本發明專利技術公開了一種新型UV固化壓印裝置，包括安裝面板、加壓密封腔、單向氣缸和UV固化燈，所述安裝面板的前側設有加壓密封腔，所述加壓密封腔與安裝面板之間轉動連接，所述加壓密封腔的底部設有模板，所述加壓密封腔的一側設有單向氣缸，所述單向氣缸的氣缸桿位于所述單向氣缸的下部；所述加壓密封腔上設有加壓氣管，所述加壓密封腔的上方設有UV固化燈；本發明專利技術可以實現模板和襯底的動態貼合，有利于襯底和模板間氣體的充分排出。在貼合過程中再輔助一定壓力的氣體，保證結構的充分填充。通過該新型UV壓印裝置既避免UV壓印中氣體排出不完整造成的缺陷，又可以保證圖案結構的完整填充。又可以保證圖案結構的完整填充。又可以保證圖案結構的完整填充。
【技術實現步驟摘要】
一種新型UV固化納米壓印裝置及方法
[0001]本專利技術涉及納米壓印
，特別涉及一種新型UV固化壓印裝置及方法。
技術介紹
[0002]納米壓印技術是制備納米尺度圖案的一種方法。這種方法工藝簡單,成本低廉,可大規模生產,且生產出來的圖案具有很高的分辨率。近年來隨著納米壓印技術的不斷發展，納米壓印的方法、及納米壓印所用設備也越來越多。目前壓印方法主要是熱壓印和UV固化壓印。UV固化壓印由于它的操作流程相對簡單；這幾年得到快遞發展，應用于UV固化壓印的設備和模板也呈現了多樣化發展。
[0003]現有的UV固化納米壓印技術主要是滾動壓印和平面壓印：滾動壓印一種是把需要壓印的襯底和模板疊加在一起放好后，通過滾軸的滾動加壓來實現排除氣泡和壓實結構，然后用UV固化燈固化來實現圖案轉移；還有一種是把模板直接纏繞在滾軸上通過滾軸在襯底上的滾動來實現圖案復制，然后UV燈固化實現圖案轉移。平面壓印直接把襯底和模板疊加，用抽真空、吹氣加壓或機械加壓的方式加壓后用UV燈固化。
[0004]襯底和模板疊加滾動壓印后UV固化技術，能實現圖案的快速轉移，但對于大面積的圖案復制，由于滾動壓印的滾輪一次性接觸面有限，當滾輪滾過后，襯底上滾輪前后的受力差異，導致滾輪壓過的位置有翹起、進氣現象，導致圖案復制出現大面積缺陷。
[0005]把模板纏繞在滾輪上的滾壓方式，模板在滾輪上的彎曲纏繞，會引起微結構變形。導致復制出的圖案與原始圖案出現偏差。
[0006]直接把模板和襯底疊加，然后抽真空，加壓的UV固化壓印，對于極小面積的UV壓印是沒有問題的，但是當需要壓印的面積加大后，抽真空，加壓都無法排除中間的氣體，會導致大面積的圖案缺失。
技術實現思路
[0007]本專利技術的目的在于提供一種新型UV固化壓印裝置及方法，以克服現有技術中的不足。
[0008]為實現上述目的，本專利技術提供如下技術方案：本申請公開了一種新型UV固化壓印裝置，包括安裝面板、加壓密封腔、單向氣缸和UV固化燈，所述安裝面板的前側設有加壓密封腔，所述加壓密封腔與安裝面板之間轉動連接，所述加壓密封腔的底部設有模板，所述加壓密封腔的一側設有單向氣缸，所述單向氣缸的氣缸桿位于所述單向氣缸的下部；所述加壓密封腔上設有加壓氣管，所述加壓密封腔的上方設有UV固化燈。
[0009]作為優選，所述安裝面板的下部設有第一轉孔，所述加壓密封腔上設有第二轉孔，所述第一轉孔與第二轉孔之間通過第一轉動軸連接。
[0010]作為優選，所述第一轉孔位于所述安裝面板下部遠離單向氣缸的一側，所述安裝面板下部靠近單向氣缸的一側設有圓弧狀槽孔，所述圓弧狀槽孔的圓心與第一轉孔的中心
相同，所述圓弧狀槽孔的最低高度與第一轉孔的所在高度相同；所述加壓密封腔上設有第三轉孔，所述第二轉孔與第三轉孔分別位于加壓密封腔的兩側，所述第二轉孔與第三轉孔位于同一個高度；所述第二轉孔的位置與第一轉孔的位置相對應，所述第三轉孔的位置與圓弧狀槽孔的位置相對應，所述第三轉孔與圓弧狀槽孔之間通過第二轉動軸連接。
[0011]作為優選，所述第一轉孔、第二轉孔或第三轉孔中的一個或多個設有滾動軸承。
[0012]作為優選，所述加壓密封腔靠近單向氣缸的側面上設有氣缸支架，所述氣缸支架呈L型結構，所述氣缸支架的一側與加壓密封腔之間固定連接，所述氣缸支架的另一側上設有安裝孔，所述單向氣缸穿過安裝孔并固定連接于安裝孔上。
[0013]作為優選，所述加壓密封腔遠離單向氣缸的側面上設有氣管孔，所述氣管孔連接加壓氣管。
[0014]作為優選，所述加壓密封腔包括壓印室、玻璃壓片和石英玻璃，所述壓印室的中部設有壓印腔，所述壓印腔與加壓氣管相連接，所述壓印室的頂部設有玻璃壓片，所述玻璃壓片的底部設有凹槽，所述凹槽內設有石英玻璃，所述石英玻璃蓋于壓印腔的上方，所述石英玻璃與凹槽底面之間設有透明墊片，所述壓印室與石英玻璃之間設有密封圈。
[0015]作為優選，所述壓印腔的底部設有模板，所述模板的兩端與壓印室之間通過模板卡套固定連接。
[0016]作為優選，所述安裝面板的上設有若干個安裝孔，所述安裝面板通過安裝孔固定于三維移動平臺上。
[0017]本專利技術還公開了一種新型UV固化壓印方法，具體包括如下步驟：S1、調節三維移動平臺，使得加壓密封腔底部的模板與襯底之間實現垂直投影重合；再次向下調節三維移動平臺，使得模板與襯底貼近；S3、開啟氣缸充氣閥，單向氣缸的氣缸桿向下伸出，氣缸桿撐起加壓密封腔的一側；S4、調節三維移動平臺下降，使得模板的遠離單向氣缸的一側與襯底的一側接觸；S5、關閉氣缸充氣閥，開啟氣缸放氣閥，同時調節三維移動平臺繼續下降，隨著氣缸內氣體放出，加壓密封腔撐起的一側逐漸放下，模板與襯底逐漸貼合；S6、模板與襯底完全貼合后，通過加壓氣管向加壓密封腔的壓印腔內充氣，給模板加壓，實現模板上納米圖案在襯底的完美填充；S7、打開UV固化燈，實現納米圖案在襯底的固化；S8、固化完成后，通過加壓氣管給壓印腔放氣；打開氣缸充氣閥，單向氣缸的氣缸桿向下伸出，氣缸桿撐起加壓密封腔的一側，模板從靠近單向氣缸的一側開始脫離襯底；從而完成UV固化壓印。
[0018]本專利技術的有益效果：本專利技術一種新型UV固化壓印裝置，可以實現模板和襯底的動態貼合，有利于襯底和模板間氣體的充分排出。在貼合過程中再輔助一定壓力的氣體，保證結構的充分填充。通過該新型UV壓印裝置既避免UV壓印中氣體排出不完整造成的缺陷，又可以保證圖案結構的完整填充。
[0019]此外，本裝置：結構小巧，緊湊；壓印過程控制精準；模板和襯底貼的漸進貼合方式，有利于模板、襯底間氣體排出；模板、襯底貼合緊密；通過氣體加壓，壓力均勻、可控；壓
印分辨率高；通過單側氣缸運動。控制模板、襯底的貼合；壓印結束后脫模；簡單易操作；可以實現自動重復操作，便于實現小圖案的拼裝壓印。
[0020]本專利技術的特征及優點將通過實施例結合附圖進行詳細說明。
附圖說明
[0021]圖1是本專利技術一種新型UV固化壓印裝置的結構示意圖；圖2是本專利技術實施例的安裝面板的結構示意圖；圖3是本專利技術實施例的加壓密封腔的結構示意圖；圖4是本專利技術實施例的壓印室的正面結構示意圖；圖5是本專利技術實施例的壓印室靠近單向氣缸側的結構示意圖；圖6是本專利技術實施例的壓印室遠離單向氣缸側的結構示意圖；圖中：1
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安裝面板、11
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第一轉孔、12
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第二轉孔、13
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圓弧狀槽孔、14
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第三轉孔、15
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安裝孔、2
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加壓密封腔、21
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壓印室、211
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壓印腔、22
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玻璃壓片、23
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石英玻璃、231
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透明墊片、232
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密封圈、3
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單向氣缸、31
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氣缸支架、4
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UV固化燈、5<本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種新型UV固化壓印裝置，其特征在于：包括安裝面板（1）、加壓密封腔（2）、單向氣缸（3）和UV固化燈（4），所述安裝面板（1）的前側設有加壓密封腔（2），所述加壓密封腔（2）與安裝面板（1）之間轉動連接，所述加壓密封腔（2）的底部設有模板（5），所述加壓密封腔（2）的一側設有單向氣缸（3），所述單向氣缸（3）的氣缸桿位于所述單向氣缸（3）的下部；所述加壓密封腔（2）上設有加壓氣管（6），所述加壓密封腔（2）的上方設有UV固化燈（4）。2.如權利要求1所述的一種新型UV固化壓印裝置，其特征在于：所述安裝面板（1）的下部設有第一轉孔（11），所述加壓密封腔（2）上設有第二轉孔（12），所述第一轉孔（11）與第二轉孔（12）之間通過第一轉動軸連接。3.如權利要求2所述的一種新型UV固化壓印裝置，其特征在于：所述第一轉孔（11）位于所述安裝面板（1）下部遠離單向氣缸（3）的一側，所述安裝面板（1）下部靠近單向氣缸（3）的一側設有圓弧狀槽孔（13），所述圓弧狀槽孔（13）的圓心與第一轉孔（11）的中心相同，所述圓弧狀槽孔（13）的最低高度與第一轉孔（11）的所在高度相同；所述加壓密封腔（2）上設有第三轉孔（14），所述第二轉孔（12）與第三轉孔（14）分別位于加壓密封腔（2）的兩側，所述第二轉孔（12）與第三轉孔（14）位于同一個高度；所述第二轉孔（12）的位置與第一轉孔（11）的位置相對應，所述第三轉孔（14）的位置與圓弧狀槽孔（13）的位置相對應，所述第三轉孔（14）與圓弧狀槽孔（13）之間通過第二轉動軸連接。4.如權利要求3所述的一種新型UV固化壓印裝置，其特征在于：所述第一轉孔（11）、第二轉孔（12）或第三轉孔（14）中的一個或多個設有滾動軸承。5.如權利要求1所述的一種新型UV固化壓印裝置，其特征在于：所述加壓密封腔（2）靠近單向氣缸（3）的側面上設有氣缸支架（31），所述氣缸支架（31）呈L型結構，所述氣缸支架（31）的一側與加壓密封腔（2）之間固定連接，所述氣缸支架（31）的另一側上設有氣缸固定孔，所述單向氣缸（3）穿過氣缸固定孔并固定連接于氣缸固定孔上。6.如權利要求1所述的一種新型UV固化壓印裝置，其特征在于：所述加壓密封腔（2）遠離單向氣...
【專利技術屬性】
技術研發人員：鄧萌萌，楊愛斌，
申請(專利權)人：璞璘科技杭州有限公司，
類型：發明
國別省市：
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