掩膜裝置及蒸鍍設(shè)備制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)公開一種掩膜裝置及蒸鍍設(shè)備，其中，掩膜裝置包括掩膜版、擋板機構(gòu)、檢測件和第一控制器，掩膜版貫穿設(shè)置有第一開口，第一開口內(nèi)設(shè)有多個掩膜條，并形成有多個蒸鍍區(qū)域，擋板機構(gòu)設(shè)置在掩膜版的下表面，擋板機構(gòu)包括底座、驅(qū)動件和擋板，底座設(shè)置有與第一開口連通的第二開口，第二開口的側(cè)壁設(shè)置有安裝槽，驅(qū)動件和擋板均設(shè)置在安裝槽內(nèi)，驅(qū)動件與擋板連接，檢測件和驅(qū)動件均與第一控制器連接。本發(fā)明專利技術(shù)的掩膜裝置能夠通過檢測件檢測玻璃基板是否破裂和是否脫落，在玻璃基板脫落前，擋板能夠自動伸出安裝槽外并封堵第二開口，以承接掉落的玻璃基板，從而防止玻璃基板掉落在蒸鍍設(shè)備內(nèi)，無需停機清理玻璃基板，有利于提高生產(chǎn)效率。產(chǎn)效率。產(chǎn)效率。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
掩膜裝置及蒸鍍設(shè)備


[0001]本專利技術(shù)涉及顯示屏加工
，尤其涉及一種掩膜裝置及蒸鍍設(shè)備。

技術(shù)介紹

[0002]在顯示面板的蒸鍍工藝中，需要在玻璃基板上的待蒸鍍區(qū)域蒸鍍一層有機材料，而在非蒸鍍區(qū)域不能沾染有機材料。因此，在蒸鍍過程中通常將玻璃基板放置于掩膜裝置上，掩膜裝置上通過掩膜條劃分出蒸鍍區(qū)域和遮蔽區(qū)域，掩膜裝置上的蒸鍍區(qū)域與玻璃基板上指定的待蒸鍍區(qū)域?qū)φ?，掩膜裝置上的遮蔽區(qū)域與玻璃基板上的非蒸鍍區(qū)域?qū)φ?br/>[0003]參照圖1，蒸鍍設(shè)備包括對位腔室100
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和蒸鍍腔室200
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，玻璃基板300
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先通過粘合膠400
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粘貼在卡盤500
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上，再將玻璃基板300
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輸送到對位腔室100
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內(nèi)，并在對位后放置到掩膜裝置600
′
上，然后通過輸送裝置依次將多個掩膜裝置600
′
輸送至蒸鍍腔室200
′
內(nèi)進行蒸鍍。但在輸送過程中存在粘合膠400
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粘貼不牢固或玻璃基板300
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破損或相鄰兩個掩膜裝置600
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發(fā)生碰撞的情況，會導(dǎo)致玻璃基板300
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從卡盤500
′
上脫落，玻璃基板300
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會在重力的作用下發(fā)生變形和破碎，并從掩膜裝置600
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的蒸鍍區(qū)域掉落到蒸鍍設(shè)備內(nèi)。若玻璃基板300
′r/>掉落在對位腔室100
′
內(nèi)，掉落的玻璃基板300
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會影響后面玻璃基板300
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和掩膜裝置600
′
的對位，若玻璃基板300
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掉落在蒸鍍腔室200
′
內(nèi)，掉落的玻璃基板300
′
會堵在蒸鍍源700
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的噴嘴701
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上，使得后面的玻璃基板300
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蒸鍍不良，因此，需要停機清理玻璃基板300
′
。
[0004]工作人員需要先將對位腔室100
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和蒸鍍腔室200
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從真空環(huán)境切換為大氣環(huán)境，然后再清理玻璃基板300
′
，最后再將對位腔室100
′
和蒸鍍腔室200
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從大氣環(huán)境切換為真空環(huán)境以恢復(fù)生產(chǎn)作業(yè)。但是此操作會延長玻璃基板300
′
的生產(chǎn)時間，降低生產(chǎn)效率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

[0005]本專利技術(shù)的一個目的在于：提供一種掩膜裝置，其能夠有效地減少玻璃基板的清理時間，提高生產(chǎn)效率。
[0006]本專利技術(shù)的另一個目的在于：提供一種蒸鍍設(shè)備，其能夠有效地減少玻璃基板的清理時間，生產(chǎn)效率和生產(chǎn)良率高。
[0007]為達上述目的，本專利技術(shù)采用以下技術(shù)方案：
[0008]第一方面，提供一種掩膜裝置，包括掩膜版、擋板機構(gòu)、檢測件和第一控制器，所述掩膜版貫穿設(shè)置有第一開口，所述第一開口內(nèi)設(shè)置有多個掩膜條，并形成有多個蒸鍍區(qū)域，所述擋板機構(gòu)設(shè)置在所述掩膜版的下表面，所述擋板機構(gòu)包括底座、驅(qū)動件和擋板，所述底座設(shè)置有與所述第一開口連通的第二開口，所述第二開口的側(cè)壁設(shè)置有安裝槽，所述驅(qū)動件和所述擋板均設(shè)置在所述安裝槽內(nèi)，所述驅(qū)動件與所述擋板連接，以使所述擋板能伸出所述安裝槽外并封堵所述第二開口，所述檢測件用于檢測玻璃基板是否出現(xiàn)破裂和是否脫落，所述檢測件和所述驅(qū)動件均與所述第一控制器連接。
[0009]作為掩膜裝置的一種優(yōu)選方案，所述驅(qū)動件和所述擋板通過傳動件連接，所述傳
動件包括相嚙合的齒輪和齒條，所述齒條的長度沿所述擋板的移動方向延伸，所述驅(qū)動件與所述齒輪連接，所述齒條靠近所述第二開口的一端與所述擋板連接。
[0010]作為掩膜裝置的一種優(yōu)選方案，所述安裝槽內(nèi)設(shè)置有第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌的長度沿所述擋板的移動方向延伸，所述齒條滑動設(shè)置在所述第一導(dǎo)軌內(nèi)。
[0011]作為掩膜裝置的一種優(yōu)選方案，所述底座設(shè)置有滑槽，所述滑槽的長度沿所述擋板的移動方向延伸，所述擋板凸出設(shè)置有凸部，所述凸部滑動設(shè)置在所述滑槽內(nèi)。
[0012]作為掩膜裝置的一種優(yōu)選方案，所述底座設(shè)置有第二導(dǎo)軌和滑塊，所述第二導(dǎo)軌的長度沿所述擋板的移動方向延伸，所述滑塊與所述驅(qū)動件連接，以使所述滑塊滑動設(shè)置在所述第二導(dǎo)軌上，所述擋板包括多個活動板，多個所述活動板首尾相連形成可折疊的所述擋板，所述擋板的一端活動設(shè)置在所述安裝槽的槽壁上，另一端與所述滑塊連接，以驅(qū)使所述擋板展開或折疊。
[0013]作為掩膜裝置的一種優(yōu)選方案，所述底座設(shè)置有相對的兩個所述安裝槽，每個所述安裝槽內(nèi)均設(shè)置有一個所述擋板機構(gòu)，兩個所述擋板機構(gòu)中的一個所述擋板設(shè)置有凸起，兩個所述擋板機構(gòu)中的另一個所述擋板設(shè)置有卡槽，所述凸起能插設(shè)在所述卡槽內(nèi)，以使兩個所述擋板拼接并封堵所述第二開口。
[0014]作為掩膜裝置的一種優(yōu)選方案，所述檢測件包括聲波傳感器和紅外傳感器，所述聲波傳感器和所述紅外傳感器均設(shè)置在所述掩膜版上，所述聲波傳感器用于檢測所述玻璃基板是否脫落，所述紅外傳感器用于檢測所述玻璃基板是否破裂。
[0015]第二方面，提供一種蒸鍍設(shè)備，包括對位腔室、蒸鍍腔室、輸送機構(gòu)和以上所述的掩膜裝置，所述輸送機構(gòu)用于將所述掩膜裝置從所述對位腔室輸送至所述蒸鍍腔室。
[0016]作為蒸鍍設(shè)備的一種優(yōu)選方案，還包括第二控制器，所述對位腔室內(nèi)設(shè)置有充電裝置，所述充電裝置位于所述掩膜裝置輸送區(qū)域的下方，所述擋板機構(gòu)的下方設(shè)置有充電接口，所述充電裝置包括本體和升降機構(gòu)，所述第二控制器與所述升降機構(gòu)連接，所述升降機構(gòu)與所述本體連接，以驅(qū)使所述本體與所述充電接口連接。
[0017]作為蒸鍍設(shè)備的一種優(yōu)選方案，所述對位腔室內(nèi)還設(shè)置有對位組件，所述對位組件包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件和所述第二限位件分別設(shè)置在垂直于所述掩膜裝置輸送方向的相對兩側(cè)，所述第一限位件和所述第二限位件能分別抵接在所述掩膜裝置的相對兩側(cè)，以使所述本體與所述充電接口對齊。
[0018]本專利技術(shù)的有益效果為：擋板具有第一位置和第二位置，當擋板位于第一位置，驅(qū)動件驅(qū)使擋板完全縮在安裝槽內(nèi)，能夠避免擋板遮擋到玻璃基板的蒸鍍區(qū)域，以使玻璃基板能夠完成蒸鍍，當檢測件檢測到玻璃基板掉落在掩膜版上，驅(qū)動件能夠自動驅(qū)使擋板位于第二位置，以使擋板伸出安裝槽外，并封堵在第二開口處，使得擋板能夠在玻璃基板脫落前承載掉落的玻璃基板，并能夠直接將掩膜裝置輸送出蒸鍍設(shè)備外，從而防止玻璃基板掉落在蒸鍍設(shè)備的內(nèi)部。
附圖說明
[0019]下面根據(jù)附圖和實施例對本專利技術(shù)作進一步詳細說明。
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的蒸鍍設(shè)備的剖視圖。
[0021]圖2為本專利技術(shù)實施例掩膜裝置的立體視圖。
[0022]圖3為本專利技術(shù)實施例掩膜裝置的剖視立體圖本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】

【技術(shù)特征摘要】
1.一種掩膜裝置，其特征在于，包括：掩膜版，所述掩膜版貫穿設(shè)置有第一開口，所述第一開口內(nèi)設(shè)置有多個掩膜條，并形成有多個蒸鍍區(qū)域；檢測件，所述檢測件用于檢測玻璃基板是否出現(xiàn)破裂和是否脫落；擋板機構(gòu)，所述擋板機構(gòu)設(shè)置在所述掩膜版的下表面，所述擋板機構(gòu)包括底座、驅(qū)動件和擋板，所述底座設(shè)置有與所述第一開口連通的第二開口，所述第二開口的側(cè)壁設(shè)置有安裝槽，所述驅(qū)動件和所述擋板均設(shè)置在所述安裝槽內(nèi)，所述驅(qū)動件與所述擋板連接，以使所述擋板能伸出所述安裝槽外并封堵所述第二開口；第一控制器，所述檢測件和所述驅(qū)動件均與所述第一控制器連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，所述驅(qū)動件和所述擋板通過傳動件連接，所述傳動件包括相嚙合的齒輪和齒條，所述齒條的長度沿所述擋板的移動方向延伸，所述驅(qū)動件與所述齒輪連接，所述齒條靠近所述第二開口的一端與所述擋板連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜裝置，其特征在于，所述安裝槽內(nèi)設(shè)置有第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌的長度沿所述擋板的移動方向延伸，所述齒條滑動設(shè)置在所述第一導(dǎo)軌內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜裝置，其特征在于，所述底座設(shè)置有滑槽，所述滑槽的長度沿所述擋板的移動方向延伸，所述擋板凸出設(shè)置有凸部，所述凸部滑動設(shè)置在所述滑槽內(nèi)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，所述底座設(shè)置有第二導(dǎo)軌和滑塊，所述第二導(dǎo)軌的長度沿所述擋板的移動方向延伸，所述滑塊與所述驅(qū)動件連接，以使所述滑塊滑動設(shè)置在所述第二導(dǎo)軌上，所述擋板包括多個活動板，多個所述活動板首尾相連形成可折疊的所述擋板，所述擋板的一端活動設(shè)置在所述安裝槽的槽壁上，另一...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：許燦宏，
申請(專利權(quán))人：樂金顯示光電科技中國有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：