光刻機高純水恒溫恒壓供水系統技術方案

本實用新型專利技術涉及水處理技術領域，尤其涉及一種光刻機高純水恒溫恒壓供水系統。其包括其包括高純水粗調單元，與所述高純水粗調單元相接通的高純水精調單元且所述高純水粗調單元一端接有進水端，所述高純水精調單元包括增壓泵、減壓恒壓閥、精控溫度系統、以及精細過濾單元，所述精控溫度系統包括分別與出水管接通的氟利昂制冷器和第二加熱器、設置于所述氟利昂制冷器和第二加熱器出液端的溫度傳感器、設置于所述氟利昂制冷器和第二加熱器交匯處的恒溫混水閥、以及用來控制恒溫混水閥進出液比例的PID控制器。本實用新型專利技術的有益之處：控制精度高，溫度恒定范圍在22

【技術實現步驟摘要】
光刻機高純水恒溫恒壓供水系統


[0001]本技術涉及水處理
，尤其涉及一種光刻機高純水恒溫恒壓供水系統。

技術介紹

[0002]半導體高精密裝備尤其是光刻機，除了使用常規的工藝冷卻水(PCW)，還需要使用大量的超純水(UPW)。尤其是在高端的12寸浸沒式光刻機上面，超純水的參數要求更是非常嚴格，可以說它代表了大型半導體代工廠里面對超純水的最高要求。
[0003]目前中小型半導體廠大多使用的是EDI超純水設備，EDI是一種離子、離子膜交換技術、電子遷移技術相結合的超純水制造技術。它巧妙地將電滲析和離子交換技術相結合，利用兩端電極高壓使水中帶電離子移動，并配合離子交換樹脂及選擇性樹脂膜片加速離子移動去除，從而達到去除水中正負離子的目的。
[0004]現有技術中，申請號為：CN202210922128.8，在超純水經過長距離(如大于100米)的管道系統后，超純水的水質指標，會出現流速和壓力變小/溫度波動幅度變大/雜質及氣泡增多等多種問題，使得超純水最終無法滿足遠處設備端的高精密設備的廠務需求，因此需要設計出一種光刻機高純水恒溫恒壓供水系統解決以上問題。

技術實現思路

[0005]本技術的目的是，提供一種光刻機高純水恒溫恒壓供水系統，以克服目前現有技術存在的上述不足。
[0006]為了實現上述目的，本技術采用了如下技術方案：
[0007]一種光刻機高純水恒溫恒壓供水系統，其包括高純水粗調單元，與所述高純水粗調單元相接通的高純水精調單元且所述高純水粗調單元一端接有進水端，所述高純水精調單元包括增壓泵、減壓恒壓閥、精控溫度系統、以及精細過濾單元，其特征在于：所述精控溫度系統包括分別與出水管接通的氟利昂制冷器和第二加熱器、設置于所述氟利昂制冷器和第二加熱器出液端的溫度傳感器、設置于所述氟利昂制冷器和第二加熱器交匯處的恒溫混水閥、以及用來控制恒溫混水閥進出液比例的PID控制器。
[0008]優選的，所述高純水粗調單元包括用來對高純水進行初始熱交換的熱交換器和降溫的工藝冷卻水制冷系統、初級過濾單元、水箱、以及用以將水箱中的水循環輸送至熱交換器和工藝冷卻水制冷系統以及初級過濾單元的循環泵。
[0009]優選的，還包括用于儲存機臺端液體的回收水箱，所述回收水箱通過離心泵接于高純水粗調單元。
[0010]優選的，所述高純水精調單元還包括流量泵以及壓力表。
[0011]本技術的有益效果是：本技術通過氟利昂制冷器和第二加熱器對高純水分別進行精確制冷和制熱，制冷后的水溫保持在21
±
1℃，再通過PID控制器來控制減壓恒壓閥對冷熱水進行比例控制，使得最終得到溫度恒定范圍在22
±
0.1℃的高純水，提高了控制精
度；通過增壓泵和減壓恒壓閥控制高純水的流速和壓力，再通過流量泵以及壓力表分別監測流速和壓力，在進行實時調節，使得水流速度及壓力穩定性達到了預定要求；通過多次、循環過濾，使得水中各項雜質都小于要求的含量要求，大大提高水的純度。
附圖說明
[0012]圖1為本技術一種光刻機高純水恒溫恒壓供水系統的示意圖；
[0013]圖中：1、高純水粗調單元；11、熱交換器；12、工藝冷卻水制冷系統；13、初級過濾單元；14、水箱；15、循環泵；2、高純水精調單元；21、增壓泵；22、減壓恒壓閥；23、精控溫度系統；24、精細過濾單元；231、氟利昂制冷器；232、第二加熱器；233、恒溫混水閥；234、PID控制器；25、流量泵；26、壓力表；3、回收水箱；4、離心泵。
具體實施方式
[0014]下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。
[0015]在本技術的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本技術和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本技術的限制。
[0016]參照圖1，一種光刻機高純水恒溫恒壓供水系統，其包括高純水粗調單元1，與所述高純水粗調單元1相接通的高純水精調單元2，所述高純水粗調單元1一端接進水端，所述高純水粗調單元1用來不斷循環處理將高純水的溫度范圍提升至一定的粗略范圍內，且控制在
±
1℃之內，同時循環用以降低高純水中的電導率/電阻率/雜質含量，所述高純水精調單元進一步控制溫度范圍，且精確控制到
±
0.1℃，同時在進行過濾以充分過濾掉水中的負離子/氮氣/氧氣等雜質。
[0017]所述高純水粗調單元1包括用來對高純水進行初始熱交換的熱交換器11和降溫的工藝冷卻水制冷系統12、初級過濾單元13、用于存放經過處理后的高純水的水箱14、以及在水箱14中的水循環輸送至熱交換器11和工藝冷卻水制冷系統12以及初級過濾單元13的循環泵15。
[0018]還包括用于儲存機臺端回來高純水的回收水箱3，所述回收水箱3通過離心泵4接于高純水粗調單元1，通過離心泵4將回收水箱3中的高純水再次進入高純水粗調單元1，進行多次過濾和調溫，最終滿足品質需求后存儲在水箱14中。
[0019]所述高純水精調單元2包括增壓泵21、減壓恒壓閥22、精控溫度系統23、以及精細過濾單元24，所述精控溫度系統23包括分別與出水管接通的氟利昂制冷器231和第二加熱器232、設置于所述氟利昂制冷器231和第二加熱器232出液端的溫度傳感器、設置于所述氟利昂制冷器231和第二加熱器232交匯處的恒溫混水閥233、以及用來控制恒溫混水閥233進出液比例的PID控制器234；通過增壓泵21和減壓恒壓閥22來控制其流速和壓力，高純水分別通過氟利昂制冷器231和加熱器232，通過氟利昂制冷器231和第二加熱器232對高純水分
別進行精確制冷和制熱，且兩者經過兩者制造后的水溫溫差保持在2
?
5度之間，再通過溫度傳感器來實時監測水溫，并通過PID控制器234來控制恒溫混水閥233對冷熱水進行比例控制，從而最終得到溫度恒定范圍在22
±
0.1℃的高純水。調節好溫度的高純水在經過至少兩組精細過濾單元24再次進行過濾，過濾掉水中的負離子/氮氣/氧氣等雜質，使得高純水中各項雜質都小于需求的含量要求；
[0020]所述高純水精調單元2還包括流量泵25以及壓力表26，分別用來監測流速和壓力，在根據需要調節對應的增壓泵21和減壓恒壓閥22來控制其流速和壓力。
[0021]本實施案例，若需要溫度恒定范圍在22
±
0.1℃的高純水，高純水先進入高純水粗調單元1，通過用本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種光刻機高純水恒溫恒壓供水系統，其包括其包括高純水粗調單元，與所述高純水粗調單元相接通的高純水精調單元且所述高純水粗調單元一端接有進水端，所述高純水精調單元包括增壓泵、減壓恒壓閥、精控溫度系統、以及精細過濾單元，其特征在于：所述精控溫度系統包括分別與出水管接通的氟利昂制冷器和第二加熱器、設置于所述氟利昂制冷器和第二加熱器出液端的溫度傳感器、設置于所述氟利昂制冷器和第二加熱器交匯處的恒溫混水閥、以及用來控制恒溫混水閥進出液比例的PID控制器。2.根據權利要求1所述的一種光刻機高純水恒...

【專利技術屬性】
技術研發人員：劉宏偉，金鋒，陶水缸，
申請(專利權)人：蘇州勵索精密裝備科技有限公司，
類型：新型
國別省市：