本實用新型專利技術公開了一種晶圓盒夾持裝置，包括夾具本體，夾具本體包括支撐板，支撐板上設有前端開口并用于讓位晶圓盒的連接塊的讓位槽；讓位槽的兩側和后側分別設有導向塊，導向塊面向讓位槽的內側面包括位于上部的導向面和位于下部的定位面；導向塊的導向面之間形成用于容納晶圓盒的裝夾板的上部容納區，導向塊的定位面之間形成用于定位晶圓盒的裝夾板的下部定位區；導向面用于導向裝夾板從上部容納區進入下部定位區，下部定位區內設有與設置在裝夾板上的定位槽配合的定位柱。本實用新型專利技術還公開了一種晶圓盒搬運復合機器人。本實用新型專利技術的晶圓盒夾持裝置和晶圓盒搬運復合機器人，不僅能夠滿足晶圓盒的轉運要求，而且具有可靠性高和使用壽命長的優點。高和使用壽命長的優點。高和使用壽命長的優點。
【技術實現步驟摘要】
晶圓盒夾持裝置和晶圓盒搬運復合機器人
[0001]本技術涉及一種機械夾具，具體的為一種晶圓盒夾持裝置和晶圓盒搬運復合機器人。
技術介紹
[0002]晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。為了確保晶圓的安全儲存、運輸、搬運，廣泛運用晶圓盒作為晶圓的承載工具。如圖1所示，晶圓盒包括盒體1，盒體1的上方設有裝夾板2，裝夾板2與盒體1之間通過連接塊3相連。具體的，裝夾板2的四周側面上設有若干定位槽4。現有技術中，大都采用人工的方式轉運晶圓盒，存在效率低下的問題。公開號為CN216784953U的中國專利公開了一種晶圓儲存盒專用轉運夾爪，其工作原理為：在晶圓儲存盒專用轉運夾爪的U形爪叉內設置導軌，在導軌內設置定位柱；夾取晶圓儲存盒時，首先通過檢測探頭檢測待夾取位置有無放置產品，檢測完成后，U形爪叉向裝夾板位置處移動，裝夾板通過導軌移動至U形爪叉的底部后，定位柱與定位槽配合進行限位固定；當將晶圓儲存盒放置在指定位置后，U形爪叉沿著導軌抽出即可。
[0003]該晶圓儲存盒專用轉運夾爪雖然在一定程度上能夠滿足晶圓儲存盒的轉運要求，但仍存在以下不足。具體的，U形爪叉上設有相對的兩條導軌，兩條導軌相向的一側分別設有定位柱，如此，在設有定位柱區域，U形爪叉的寬度較窄。在晶圓儲存盒的裝夾板進出U形爪叉的過程中，當定位柱未進入到定位槽內時，定位柱與裝夾板的側壁之間存在較大的作用力，該作用力使U形爪叉脹開以使裝夾板能夠進入到U形爪叉內。由于該作用力的存在，在長時間使用后，一方面會導致裝夾板和定位柱均產生移動的磨損，另一方面，隨著U形爪叉脹形變形的次數增加，U形爪叉的內應力逐漸增大。在內應力的作用下會導致U形爪叉變形，特別的，會導致U形爪叉在設有定位柱的位置區域向外擴張并增大寬度，由于寬度的增大，導致定位柱與定位槽之間可能無法實現限位配合，即該晶圓儲存盒專用轉運夾爪在長時間使用后存在失效的可能，使用壽命較低，可靠性較差。
技術實現思路
[0004]有鑒于此，本技術的目的在于提供一種晶圓盒夾持裝置和晶圓盒搬運復合機器人，不僅能夠滿足晶圓盒的轉運要求，而且具有可靠性高和使用壽命長的優點。
[0005]為達到上述目的，本技術提供如下技術方案：
[0006]本技術首先提出了一種晶圓盒夾持裝置，包括夾具本體，所述夾具本體包括支撐板，所述支撐板上設有前端開口并用于讓位所述晶圓盒的連接塊的讓位槽；
[0007]所述讓位槽的兩側和后側分別設有導向塊，所述導向塊面向所述讓位槽的內側面包括位于上部的導向面和位于下部的定位面；所述導向塊的導向面之間形成用于容納所述晶圓盒的裝夾板的上部容納區，所述導向塊的定位面之間形成用于定位所述晶圓盒的裝夾板的下部定位區；所述導向面用于導向所述裝夾板從所述上部容納區進入所述下部定位區，所述下部定位區內設有與設置在所述裝夾板上的定位槽配合的定位柱。
[0008]進一步，還包括第一傳感器，所述第一傳感器的檢測方向朝向所述夾具本體的前方。
[0009]進一步，還包括第二傳感器和第三傳感器，所述第二傳感器用于檢測所述裝夾板是否進入所述上部容納區內，所述第三傳感器用于檢測所述裝夾板是否進入所述下部定位區內。
[0010]進一步，還包括用于定位的相機。
[0011]進一步，所述定位柱安裝在所述支撐板上，且所述定位柱與所述定位槽一一對應設置。
[0012]進一步，所述支撐板上設有分別位于所述讓位槽兩側的側壁，所述側壁位于對應的所述導向塊背向所述讓位槽的一側。
[0013]進一步，所述側壁上安裝有位于對應的所述導向塊上方的防脫板。
[0014]進一步，還包括防碰撞機構，所述防碰撞機構包括位于所述夾具本體前方的防撞板，兩個所述側壁上分別安裝有滑軌，所述防撞板的兩端分別與兩個所述滑軌滑動配合，所述夾具本體與所述防撞板之間設有用于向所述防撞板施加向前的彈力作用的彈簧柱塞；所述支撐板上設有用于與所述防撞板配合的微動開關。
[0015]進一步，所述滑軌設置在所述側壁的外側面上，所述防撞板的兩端分別設有與所述側壁平行的導向板，所述導向板上安裝有與所述滑軌滑動配合的滑塊。
[0016]本技術還提出了一種晶圓盒搬運復合機器人，包括行走機構，所述行走機構上安裝有機械臂，所述機械臂的末端安裝有如上所述的晶圓盒夾持裝置；所述夾具本體上安裝有機械臂法蘭，所述夾具本體通過所述機械臂法蘭安裝在所述機械臂的末端。
[0017]本技術的有益效果在于：
[0018]本技術的晶圓盒夾持裝置，通過在支撐板上設置讓位槽，如此，可以使晶圓盒的連接塊通過夾具本體的前端進入到讓位槽內，從而使晶圓盒的裝夾板進入到導向塊之間；通過在導向塊上設置導向面和定位面，可將導向塊圍成的裝夾區域分隔為兩部分，一部分為與導向面對應的上部容納區，一部分為與定位面對應的下部定位區；具體的，在夾持晶圓盒時，驅動夾具本體相對于晶圓盒向前移動，讓位槽的前端開口對準晶圓盒的連接塊，使連接塊進入到讓位槽內，此時的裝夾板位于上部容納區；而后驅動夾具本體相對于晶圓盒向上移動，使裝夾板從上部容納區進入到下部定位區，此時，定位柱嵌入到對應的定位槽內，實現對裝夾板的定位裝夾；當晶圓盒被轉運到設定位置后需要放下時，驅動夾具本體相對于晶圓盒向下移動，使裝夾板從下部定位區進入到上部容納區，而后驅動夾具本體相對于晶圓盒向后移動，使裝夾板完全與所述夾具本體脫離；綜上，本技術的晶圓盒夾持裝置能夠滿足晶圓盒的轉運要求，并且在裝夾和放下晶圓盒的過程中，不會與晶圓盒之間產生摩擦，夾具本體也不會產生任何形變，具有可靠性高和使用壽命長的優點。
附圖說明
[0019]為了使本技術的目的、技術方案和有益效果更加清楚，本技術提供如下附圖進行說明：
[0020]圖1為現有的一種晶圓盒的結構示意圖；
[0021]圖2為本技術晶圓盒夾持裝置實施例的結構示意圖；
[0022]圖3為圖2的后視圖；
[0023]圖4為裝夾板位于上部容納區時的狀體圖；
[0024]圖5為裝夾板位于下部定位區時的狀體圖。
[0025]附圖標記說明：
[0026]1?
盒體；2
?
裝夾板；3
?
連接塊；4
?
定位槽；
[0027]10
?
夾具本體；11
?
支撐板；12
?
讓位槽；13
?
側壁；14
?
導向塊；14a
?
導向面；14b
?
定位面；15
?
定位柱；16
?
防脫板；17
?
第一傳感器；18
?
第二傳感器；19
?
第三傳感器；20
?
安裝座；21
?
螺母；22
?
防撞板；22a
?
讓位口；本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種晶圓盒夾持裝置，其特征在于：包括夾具本體，所述夾具本體包括支撐板，所述支撐板上設有前端開口并用于讓位所述晶圓盒的連接塊的讓位槽；所述讓位槽的兩側和后側分別設有導向塊，所述導向塊面向所述讓位槽的內側面包括位于上部的導向面和位于下部的定位面；所述導向塊的導向面之間形成用于容納所述晶圓盒的裝夾板的上部容納區，所述導向塊的定位面之間形成用于定位所述晶圓盒的裝夾板的下部定位區；所述導向面用于導向所述裝夾板從所述上部容納區進入所述下部定位區，所述下部定位區內設有與設置在所述裝夾板上的定位槽配合的定位柱。2.根據權利要求1所述的晶圓盒夾持裝置，其特征在于：還包括第一傳感器，所述第一傳感器的檢測方向朝向所述夾具本體的前方。3.根據權利要求1所述的晶圓盒夾持裝置，其特征在于：還包括第二傳感器和第三傳感器，所述第二傳感器用于檢測所述裝夾板是否進入所述上部容納區內，所述第三傳感器用于檢測所述裝夾板是否進入所述下部定位區內。4.根據權利要求1所述的晶圓盒夾持裝置，其特征在于：還包括用于定位的相機。5.根據權利要求1所述的晶圓盒夾持裝置，其特征在于：所述定位柱安裝在所述支撐板上，且所述定位柱與所述定位槽一一對應設置。6.根據權利要求1
【專利技術屬性】
技術研發人員：徐冠華，尹松華，鄧榮新，陳葉磊，
申請(專利權)人：蘇州蘭里智能科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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