【技術實現步驟摘要】
本專利技術具體涉及一種用于真空設備內動態狀況下冷卻的金屬離子注入 設備內動態水冷系統。
技術介紹
現有的金屬離子注入設備工件轉動裝置只能進行公轉和自轉，沒有水 冷卻功能。其缺點是工件在實施離子注入的過程中形成溫升，使輕薄型工件因溫度的升高 而產生形變和降低表面硬度，導致工件精度和機械性能的大幅降低。
技術實現思路
本專利技術的目的是提供一種工件裝卸方便、定位準確靈活、工件不變形、 能提高表面硬度和耐磨度的、具有水冷功能的一種金屬離子注入設備內動態水冷系統。本專利技術的技術方案是一種金屬離子注入設備內動態水冷系統，真空室下端外側 依次設有中心轉軸裝置和側邊驅動裝置，中心轉軸裝置是由軸承支撐的中心轉軸、套裝于 軸上的內套和固定于真空室的外套組成，外套與內套之間設軸承和密封圈；側邊驅動裝置 是由軸承、固定座支撐的側邊驅動軸和軸上端設有的驅動齒輪組成，軸的下端設有碰頭與 固定于真空室上的限位開關相配合；驅動齒輪與支撐架支撐的大齒輪環相嚙合，大齒輪環 圓周上設有多個工件托盤裝置；所述的工件托盤裝置是由固于大齒輪環圓周上的工件托盤 和小傳動齒輪組成，工件托盤上設有的小傳動齒輪與中心軸上端設有中心齒輪相嚙合；其 特征是外套外側設有進、出水口，通過內套的進、出水孔及進出水管與工件托盤內腔體相 連通，又通過串聯水管使多個工件托盤相連通。由于采用上述技術方案，轉動架采用支撐和中心定位裝置，實現上下盤的分離，通 過側邊的驅動使轉動架公轉，依靠定位裝置使工件托盤逐個對準離子注入源，再通過中心 軸的驅動使工件托盤自轉。工件托盤可以逐個定位自轉，在注入的過程中工件托盤內腔持 續有冷卻水...
【技術保護點】
一種金屬離子注入設備內動態水冷系統，真空室（１２）下端外側依次設有中心轉軸裝置和側邊驅動裝置，中心轉軸裝置是由軸承支撐的中心轉軸（１０）、套裝于軸上的內套（１３）和固定于真空室的外套（１４）組成，外套（１４）與內套（１３）之間設軸承和密封圈（１１）；側邊驅動裝置是由軸承、固定座（１５）支撐的側邊驅動軸（４）和軸上端設有的驅動齒輪（１６）組成，軸的下端設有碰頭（１７）與固定于真空室上的限位開關（１８）相配合；驅動齒輪（１６）與支撐架（２）支撐的大齒輪環（１）相嚙合，大齒輪環（１）圓周上設有多個工件托盤裝置；所述的工件托盤裝置是由固于大齒輪環（１）圓周上的工件托盤（３）和小傳動齒輪（６）組成，工件托盤（３）上設有的小傳動齒輪（６）與中心軸上端設有中心齒輪（５）相嚙合；其特征是：外套（１４）外側設有進、出水（１９、２０），通過內套（１３）的進、出水孔及進出水管（７、９）與工件托盤（３）內腔體相連通，又通過串聯水管（８）使多個工件托盤（３）相連通。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：王桂岳，趙松強，欒庚祖，
申請(專利權)人：龍口市比特真空技術有限公司，
類型：發明
國別省市：37[中國|山東]
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