一種一體支撐掩膜版及精細金屬掩膜版制造技術

本申請公開了一種一體支撐掩膜版及精細金屬掩膜版，包括Frame掩膜版，所述一體支撐掩膜版還包括網格掩膜版，該網格掩膜版由若干橫條和若干豎條縱橫交錯而成，每一橫條與每一豎條上表面在同一水平面，該網格掩膜版連接在Frame掩膜版上。本申請將傳統支撐掩膜版Cover和Howling分開方式進行改善，提升蒸鍍貼合效果。果。果。

【技術實現步驟摘要】
一種一體支撐掩膜版及精細金屬掩膜版


[0001]本申請涉及蒸鍍領域，特別涉及一體支撐掩膜版及精細金屬掩膜版。

技術介紹

[0002]OLED蒸鍍過程中，主要依靠精細金屬掩膜版(FMM)和金屬掩膜版(CMM)將有機材料蒸鍍至蒸鍍Glass基板上，精細金屬掩膜版制作時在焊接支撐掩膜版的Frame掩膜版上將sheet掩膜版焊接，從而減小sheet掩膜版蒸鍍時下垂量。精細金屬掩膜版傳統制作工藝的支撐掩膜版，是由Howling掩膜版和Cover掩膜版分開張網在Frame上制成的，然后將sheet掩膜版焊接在支撐掩膜版上。這樣制成的精細金屬掩膜版蒸鍍時邊緣蒸鍍混色，造成良率損失。

技術實現思路

[0003]基于上述問題，本申請提供一種一體支撐掩膜版，該一體支撐掩膜版將傳統支撐掩膜版Cover和Howling分開方式進行改善，提升蒸鍍貼合效果。
[0004]一種一體支撐掩膜版，包括Frame掩膜版，所述一體支撐掩膜版還包括網格掩膜版，該網格掩膜版由若干橫條和若干豎條縱橫交錯而成，每一橫條與每一豎條上表面在同一水平面，該網格掩膜版連接在Frame掩膜版上。
[0005]可選地，所述連接為激光焊接連接。
[0006]可選地，所述Frame掩膜版和網格掩膜版的材質為Invar36或/和SUS304。
[0007]可選地，所述每一橫條貫穿開設有橫向凹槽，每一豎條貫穿開設有豎向凹槽。
[0008]可選地，所述橫向凹槽的深度<1/2橫條厚度，豎向凹槽的深度<1/2豎條厚度。
[0009]可選地，所述每一豎條貫穿開設有豎向凹槽。
[0010]可選地，所述豎向凹槽的深度<1/2豎條厚度。
[0011]可選地，所述開設為蝕刻。
[0012]本申請還提供一種精細金屬掩膜版。
[0013]一種精細金屬掩膜版，包括支撐掩膜版和sheet掩膜版，sheet掩膜版連接在一體支撐掩膜版上，所述支撐掩膜版為上述的一體支撐掩膜版。
[0014]可選地，所述sheet掩膜版的sheet搭接區域寬度<豎條寬度與豎向凹槽寬度之差的一半。
[0015]專利技術原理及有益效果：
[0016]本申請專利技術人經研究發現，現有工藝制成的精細金屬掩膜版蒸鍍時邊緣蒸鍍混色產生的原因在于：現有工藝制作中，Howling或Cover張網時，先張網的一方，邊緣與sheet掩膜版未緊密貼合(如圖1
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2，圖1
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2中，制作時先在Frame掩膜版上焊接Howling掩膜版1，后焊接Cover掩膜版3，因此sheet掩膜版2和Cover掩膜版3緊密接觸，和Howling掩膜版1中間存在明顯間隙)，因此造成邊緣蒸鍍混色，造成良率損失。
[0017]本技術制作工藝采用一體支撐張網(F
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Mask)，首先將傳統支撐掩膜版Cover
和Howling分開方式進行改善，提升蒸鍍貼合效果。然后改善蒸鍍時精密掩膜版和Glass因貼合不良造成的混色不良，以及因貼合過量造成ESD不良，提升OLED蒸鍍良率。最后還降低了生產成本。
附圖說明
[0018]圖1為本技術背景精細金屬掩膜版結構示意圖；
[0019]圖2為圖1A
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A的斷面圖；
[0020]圖3為本技術實施例1的一體支撐掩膜版的結構示意圖；
[0021]圖4為本技術實施例1采用的Frame掩膜版結構示意圖；
[0022]圖5為本技術實施例1采用的網格掩膜版結構示意圖；
[0023]圖6為本技術實施例2的精細金屬掩膜版結構示意圖；
[0024]圖7為本技術實施例2采用的sheet掩膜版的整體結構示意圖；
[0025]圖8為本技術實施例2采用的sheet掩膜版的局部放大結構示意圖
[0026]圖9為圖6B
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B的斷面圖；
[0027]圖10為本技術實施例3的一體支撐掩膜版的結構示意圖；
[0028]圖11為圖10C
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C斷面圖；
[0029]圖12為本技術實施例5的一體支撐掩膜版的結構示意圖。
具體實施方式
[0030]下面將結合附圖對本申請作進一步說明。
[0031]在本技術的描述中，需要說明的是，術語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎向”、“縱向”、“側向”、“水平”、“內”、“外”、“前”、“后”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，或者是該技術產品使用時慣常擺放的方位或位置關系，僅是為了便于描述本技術和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本技術的限制。此外，術語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于區分描述，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
[0032]在本技術的描述中，還需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“設置”、“開有”、“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本技術中的具體含義。
[0033]實施例1
[0034]請參考圖3
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5，圖3為本技術的一種一體支撐掩膜版的結構示意圖，圖4為本技術的Frame掩膜版結構示意圖，圖5為本技術網格掩膜版結構示意圖。
[0035]一種一體支撐掩膜版，包括Frame掩膜版1和網格掩膜版2，該網格掩膜版2由若干橫條3和若干豎條4縱橫交錯而成，每一橫條3與每一豎條4上表面在同一水平面，網格掩膜版2連接在Frame掩膜版1上。
[0036]本領域技術人員需要理解的是，連接可以為張網連接，也可以采用本領域熟知的方式連接。
[0037]在本技術的一個或多個具體地實施方式中，Frame掩膜版1和網格掩膜版2的材質為Invar36，Invar36熱膨脹系數小，使得蒸鍍過程中細金屬掩膜版變形小。
[0038]在本技術的一個或多個具體地實施方式中，Frame掩膜版1和網格掩膜版2的材質為SUS304，SUS材質不導磁，因此在蒸鍍過程中可以減少細金屬掩膜版wrinkle(皺褶)的產生。
[0039]實施例2
[0040]請參考圖6
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9，圖6為本技術的精細金屬掩膜版結構示意圖，圖7為本技術的sheet掩膜版的整體結構示意圖,圖8為本技術實施例2采用的sheet掩膜版的局部放大結構示意圖，圖9為圖6B
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B的斷面圖。
[0041]一種精細金屬掩膜版，包括一體支撐掩膜版5和sheet掩膜版6，s本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種一體支撐掩膜版，包括Frame掩膜版(1)，其特征在于：所述一體支撐掩膜版還包括網格掩膜版(2)，該網格掩膜版(2)由若干橫條(3)和若干豎條(4)縱橫交錯而成，每一橫條(3)與每一豎條(4)上表面在同一水平面，該網格掩膜版(2)連接在Frame掩膜版(1)上。2.根據權利要求1所述的一種一體支撐掩膜版，其特征在于，所述連接為激光焊接連接。3.根據權利要求1所述的一體支撐掩膜版，其特征在于，所述每一橫條(3)貫穿開設有橫向凹槽(7)，每一豎條(4)貫穿開設有豎向凹槽(8)。4.根據權利要求3所述的一體支撐掩膜版，其特征在于，所述橫向凹槽(7)的深度<1/2橫條(3)厚度，豎向凹槽(8)的深度<1/2豎條(4)厚度。5.根據權利要求1所述的一體支撐掩膜版，其特征在于，每一所述豎條(4)貫穿開設有豎向凹槽(8)。6.根據權利要求5所述的一體支...

【專利技術屬性】
技術研發人員：李哲，周俊吉，鄭慶靚，
申請(專利權)人：成都拓維高科光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：