非金屬回轉環裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術涉及半導體濕制程設備技術領域，特別是一種非金屬回轉環裝置，包括由非金屬材料制成的第一回轉體、第二回轉體和第三回轉體；所述第一回轉體的內側帶有階梯孔，第一回轉體的外圈帶有凸臺結構，第三回轉體套在凸臺結構上，所述第二回轉體的外圈帶有階梯臺，階梯臺與階梯孔通過螺紋連接和螺紋防松結構將第一回轉體和第二回轉體固定在一起。本實用新型專利技術采用回轉體結構，可實現既能固定安裝某一基面，又可以與其它提供旋轉動力源的防護結構通過螺紋連接+在連接面設置靜密封密封件等形式組合使用，從而實現旋轉運動防護。從而實現旋轉運動防護。從而實現旋轉運動防護。

【技術實現步驟摘要】
非金屬回轉環裝置


[0001]本技術涉及半導體濕制程設備
，特別是一種非金屬回轉環裝置。

技術介紹

[0002]在當今半導體濕制程工藝設備中，工藝噴淋運動機構常常需要防護裝置。由于工藝噴淋運動機構常常做旋轉與升降組合運動，因此對防護裝置而言常常需要考慮兼容兩種運動方式。
[0003]現有技術普遍為采用套筒交叉往復運動和動密封圈形式(用于旋轉時起到密封功能)；上述裝置容易因密封圈與安裝槽不匹配或套筒交叉時未能時刻保持同心，造成整個防護裝置卡頓。

技術實現思路

[0004]本技術為了有效的解決上述
技術介紹
中的問題，提出了一種非金屬回轉環裝置。
[0005]具體技術方案如下：
[0006]一種非金屬回轉環裝置，包括由非金屬材料制成的第一回轉體、第二回轉體和第三回轉體；所述第一回轉體的內側帶有階梯孔，第一回轉體的外圈帶有凸臺結構，第三回轉體套在凸臺結構上，所述第二回轉體的外圈帶有階梯臺，階梯臺與階梯孔通過螺紋連接和螺紋防松結構將第一回轉體和第二回轉體固定在一起。
[0007]優選地，所述第二回轉體的最外圈直徑大于凸臺結構的外徑，將第三回轉體擋在第一回轉體和第二回轉體之間。
[0008]優選地，所述第一回轉體的環周均布有圓槽，與圓槽對應的第三回轉體上設有通孔。
[0009]與現有技術相比，本技術的有益效果是：本技術采用回轉體結構，可實現既能固定安裝某一基面，又可以與其它提供旋轉動力源的防護結構通過螺紋連接+在連接面設置靜密封密封件等形式組合使用，從而實現旋轉運動防護。
附圖說明
[0010]圖1是本技術的主視圖；
[0011]圖2是圖1中A
?
A處的剖視圖；
[0012]圖3是圖2中B向的示意圖。
具體實施方式
[0013]為了便于描述，在這里可以使用空間相對術語，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用來描述如在圖中所示的一個器件或特征與其他器件或特征的空間位置關系。應當理解的是，空間相對術語旨在包含除了器件在圖中所描述的方位
之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附圖中的器件被倒置，則描述為“在其他器件或構造上方”或“在其他器件或構造之上”的器件之后將被定位為“在其他器件或構造下方”或“在其他器件或構造之下”。因而，示例性術語“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”兩種方位。該器件也可以其他不同方式定位旋轉90度或處于其他方位，并且對這里所使用的空間相對描述作出相應解釋。
[0014]下面結合附圖及較佳實施例詳細說明本技術的具體實施方式。
[0015]如圖1
?
3所示，一種非金屬回轉環裝置，包括由非金屬材料制成的第一回轉體1、第二回轉體2和第三回轉體3；所述第一回轉體的內側帶有階梯孔4，第一回轉體的外圈帶有凸臺結構5，第三回轉體套在凸臺結構上，所述第二回轉體的外圈帶有階梯臺6，階梯臺與階梯孔通過螺紋連接和螺紋防松結構將第一回轉體和第二回轉體固定在一起。第一回轉體1可與驅動動力源相連接，從而實現旋轉；第三回轉體3用于于與固定基座安裝使用。
[0016]所述第二回轉體的最外圈直徑大于凸臺結構的外徑，將第三回轉體擋在第一回轉體和第二回轉體之間。
[0017]所述第一回轉體的環周均布有半圓槽7，與半圓槽對應的第三回轉體上設有通孔8。第一回轉體1上的圓槽用于穿過第三回轉體3與基座或底座固定的緊固件(螺釘、螺栓)使用；第三回轉體3內設沉頭孔用于與基座或底座固定使用；第一回轉體1圓槽大小與第三回轉體3沉頭孔最大直徑一致。
[0018]原理介紹：
[0019]第一回轉體1與第二回轉體2通過螺紋連接+螺紋防松結構組成一體；第三回轉體3與第一回轉體1及第二回轉體2無任何連接且位于二者之間，但是三者保持同心關系；使用時僅通過第三回轉體3與某一基座或底座安裝使用；在第三回轉體3與基座或底座安裝面壓緊密封件實現端面密封；同樣第一回轉體1端面也可設置螺紋孔與密封件即可與旋轉動力輸入源連接時實現旋轉運動+端面密封。
[0020]以上所述僅是本技術的優選實施方式，應當指出，對于本
的普通技術人員來說，在不脫離本技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本技術的保護范圍。
本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種非金屬回轉環裝置，其特征在于：包括由非金屬材料制成的第一回轉體、第二回轉體和第三回轉體；所述第一回轉體的內側帶有階梯孔，第一回轉體的外圈帶有凸臺結構，第三回轉體套在凸臺結構上，所述第二回轉體的外圈帶有階梯臺，階梯臺與階梯孔通過螺紋連接和螺紋防松結構將第一回轉體和第二回轉體固定在...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王淑梅，劉翠，蔣嘉，
申請(專利權)人：盛華基材天津科技有限公司，
類型：新型
國別省市：