靜電式振動能量采集器構(gòu)件以及制造方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)所公開的至少是靜電式能量采集器一部分的構(gòu)件能使含有此構(gòu)件的能量采集器采集和轉(zhuǎn)化更多的環(huán)境振動能和或能從多個不同特征振動頻率或振動范圍采集環(huán)境振動能而輸出電能。在某個或某些實施例中，能量采集器構(gòu)件中的可動電極中包含有比其基體材料質(zhì)量密度更高的材料和或其一個或兩個面上連接有質(zhì)量塊。在某個或某些實施例中，能量采集器構(gòu)件中包含由多個單層可變電容構(gòu)件層連接而形成的多層可變電容構(gòu)件層。在某個或某些實施例中，在能量采集器構(gòu)件所包含的多層可變電容構(gòu)件層中，至少在兩個相鄰的可動電極之間連接有至少一個質(zhì)量塊。還是在某個或某些實施例中，能量采集器構(gòu)件中包含有至少兩個獨立的互不連接的可變電容構(gòu)件層。對于本發(fā)明專利技術(shù)中的硅基能量采集器構(gòu)件，本發(fā)明專利技術(shù)也提供了一種制造方法。此方法通過制造并連接多個獨立硅結(jié)構(gòu)層而形成所需的構(gòu)件。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點】
一種至少是靜電式能量采集器一部分的構(gòu)件，包含有至少一個可變電容構(gòu)件層，其中，每個可變電容構(gòu)件層包含有至少一個固定電極、一個可動電極、至少一個連接于可動電極并支承此可動電極的支撐梁，其中，所述的至少一個固定電極和可動電極形成至少一個可變電容器；并且至少有一個可動電極包含有至少一個孔或開口，其中，至少在一個孔或開口中，含有至少一種比可動電極基體材料質(zhì)量密度更高的材料。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張剛，
申請(專利權(quán))人：張剛，
類型：發(fā)明
國別省市：81[中國|廣州]