一種多尺寸的晶圓預對準定心裝置，包括轉盤、基板、晶圓固定座以及夾持機構，基板通過連接軸轉動連接在轉盤上方，夾持機構包括多個沿基板周向設置的夾持機構，晶圓固定座設置在多個夾持機構的中心處，每一個夾持結構均包括用于夾持晶圓的第一夾持板和第二夾持板，第一夾持板通過彈簧桿轉動連接在第二夾持板上，第一夾持板的內測設有第一弧形槽，夾持機構下方還固定有支撐桿，基板上設有通槽，轉盤上設有與通槽對應的弧形槽，支撐桿的一端穿過通槽并延伸至所述弧形槽內，基板上還設有用于限制支撐桿向基板外沿運動的壓力彈簧，本發明專利技術通過設置第一夾持板和第二夾持板可以實現兩種不同尺寸晶圓的預對準定心，提高設備利用率，節省成本，實用性強。實用性強。實用性強。
【技術實現步驟摘要】
一種多尺寸的晶圓預對準定心裝置
[0001]本專利技術涉及晶片生產領域，特別是一種多尺寸的晶圓預對準定心裝置。
技術介紹
[0002]半導體產業是伴隨著上一輪計算機與互聯網技術革命迅速發展起來的,芯片作為計算機的核心部件,占整個計算機成本的絕大部分。近年來,中國的芯片產業發展的非?？?但國內集成電路芯片制造技術水平與世界先進水平相差巨大，仍處于起步階段。光刻是半導體加工工藝中的“核心工藝”，對于光刻技術而言,光刻機是最核心、最關鍵的設備,它的性能直接決定了集成電路產業的發展。光刻機作為微電子裝備中系統最復雜、技術難度最大、單臺價值最高、國外限制最嚴格的關鍵設備,是制約我國半導體產業發展的重要因素。當前光刻機預對準單元只適用于單一尺寸的晶圓，因此若需加工其它尺寸的晶圓，就需要更換光刻機中的預對準單元，耗費人力物力。
技術實現思路
[0003]本專利技術的目的在于克服現有技術的不足，提供一種多尺寸的晶圓預對準定心裝置，可達到無需更換裝置，對不同尺寸晶圓進行預對準定心的目的。
[0004]本專利技術的目的是通過以下技術方案來實現的：
[0005]一種多尺寸的晶圓預對準定心裝置，包括轉盤、基板、晶圓固定座以及夾持機構，所述基板通過連接軸轉動連接在所述轉盤上方，所述夾持機構包括多個沿基板周向設置的夾持機構，所述晶圓固定座設置在多個夾持機構的中心處，每一個夾持結構均包括用于夾持晶圓的第一夾持板和第二夾持板，所述第一夾持板通過彈簧桿轉動連接在第二夾持板上，第一夾持板的內測設有第一弧形槽，第二夾持板的內測設有第二弧形槽，夾持機構下方還固定有支撐桿，基板上設有通槽，轉盤上設有與所述通槽對應的弧形槽，所述支撐桿的一端穿過通槽并延伸至所述弧形槽內，基板上還設有用于限制支撐桿向基板外沿運動的壓力彈簧。
[0006]上述
技術實現思路
中，進一步的，所述連接軸上方設有電動伸縮桿，晶圓固定座固定在所述電動伸縮桿的伸縮端，晶圓固定座上還設有真空吸盤。
[0007]上述
技術實現思路
中，進一步的，所述第一夾持板的外側還設有與所述第二弧形槽配合的弧形面，所述弧形面在彈簧桿的作用下抵接在第二弧形槽內。
[0008]上述
技術實現思路
中，進一步的，所述第一夾持板的下方設有與第一夾持板一體成型的第一固定板，所述第二夾持板的下方設有雨第二夾持板一體成型的第二固定板，彈簧桿轉動連接在所述第一固定板和第二固定板之間。
[0009]上述
技術實現思路
中，進一步的，所述第一夾持板和第一固定板的連接處有與第二夾持板下表面配合的定位平臺。
[0010]上述
技術實現思路
中，進一步的，所述第一固定板和第二固定板上均設有安裝板，所述彈簧桿包括導向桿、滑桿以及伸縮彈簧，所述滑桿套設在導向桿內并可沿導向桿的長度方
向滑動，所述伸縮彈簧套設在導向桿的外壁上，且伸縮彈簧的兩端分別固定在導向桿和滑桿上，導向桿和滑桿穿過安裝板分別與第一固定板和第二固定板之間轉動連接。
[0011]上述
技術實現思路
中，進一步的，所述導向桿和第二固定板之間、所述滑桿和第一固定板之間均通過球頭和球碗配合的方式轉動連接。
[0012]上述
技術實現思路
中，進一步的，所述第一固定板和第二固定板上的安裝板之間設有彈性簧片。
[0013]上述
技術實現思路
中，進一步的，所述基板上還設有用于檢測外圍上片機構動作的傳感器。
[0014]上述
技術實現思路
中，進一步的，所述支撐桿延伸至弧形槽一端的端部上設有滾輪，支撐桿通過所述滾輪與弧形槽之間滑動連接。
[0015]本專利技術的有益效果是：
[0016]本專利技術通過設置第一夾持板和第二夾持板可以實現兩種不同尺寸晶圓的預對準定心，提高設備利用率，節省成本，實用性強，達到無需更換裝置，對不同尺寸晶圓進行預對準定心的目的。
附圖說明
[0017]圖1為本專利技術的結構示意圖；
[0018]圖2為本轉盤結構示意圖；
[0019]圖3為本專利技術正視圖；
[0020]圖4為本專利技術彈簧桿結構示意圖；
[0021]圖5為本專利技術夾持結構的一種工作結構示意圖；
[0022]圖6為本專利技術夾持結構另一種工作結構示意圖；
[0023]圖7為本專利技術支撐桿結構示意圖。
[0024]圖中，1
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轉盤，2
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基板，3
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晶圓固定座，4
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夾持機構，5
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連接軸，6
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彈簧桿，7
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支撐桿，8
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壓力彈簧，9
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電動伸縮桿，10
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傳感器，11
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滾輪，1.1
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弧形槽，2.1
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通槽，4.1
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第一夾持板，4.2
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第二夾持板，4.3
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第一弧形槽4.4
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第二弧形槽，4.5
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弧形面，4.6
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第一固定板，4.7
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第二固定板，4.8
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定位平臺，4.9
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安裝板，4.10
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彈性簧片，6.1
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導向桿，6.2
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滑桿，6.3
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伸縮彈簧。
具體實施方式
[0025]以下通過特定的具體實例說明本專利技術的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本專利技術的其他優點與功效。本專利技術還可以通過另外不同的具體實施方式加以實施或應用，本說明書中的各項細節也可以基于不同觀點與應用，在沒有背離本專利技術的精神下進行各種修飾或改變。需說明的是，在不沖突的情況下，以下實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0026]需要說明的是，以下實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本專利技術的基本構想，遂圖式中僅顯示與本專利技術中有關的組件而非按照實際實施時的組件數目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態、數量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態也可能更為復雜。
[0027]實施例：
[0028]一種多尺寸的晶圓預對準定心裝置，請參閱附圖1
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附圖7所示，包括轉盤1、基板2、晶圓固定座3以及夾持機構4，基板2通過連接軸5轉動連接在所述轉盤1上方，夾持機構4包括多個沿基板2周向設置的夾持機構4，晶圓固定座3設置在多個夾持機構4的中心處，連接軸5上方設有電動伸縮桿9，晶圓固定座3固定在所述電動伸縮桿9的伸縮端，晶圓固定座3上還設有真空吸盤，每一個夾持結構均包括用于夾持晶圓的第一夾持板4.1和第二夾持板4.2，第一夾持板4.1通過彈簧桿6轉動連接在第二夾持板4.2上，第一夾持板4.1的內測設有第一弧形槽4.3，第二夾持板4.2的內測設有第二弧形槽4.4，第一夾持板4.1的外側還設有與第二弧形槽4.4配合的弧形面4.5，弧形面4.5在彈簧桿6的作用下抵接在第二弧形槽4.4內，持機構4下方還固定有支撐桿7，基板2上設有通槽2.1，本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種多尺寸的晶圓預對準定心裝置，其特征在于，包括轉盤、基板、晶圓固定座以及夾持機構，所述基板通過連接軸轉動連接在所述轉盤上方，所述夾持機構包括多個沿基板周向設置的夾持機構，所述晶圓固定座設置在多個夾持機構的中心處，每一個夾持結構均包括用于夾持晶圓的第一夾持板和第二夾持板，所述第一夾持板通過彈簧桿轉動連接在第二夾持板上，第一夾持板的內測設有第一弧形槽，第二夾持板的內測設有第二弧形槽，夾持機構下方還固定有支撐桿，基板上設有通槽，轉盤上設有與所述通槽對應的弧形槽，所述支撐桿的一端穿過通槽并延伸至所述弧形槽內，基板上還設有用于限制支撐桿向基板外沿運動的壓力彈簧。2.根據權利要求1所述的一種多尺寸的晶圓預對準定心裝置，其特征在于，所述連接軸上方設有電動伸縮桿，晶圓固定座固定在所述電動伸縮桿的伸縮端，晶圓固定座上還設有真空吸盤。3.根據權利要求1所述的一種多尺寸的晶圓預對準定心裝置，其特征在于，所述第一夾持板的外側還設有與所述第二弧形槽配合的弧形面，所述弧形面在彈簧桿的作用下抵接在第二弧形槽內。4.根據權利要求1所述的一種多尺寸的晶圓預對準定心裝置，其特征在于，所述第一夾持板的下方設有與第一夾持板一體成型的第一固定板，所述第二夾持板的下方設有雨第二夾持板一體成型的第二固定板，彈...
【專利技術屬性】
技術研發人員：焦培俊，馬很很，郎小虎，姜晨，周勇宇，
申請(專利權)人：上海微高精密機械工程有限公司，
類型：發明
國別省市：
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