溫度補償聲表面換能器及制造方法技術

本申請涉及一種溫度補償聲表面換能器及制造方法，其中溫度補償聲表面換能器包括依序設置的基底層、電極層和溫補層，溫補層具有背離電極層的第一表面，第一表面上設有空腔結構，電極層具有叉指電極組，空腔結構靠近叉指電極組的端頭周側或叉指電極組的上表面；溫度補償聲表面換能器的制造方法包括在基底層上生成電極層，在電極層上生成溫補層，在溫補層上制備空腔結構，并使空腔結構靠近電極層的叉指電極組；本申請的溫度補償聲表面換能器，通過空腔結構可阻斷聲表面波在孔徑方向上的泄露路徑，對橫模傳播造成破壞，從而達到對橫向模式進行有效抑制的目的。模式進行有效抑制的目的。模式進行有效抑制的目的。

【技術實現步驟摘要】
溫度補償聲表面換能器及制造方法


[0001]本申請涉及聲表面波器件
，特別是涉及溫度補償聲表面換能器及制造方法。

技術介紹

[0002]濾波器有多種類型，其中溫度補償聲表面濾波器(TC
?
SAW)由于具有高頻率穩定性、低插入損耗、高選擇性等優點，在高頻段和寬帶中得到廣泛的應用。
[0003]目前的溫度補償聲表面濾波器存在橫向模式(Transverse Mode)的問題。即沿著電極指條長度方向傳播的聲表面波模式會干擾IDT中存在的主模，導致信號失真和性能下降。
[0004]目前溫度補償聲表面濾波器在對橫向模式進行抑制時，大多會在換能器的指條端頭處增加質量負載，即在指條端頭再增加一層重金屬來降低該區域的聲速。上述方法雖能起到對橫向模式的抑制效果，但由于橫向模式的抑制效果對質量負載的大小、重量敏感，對加工工藝的要求較高，增加了工藝成本。

技術實現思路

[0005]基于此，有必要針對上述對橫向模式進行抑制的工藝成本較高的問題，問題，提供一種溫度補償聲表面換能器及制造方法。
[0006]根據本申請的一方面，提供一種溫度補償聲表面換能器，包括從下到上依序設置的基底層、電極層和溫補層，所述溫補層的上表面上設有空腔結構，所述電極層具有叉指電極組，所述空腔結構位于所述叉指電極組的端頭周側和/或所述叉指電極組的上表面。
[0007]在其中一個實施例中，所述電極層包括第一匯流條和叉指電極組，所述叉指電極組包括多個第一叉指電極，多個所述第一叉指電極均與所述第一匯流條連接
，
所述空腔結構具有與所述基底層垂直的第一側面，所述第一側面同時靠近所述第一匯流條和多個所述第一叉指電極，且所述第一側面呈特定形狀結構。
[0008]在其中一個實施例中，所述電極層還包括第二匯流條，所述叉指電極組還包括多個第二叉指電極，多個所述第二叉指電極均與所述第二匯流條連接
，
所述空腔結構具有與所述基底層垂直的第二側面，所述第二側面同時靠近所述第二匯流條和多個所述第二叉指電極，且所述第二側面呈特定形狀結構。
[0009]在其中一個實施例中，溫補層位于所述第一叉指電極和所述第二叉指電極的周側和頂層，存在于所述第一叉指電極和所述第二叉指電極的頂層的空腔結構呈特定形狀結構。
[0010]在其中一個實施例中，所述空腔結構的深度小于所述溫補層的厚度。
[0011]在其中一個實施例中，所述空腔結構的深度小于或等于所述溫補層與所述電極層間的厚度差。
[0012]在其中一個實施例中，所述空腔結構形狀為矩形、鋸齒形、長條形、孔洞形、圓形、
半圓形、梯形、三角形或異形中的一種或多種。
[0013]上述溫度補償聲表面換能器，通過空腔結構可阻斷聲表面波在孔徑方向上的泄露路徑，對橫模傳播造成破壞，從而達到對橫向模式進行有效抑制的目的，且空腔結構的開設工藝簡單，可有效節省對橫向模式進行抑制的工藝成本。
[0014]根據本申請的另一方面，提供一種溫度補償聲表面換能器的制造方法，包括如下步驟：
[0015]在基底層上生成電極層，所述電極層具有叉指電極組；
[0016]在所述電極層上生成溫補層；
[0017]在所述溫補層上制備空腔結構，并使所述空腔結構靠近所述叉指電極組。
[0018]在其中一個實施例中，所述在所述溫補層上制備空腔結構包括：將所述空腔結構的形狀開設為矩形、鋸齒形、長條形或孔洞形中的一種。
[0019]在其中一個實施例中，所述在所述溫補層上制備空腔結構包括：將所述溫補層的厚度控制在100～5000nm之間，所述空腔結構的深度控制在10～5000nm之間，所述空腔結構的長寬尺寸a、b、L均大于0.1λ，其中λ表示實施的聲表面波換能器電極周期長度。
[0020]上述溫度補償聲表面換能器的制造方法，通過在溫補層上制備空腔結構，使空腔結構可有效阻斷聲表面波在孔徑方向上的泄露路徑，從而達到抑制橫向模式的目的。
附圖說明
[0021]圖1為本申請一些實施例的溫度補償聲表面換能器的結構示意圖。
[0022]圖2為本申請一些實施例的溫度補償聲表面換能器的另一結構示意圖。
[0023]圖3為應用了現有普通聲表面波換能器的諧振器的性能圖。
[0024]圖4為應用了本申請的聲表面波換能器的諧振器的性能圖。
[0025]圖5為應用了增加質量負載的聲表面波換能器的諧振器與應用了本申請的聲表面波換能器的諧振器的性能圖對比圖。
[0026]圖6為本申請另一些實施例的諧振器的性能圖。
[0027]圖7為本申請另一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0028]圖8為本申請又一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0029]圖9為本申請再一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0030]圖10為本申請一些實施例的表面波換能器的局部結構示意圖。
[0031]圖11為本申請一些實施例的表面換能器的另一局部結構示意圖。
[0032]圖12為本申請另一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0033]圖13為本申請又一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0034]圖14為本申請再一些實施例的聲表面波換能器的局部結構示意圖。
[0035]圖15為本申請另一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0036]圖16為本申請又一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0037]圖17為本申請再一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0038]圖18為本申請另一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0039]圖19為本申請又一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0040]圖20為本申請再一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0041]圖21為本申請另一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0042]圖22為本申請又一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0043]圖23為本申請再一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0044]圖24為本申請另一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0045]圖25為本申請又一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0046]圖26為本申請再一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0047]圖27為本申請另一些實施例的聲表面波換能器的結構示意圖。
[0048]附圖標記：
[0049]1、基底層；
[0050]2、電極層；21、叉指電極組；211、第一叉指電極；212、第二叉指電極；22、第一匯流條；23、假指；24、第二匯流條；
[0051]3、空腔結構；31、第一側面；32、第二側面；
[0052]4、溫補層；
[0053]5、電介質層。
具體實施方式
[0054]為使本申請本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種溫度補償聲表面換能器，其特征在于，所述溫度補償聲表面換能器包括：從下到上依序設置的基底層、電極層和溫補層，所述溫補層的上表面上設有空腔結構，所述電極層具有叉指電極組，所述空腔結構位于所述叉指電極組的端頭周側和/或所述叉指電極組的上表面。2.根據權利要求1所述的溫度補償聲表面換能器，其特征在于，所述電極層包括第一匯流條和所述叉指電極組，所述叉指電極組包括多個第一叉指電極，多個所述第一叉指電極均與所述第一匯流條連接
，
所述空腔結構同時靠近所述第一匯流條和多個所述第一叉指電極的側面定義為第一側面，所述第一側面呈特定形狀結構。3.根據權利要求2所述的溫度補償聲表面換能器，其特征在于，所述電極層還包括第二匯流條，所述叉指電極組還包括多個第二叉指電極，多個所述第二叉指電極均與所述第二匯流條連接
，
所述空腔結構同時靠近所述第二匯流條和多個所述第二叉指電極的側面定義為第二側面，所述第二側面呈特定形狀結構。4.根據權利要求3所述的溫度補償聲表面換能器，其特征在于，所述溫補層位于所述第一叉指電極和所述第二叉指電極的周側和頂層，存在于所述第一叉指電極和所述第二叉指電極的頂層的空腔結構呈特定形狀結構。5.根據權利要...

【專利技術屬性】
技術研發人員：姚遠，曹亮，宋崇希，龍崢，姚艷龍，
申請(專利權)人：江蘇卓勝微電子股份有限公司，
類型：發明
國別省市：