【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種高純液氮制取裝置及方法
[0001]本專利技術(shù)屬于高純液氮制取
,具體是一種高純液氮制取裝置及方法。
技術(shù)介紹
[0002]液氮或氣態(tài)氮通常是通過(guò)空氣的低溫精餾來(lái)制備的,它是在含有一個(gè)或多個(gè)精餾塔的低溫冷箱中進(jìn)行的,這樣得到的氮的純度對(duì)它的大多數(shù)應(yīng)用來(lái)說(shuō)是足夠的;
[0003]然而,一些作用領(lǐng)域如電子工業(yè)、特別是半導(dǎo)體或其它元件的制造,制藥工業(yè),分析或研究,需要高純的液氮,利用高純的液氮作為一種極為有益的調(diào)節(jié)手段和補(bǔ)充方法,同時(shí)又能夠有效降低能耗、縮小總投資規(guī)模,從而滿足高純液氮裝置的應(yīng)用前景。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中多采用雙塔或多塔低溫精餾,設(shè)置有獨(dú)立中壓循環(huán)壓縮機(jī)組和循環(huán)系統(tǒng)(壓縮機(jī)組或氮?dú)庋h(huán)壓縮機(jī)組),循環(huán)系統(tǒng)采用兩級(jí)增壓,且循環(huán)壓縮機(jī)組的壓力達(dá)到30barg,從而使得裝置的最高壓力可達(dá)50barg,裝置壓力高,會(huì)給裝置和系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)帶來(lái)安全隱患。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中精餾塔為雙塔或多塔精餾,對(duì)于只需要高純液氮的用戶,精餾塔的高度通常高于30米,分餾塔冷箱高聳會(huì)造成制造成本加大;且在對(duì)液氮進(jìn)行制取時(shí),工藝設(shè)計(jì)直接決定了提純出的液氮純度,因此制取高純氮?dú)獾墓に囘^(guò)程及裝置成為制取高純氮?dú)獾闹匾蛩兀虼爽F(xiàn)急需專利技術(shù)設(shè)計(jì)一種高純液氮制取裝置及方法,從而解決上述所提出的工藝復(fù)雜造成產(chǎn)品能耗大、高純液氮的制取成本高以及安全性差的問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
[0006]本專利技術(shù)的目的是提供了一種高純液氮制取裝置及方法,解決了上述所提出的工藝復(fù)雜造成產(chǎn)品能耗大、高純液氮的制取 ...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
1.一種高純液氮制取裝置,其特征在于,包括預(yù)處理系統(tǒng)(1)、凈化系統(tǒng)(2)、分餾塔冷箱(3)以及設(shè)置在所述分餾塔冷箱(3)內(nèi)的主換熱器(31)、精餾塔(35)、第一透平膨脹機(jī)(32)、第二透平膨脹機(jī)(33)、氣液分離器(34)和過(guò)冷器(36),所述精餾塔(35)包括從下至上依次設(shè)置的重組分儲(chǔ)存段、精餾段和冷凝蒸發(fā)段;所述凈化系統(tǒng)(2)包括若干個(gè)雙層分子篩吸附器(21),所述雙層分子篩吸附器(21)均與所述預(yù)處理系統(tǒng)(1)連接,所述雙層分子篩吸附器(21)的出氣口連有第一空氣進(jìn)氣管道(4);所述第一空氣進(jìn)氣管道(4)上并聯(lián)有第二空氣進(jìn)氣管道(5)和第三空氣進(jìn)氣管道(6),所述第二空氣進(jìn)氣管道(5)與所述主換熱器(31)上部進(jìn)口連通,所述主換熱器(31)下部出口與所述第一透平膨脹機(jī)(32)的進(jìn)氣口連通,所述第二空氣進(jìn)氣管道(5)上設(shè)有第一水冷器(7)以及與所述第一透平膨脹機(jī)(32)配合連接的第一增壓機(jī)(8);所述第一透平膨脹機(jī)(32)的出氣口連有第一膨脹管道(9),所述第一膨脹管道(9)與所述主換熱器(31)的下部進(jìn)口連通,所述主換熱器(31)的上部出口連有第一放散管道(311),所述第一放散管道(311)伸出所述分餾塔冷箱(3)連有收集系統(tǒng);所述第三空氣進(jìn)氣管道(6)與所述主換熱器(31)的上部進(jìn)口連通,所述主換熱器(31)通過(guò)管道與所述氣液分離器(34)的進(jìn)氣口連通,所述第三空氣進(jìn)氣管道(6)上設(shè)有第二水冷器(10)以及與所述第二透平膨脹機(jī)(33)配合連接的第二增壓機(jī)(11);所述第二透平膨脹機(jī)(33)的進(jìn)氣口連有污氮廢氣出氣管道(12),所述污氮廢氣出氣管道(12)與所述主換熱器(31)的一側(cè)的出氣口連通,所述主換熱器(31)下部進(jìn)口與所述過(guò)冷器(36)連通,所述過(guò)冷器(36)的進(jìn)口與所述精餾塔(35)塔頂?shù)某鰵饪谶B通,所述第二透平膨脹機(jī)(33)的出氣口連有污氮廢氣再生管道(13),所述污氮廢氣再生管道(13)與所述過(guò)冷器(36)上部進(jìn)口連通,所述過(guò)冷器(36)下部出口與所述主換熱器(31)下部進(jìn)口連通,所述主換熱器(31)的上部出口與所述雙層分子篩吸附器(21)的進(jìn)氣口連通;所述氣液分離器(34)的出氣口和出液口分別與所述精餾塔(35)的下部連通;所述精餾塔(35)下部的液相出口連接有第一冷卻管道(14),所述第一冷卻管道(14)與所述過(guò)冷器(36)一側(cè)的進(jìn)液口連通,所述過(guò)冷器(36)另一側(cè)的出液口與所述精餾塔(35)塔頂?shù)倪M(jìn)液口連通,所述精餾塔(35)上部塔內(nèi)設(shè)有冷凝蒸發(fā)器(351),所述冷凝蒸發(fā)器(351)的上部進(jìn)口與所述精餾塔(35)精餾段之間設(shè)有氮?dú)膺M(jìn)氣管道(3512),下部?jī)沙隹诜謩e連接有不凝氣管道(3511)和第一液氮管道(3513),所述不凝氣管道(3511)與所述主換熱器(31)下部進(jìn)口連通,所述主換熱器(31)的上部出口連有不凝氣管道(313),所述不凝氣管道(313)的端部伸出所述分餾塔冷箱(3)連有回收系統(tǒng),所述不凝氣管道(3511)的中部通過(guò)管道與所述氮?dú)膺M(jìn)氣管道(3512)的中部連通,所述第一液氮管道(3513)與所述精餾塔(35)上部精餾段的進(jìn)液口連通,所述第一液氮管道(3513)上連有第二液氮管道(16),所述第二液氮管道(16)的端部位于所述分餾塔冷箱(3)外;所述精餾塔(35)中部精餾段的出氣口連有換熱通道(15),所述換熱通道(15)與所述主換熱器(31)下部的進(jìn)口連通,所述主換熱器(31)上部出口連接有氮?dú)夤艿?312),所述氮?dú)夤艿?312)伸出所述分餾塔冷箱(3)連有用戶總管道。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純液氮制取裝置,其特征在于,所述預(yù)處理系統(tǒng)(1)包括依次連接的自潔式過(guò)濾器(111)、壓縮機(jī)(112)和預(yù)冷機(jī)(113),所述預(yù)冷機(jī)(113)的出氣
口與所述雙層分子篩吸附器(21)的進(jìn)氣口連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純液氮制取裝置,其特征在于,所述污氮廢氣再生管道(13)上設(shè)有電加熱器(17)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純液氮制取裝置,其特征在于,所述雙層分子篩吸附器(21)包括用于吸附H2O的第一床層、用于吸附CO2和不飽和烴的第二床層。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純液氮制取裝置,其特征在于,所述雙層分子篩吸附器(2...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:裴會(huì)雙,
申請(qǐng)(專利權(quán))人:南通深冷裝備有限公司,
類型:發(fā)明
國(guó)別省市:
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