本實用新型專利技術公開了一種晶圓件加工的固定機構,包括工作臺,所述工作臺頂部的兩側均固定連接有側板,側板的一側滑動插接有轉動柱,轉動柱的外壁設有滑孔,滑孔內滑動連接有滑動盤,滑動盤的一側固定連接有多個卡柱,卡柱與側板卡接,所述轉動柱的一端固定連接有安裝座,安裝座的另一端固定連接有弧形卡板,弧形卡板的兩端均轉動連接有卡座,所述側板的一側固定連接有固定架,固定架的一側螺紋插接有螺紋桿,螺紋桿的一端與轉動柱轉動插接,所述螺紋桿的另一端固定連接有轉動把手。本實用新型專利技術在對晶圓件加工完一面后,拉動滑動盤使得卡柱與側板分離,即可將晶圓件進行翻轉,且不需重新進行固定,省時省力。省時省力。省時省力。
【技術實現步驟摘要】
一種晶圓件加工的固定機構
[0001]本技術涉及晶圓件加工
,尤其涉及一種晶圓件加工的固定機構。
技術介紹
[0002]晶圓件是指制作硅半導體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅,圓晶的主要加工方式為片加工和批加工,即同時加工一片或多片圓晶,而晶圓件在加工過程中需要對其進行固定,防止其偏移。
[0003]目前,現有的晶圓件加工的固定機構,大多存在以下的不足:在對晶圓進行打磨時,現有的固定裝置在打磨完一面后需要重新進行固定,且固定效果差,降低了晶圓件的加工效率。
技術實現思路
[0004]本技術的目的是為了解決現有技術中存在的缺點,而提出的一種晶圓件加工的固定機構。
[0005]為了實現上述目的,本技術采用了如下技術方案:
[0006]一種晶圓件加工的固定機構,包括工作臺,所述工作臺頂部的兩側均固定連接有側板,側板的一側滑動插接有轉動柱,轉動柱的外壁設有滑孔,滑孔內滑動連接有滑動盤,滑動盤的一側固定連接有多個卡柱,卡柱與側板卡接,所述轉動柱的一端固定連接有安裝座,安裝座的另一端固定連接有弧形卡板,弧形卡板的兩端均轉動連接有卡座,所述側板的一側固定連接有固定架,固定架的一側螺紋插接有螺紋桿,螺紋桿的一端與轉動柱轉動插接。
[0007]進一步的,所述螺紋桿的另一端固定連接有轉動把手。
[0008]進一步的,所述工作臺的頂部轉動插接有兩個轉動軸,轉動軸的頂端固定連接有頂板。
[0009]進一步的,所述轉動軸的底端固定連接有限位盤,轉動軸的底端套接有彈簧。
[0010]進一步的,所述工作臺底部的兩側均固定連接有安裝板,安裝板的頂部設有兩個安裝孔。
[0011]本技術的有益效果為:
[0012]1、通過卡柱與側板卡接的設置,在對晶圓件加工完一面后,拉動滑動盤使得卡柱與側板分離,即可將晶圓件進行翻轉,且不需重新進行固定,省時省力。
[0013]2、通過螺紋桿轉動帶動轉動柱進行移動,進入使得兩個弧形卡板向中間聚攏,于是將晶圓件夾住,以便后序對晶圓件進行固定,且能夠對不同規格的晶圓件進行固定。
[0014]3、通過轉動軸、頂板、限位盤和彈簧的設置能夠對晶圓件進行支撐,以便更好對晶圓件進行加工,方便快捷。
附圖說明
[0015]圖1為本技術提出的一種晶圓件加工的固定機構的立體結構示意圖;
[0016]圖2為本技術提出的一種晶圓件加工的固定機構的仰視結構示意圖;
[0017]圖3為本技術提出的一種晶圓件加工的固定機構的部分剖視結構示意圖;
[0018]圖4為本技術提出的一種晶圓件加工的固定機構的部分立體結構示意圖。
[0019]圖中:1、工作臺;2、側板;3、轉動柱;4、滑孔;5、安裝座;6、弧形卡板;7、卡座;9、滑動盤;10、螺紋桿;11、固定架;12、轉動把手;13、轉動軸;14、頂板;15、卡柱;16、限位盤;17、彈簧;18、安裝板;19、安裝孔。
具體實施方式
[0020]下面將結合本技術實施例中的附圖,對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例,而不是全部的實施例。
[0021]參照圖1
?
圖4,一種晶圓件加工的固定機構,包括工作臺1,工作臺1頂部的兩側均通過螺栓固定有側板2,側板2的一側滑動插接有轉動柱3,轉動柱3的外壁設有滑孔4,滑孔4內滑動連接有滑動盤9,滑動盤9的一側一體成型有多個卡柱15,卡柱15與側板2卡接,推動滑動盤9使得卡柱15卡在側板2上,從而對轉動柱3進行固定,轉動柱3的一端通過螺栓固定有安裝座5,安裝座5的另一端通過螺栓固定有弧形卡板6,弧形卡板6的兩端均轉動連接有卡座7,側板2的一側通過螺栓固定有固定架11,固定架11的一側螺紋插接有螺紋桿10,螺紋桿10的一端與轉動柱3轉動插接,螺紋桿10進行轉動,從而推動轉動柱3進行移動,進入使得兩個弧形卡板6向中間聚攏,于是將晶圓件夾住。
[0022]螺紋桿10的另一端通過螺栓固定有轉動把手12,從而便于對螺紋桿10的操作,工作臺1的頂部轉動插接有兩個轉動軸13,轉動軸13的頂端通過螺栓固定有頂板14,轉動軸13的底端通過螺栓固定有限位盤16,轉動軸13的底端套接有彈簧17,轉動軸13、頂板14、限位盤16和彈簧17的設計對晶圓件進行支撐,以便更好對晶圓件進行加工,工作臺1底部的兩側均焊接有安裝板18,安裝板18的頂部設有兩個安裝孔19,安裝板18和安裝孔19便于對固定機構進行固定安裝。
[0023]本實施例工作原理:使用時,扳動轉動把手12帶動螺紋桿10進行轉動,從而推動轉動柱3進行移動,進入使得兩個弧形卡板6向中間聚攏,于是將晶圓件夾住,然后,推動滑動盤9使得卡柱15卡在側板2上,從而對轉動柱3進行固定,并使得晶圓件放置在頂板14上,當需要對晶圓件進行翻面時,拉動滑動盤9使得卡柱15與側板2分離,然后,扳動轉動柱3帶動弧形卡板6進行轉動,從而帶動晶圓件進行轉動,進而對晶圓件進行翻轉,再通過卡柱15與側板2卡接,對晶圓件進行固定。
[0024]以上所述,僅為本技術較佳的具體實施方式,但本技術的保護范圍并不局限于此,任何熟悉本
的技術人員在本技術揭露的技術范圍內,根據本技術的技術方案及其技術構思加以等同替換或改變,都應涵蓋在本技術的保護范圍之內。
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【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種晶圓件加工的固定機構,包括工作臺(1),其特征在于,所述工作臺(1)頂部的兩側均固定連接有側板(2),側板(2)的一側滑動插接有轉動柱(3),轉動柱(3)的外壁設有滑孔(4),滑孔(4)內滑動連接有滑動盤(9),滑動盤(9)的一側固定連接有多個卡柱(15),卡柱(15)與側板(2)卡接,所述轉動柱(3)的一端固定連接有安裝座(5),安裝座(5)的另一端固定連接有弧形卡板(6),弧形卡板(6)的兩端均轉動連接有卡座(7),所述側板(2)的一側固定連接有固定架(11),固定架(11)的一側螺紋插接有螺紋桿(10),螺紋桿(10)的一端與轉動柱(3)轉動插接。2.根據權利要求...
【專利技術屬性】
技術研發人員:全宰弘,尹培云,陳欣鑫,
申請(專利權)人:亞新半導體科技無錫有限公司,
類型:新型
國別省市:
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