24)，所述外殼(1)的內壁固定設有齒板(22)，所述齒板(22)與第一齒輪(9)嚙合連接。2.根據權利要求1所述的一種具有烘干設備的晶圓盒清洗機，其特征在于：所述鐵絲網(6)的頂部設有晶圓盒本體(4)。3.根據權利...
【專利技術屬性】
技術研發人員：黃詩妤，
申請(專利權)人：廈門東駿佳得環保科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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