用于硅片的脫膠架制造技術

本公開涉及一種用于硅片的脫膠架，配置為與脫膠裝置配合連接以進行硅片的脫膠作業，上述脫膠架包括用于支撐硅片的底座、立設在底座上且彼此面對的兩個側板以及設置在兩個側板之間的用于固定硅片的夾緊結構，兩個側板分別設置在底座在長度方向上的兩端，側板包括用于與脫膠裝置配合連接的第一板體和與底座連接的第二板體，其中，至少一個側板中的第一板體可上下翻轉地與第二板體連接。通過上述技術方案，在料車在送取硅片時可以將第二板體翻轉，通過增加脫膠架上方的料車作業空間使得脫膠架能夠適應多種料車送取硅片，降低了生產成本。料車在送取硅片時也能夠更加穩定，避免了硅片磕碰的風險，送取硅片也更加節約時間，提高生產效率。高生產效率。高生產效率。

【技術實現步驟摘要】
用于硅片的脫膠架


[0001]本公開涉及硅片生產領域，具體地，涉及一種用于硅片的脫膠架。

技術介紹

[0002]相關技術中，對硅片進行脫膠作業時，需要用料車將硅片送入至脫膠架，將承載有硅片的脫膠架送入脫膠裝置中進行脫膠工序，待脫膠完成后將脫膠架從脫膠裝置中取出，并用料車將硅片從脫膠架中取出并轉運至下一道工序，在此過程中，不同的脫膠架需要與之對應的料車，極大地增加了生產成本。當料車與脫膠架不能對應時，脫膠架上的部分結構會阻礙料車作業，導致料車在送取硅片時難以穩定，有硅片磕碰的風險，送取硅片的過程也更加耗費時間，降低生產效率。

技術實現思路

[0003]本公開的目的是提供一種用于硅片的脫膠架，以解決相關技術中對硅片進行脫膠作業時每一種脫膠架都需要對應形狀的料車而增加生產成本的問題。
[0004]為了實現上述目的，本公開提供一種用于硅片的脫膠架，配置為與脫膠裝置配合連接以進行硅片的脫膠作業，所述脫膠架包括用于支撐硅片的底座、立設在所述底座上且彼此面對的兩個側板以及設置在兩個所述側板之間的用于固定硅片的夾緊結構，兩個所述側板分別設置在所述底座在長度方向上的兩端，所述側板包括用于與脫膠裝置配合連接的第一板體和與所述底座連接的第二板體，其中，至少一個所述側板中的所述第一板體被配置為可相對于所述第二板體上下翻轉地與所述第二板體連接。
[0005]可選地，所述第一板體的在所述底座的寬度方向上的兩個端面分別設置有用于與脫膠裝置配合連接的第三板體，所述第三板體垂直于所述第一板體，所述第三板體可轉動地與所述第二板體連接以實現所述第一板體可上下翻轉地與所述第二板體連接。
[0006]可選地，所述第二板體在所述底座的寬度方向上的兩個端面上分別設置有第一固定軸，所述第三板體上開設有安裝孔，所述第一固定軸可自轉地插入在所述安裝孔內。
[0007]可選地，所述第二板體包括設置在所述第一固定軸的下方的固定塊，所述第三板體的下端開設有開口朝下的第一缺口，所述安裝孔為腰型孔，所述固定塊可滑動地設置在所述第一缺口內以固定未翻轉時的所述第一板體。
[0008]可選地，所述第三板體上設置有可轉動的第一掛鉤，所述第一掛鉤上開設有能夠與所述第一固定軸過盈配合的第二缺口和能夠與所述固定塊過盈配合的第三缺口。
[0009]可選地，所述第一板體和所述第二板體之間通過合頁連接，所述第一板體的在所述底座的寬度方向上的兩個端面分別設置有用于與脫膠裝置配合連接的第三板體，所述第三板體垂直于所述第一板體。
[0010]可選地，所述脫膠架還包括方管，所述方管沿所述底座的長度方向延伸且兩端分別與所述第二板體連接，所述第三板體上設置有第二掛鉤，所述方管上設置有第二固定軸，所述第二掛鉤能夠與所述第二固定軸配合以固定未翻轉時的所述第一板體。
[0011]可選地，所述脫膠架還包括方管，所述方管沿所述底座的長度方向延伸且兩端分別與所述第二板體連接，所述方管上還設置有限位橫梁，所述限位橫梁沿所述底座的寬度方向延伸設置并且端部設置在所述方管上，其中，所述限位橫梁朝向硅片的端面形成有向下傾斜的斜坡面，用于在硅片安裝時導向。
[0012]可選地，所述限位橫梁的上端面上還設置有從所述限位橫梁的上端面向上凸出的限位凸塊，所述限位凸塊用于將錯位安裝的硅片的一側頂起。可選地，所述夾緊結構包括多個沿所述底座的長度方向延伸的夾緊桿，所述夾緊桿的兩端分別設置在所述第二板體上，所述夾緊桿被配置為能夠沿所述底座的寬度方向改變安裝位置。
[0013]可選地，所述第二板體上開設有用于安裝所述夾緊桿的多個第一異形孔，所述第一異形孔包括第一拆裝孔、多個第一定位孔以及用于連通所述第一拆裝孔和各個所述第一定位孔的第一通道，所述第一拆裝孔與所述夾緊桿間隙配合，所述第一定位孔與所述夾緊桿過渡配合。
[0014]可選地，所述底座包括多個沿所述底座的長度方向延伸的支撐桿，所述支撐桿的兩端分別設置在所述第二板體上，所述支撐桿被配置為能夠沿所述底座的寬度方向改變安裝位置。
[0015]可選地，所述第二板體上開設有用于安裝所述支撐桿的多個第二異形孔，所述第二異形孔包括第二拆裝孔、多個第二定位孔以及用于連通所述第二拆裝孔和各個所述第二定位孔的第二通道，所述第二拆裝孔與所述支撐桿間隙配合，所述第二定位孔與所述支撐桿過渡配合。
[0016]可選地，所述底座還包括兩個第一底桿和兩個第二底桿，所述第一底桿的延伸方向與所述支撐桿垂直并且設置在所述支撐桿下方，所述第二底桿沿所述底座的長度方向延伸且兩端分別設置在所述側板上，所述第一底桿的端部分別與所述第二底桿連接。
[0017]通過上述技術方案，在料車在送取硅片時，可以將脫膠架上的第二板體翻轉，通過增加脫膠架上方的料車作業空間使得脫膠架能夠適應多種料車送取硅片，降低了生產成本。同時翻轉后的第二板體不會阻礙料車的作業，使得料車在送取硅片時能夠更加穩定，避免了硅片在送取過程中磕碰的風險，送取硅片的過程也更加節約時間，提高生產效率。
[0018]本公開的其他特征和優點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。
附圖說明
[0019]附圖是用來提供對本公開的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本公開，但并不構成對本公開的限制。在附圖中：
[0020]圖1和圖2是本公開示例性實施方式提供的用于硅片的脫膠架的結構示意圖；
[0021]圖3是圖1和圖2中所示出的用于硅片的脫膠架的側視圖；
[0022]圖4是圖2中A部分的放大圖；
[0023]圖5是圖2中B部分的放大圖；
[0024]圖6是本公開另一種示例性實施方式提供的用于硅片的脫膠架的結構示意圖。
[0025]附圖標記說明
[0026]1?
底座，11
?
支撐桿，12
?
第二異形孔，121
?
第二拆裝孔，122
?
第二定位孔，123
?
第二通道，13
?
第一底桿，14
?
第二底桿，2
?
側板，21
?
第一板體，22
?
第二板體，221
?
第一固定軸，
222
?
固定塊，23
?
合頁，24
?
第三板體，241
?
安裝孔，242
?
第一缺口，25
?
第一掛鉤，251
?
第二缺口，252
?
第三缺口，26
?
第二掛鉤，3
?
夾緊結構，31
?
夾緊桿，32
?
第一異形孔，321
?
第一拆裝孔，322
?
第一定位孔，323
?
第一通道，4
?
方管，41
?
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【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種用于硅片的脫膠架，配置為與脫膠裝置配合連接以進行硅片的脫膠作業，其特征在于，所述脫膠架包括用于支撐硅片的底座(1)、立設在所述底座(1)上且彼此面對的兩個側板(2)以及設置在兩個所述側板(2)之間的用于固定硅片的夾緊結構(3)，兩個所述側板(2)分別設置在所述底座(1)在長度方向上的兩端，所述側板(2)包括用于與脫膠裝置配合連接的第一板體(21)和與所述底座(1)連接的第二板體(22)，其中，至少一個所述側板(2)中的所述第一板體(21)被配置為可相對于所述第二板體(22)上下翻轉地與所述第二板體(22)連接。2.根據權利要求1所述的用于硅片的脫膠架，其特征在于，所述第一板體(21)的在所述底座(1)的寬度方向上的兩個端面分別設置有用于與脫膠裝置配合連接的第三板體(24)，所述第三板體(24)垂直于所述第一板體(21)，所述第三板體(24)可轉動地與所述第二板體(22)連接，所述第一板體(21)通過所述第三板體(24)相對于所述第二板體(22)上下翻轉。3.根據權利要求2所述的用于硅片的脫膠架，其特征在于，所述第二板體(22)在所述底座(1)的寬度方向上的兩個端面上分別設置有第一固定軸(221)，所述第三板體(24)上開設有安裝孔(241)，所述第一固定軸(221)可自轉地插入在所述安裝孔(241)內。4.根據權利要求3所述的用于硅片的脫膠架，其特征在于，所述第二板體(22)包括設置在所述第一固定軸(221)的下方的固定塊(222)，所述第三板體(24)的下端開設有開口朝下的第一缺口(242)，所述安裝孔(241)為腰型孔，所述固定塊(222)可滑動地設置在所述第一缺口(242)內以固定未翻轉時的所述第一板體(21)。5.根據權利要求4所述的用于硅片的脫膠架，其特征在于，所述第三板體(24)上設置有可轉動的第一掛鉤(25)，所述第一掛鉤(25)上開設有能夠與所述第一固定軸(221)過盈配合的第二缺口(251)和能夠與所述固定塊(222)過盈配合的第三缺口(252)。6.根據權利要求1所述的用于硅片的脫膠架，其特征在于，所述第一板體(21)和所述第二板體(22)之間通過合頁(23)連接，所述第一板體(21)的在所述底座(1)的寬度方向上的兩個端面分別設置有用于與脫膠裝置配合連接的第三板體(24)，所述第三板體(24)垂直于所述第一板體(21)。7.根據權利要求6所述的用于硅片的脫膠架，其特征在于，所述脫膠架還包括方管(4)，所述方管(4)沿所述底座(1)的長度方向延伸且兩端分別與所述第二板體(22)連接，所述第三板體(24)上設置有第二掛鉤(26)，所述方管(4)上設置有第二固定軸(41)，所述第二掛鉤(26)能夠與所述第二固定軸(41)配合以固定未...

【專利技術屬性】
技術研發人員：賈勇杰，毛劍波，迪大明，成路，馮亞波，馮少輝，楊浩，
申請(專利權)人：隆基綠能科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：