本申請涉及一種用于晶圓鍵合對準的裝置及方法。在本申請的一實施例中，所述用于晶圓鍵合對準的裝置包括：顯微鏡，其用以對晶圓的標識進行聚焦；多色光源，其用以發出波長可變的光對所述晶圓的所述標識進行照明，其中所述波長可變的光包括第一波長的光與第二波長的光，其中所述第一波長的光的波長與所述第二波長的光的波長不同；及相機，其用以在所述多色光源以所述第一波長的光進行照明時，對所述晶圓的所述標識進行拍攝以得到第一圖片，以及在所述多色光源以所述第二波長的光進行照明時，對所述晶圓的所述標識進行拍攝以得到第二圖片。片。片。
【技術實現步驟摘要】
用于晶圓鍵合對準的裝置及方法
[0001]本申請大體上涉及半導體加工設備領域，且更具體來說，涉及一種用于晶圓鍵合對準的裝置及方法。
技術介紹
[0002]晶圓鍵合需要通過對上、下兩片晶圓表面制備的標識進行拍照并分析標識相對位置來實現對準。不同批次的晶圓上的薄膜會有不同，導致所制備的標識顏色會有差異。傳統的晶圓鍵合對準設備所采用的光源都是單一色光且不可切換的光源。在此光源下對標識進行成像，所得到的圖片的對比度并無明顯區別，無法據以提升晶圓鍵合的對準精度。
技術實現思路
[0003]本申請發現使用不同顏色光源對晶圓的標識進行成像，所得到的圖片對比度會有區別。本申請提供了一種用于晶圓鍵合對準的裝置及方法，其使用不同顏色的光源對標識進行成像，提高拍攝得到的圖片對比度，從而提升鍵合對準的精度。
[0004]在一方面，本申請提供了一種用于晶圓鍵合對準的裝置，其包括：顯微鏡，其用以對晶圓的標識進行聚焦；多色光源，其用以發出波長可變的光對所述晶圓的所述標識進行照明，其中所述波長可變的光包括第一波長的光與第二波長的光，其中所述第一波長的光的波長與所述第二波長的光的波長不同；及相機，其用以在所述多色光源以所述第一波長的光進行照明時，對所述晶圓的所述標識進行拍攝以得到第一圖片，以及在所述多色光源以所述第二波長的光進行照明時，對所述晶圓的所述標識進行拍攝以得到第二圖片。
[0005]根據本申請的實施例，所述第一波長的光與所述第二波長的光中的至少一者是單色光。
[0006]根據本申請的實施例，所述第一波長的光與所述第二波長的光中的至少一者是混合光。
[0007]根據本申請的實施例，所述多色光源包括發光二極管光源。
[0008]根據本申請的實施例，所述多色光源包括白光源與濾光片。
[0009]根據本申請的實施例，所述濾光片包括選自紅色、橙色、黃色、綠色、藍色及紫色濾光片中的至少二者。
[0010]在另一方面，本申請還提供了一種用于晶圓鍵合對準的方法，其包括：提供顯微鏡，其對第一晶圓的標識進行聚焦；提供相機；提供多色光源，其發出第一波長的光對所述第一晶圓的所述標識進行照明；使所述相機在所述多色光源以所述第一波長的光進行照明時，對所述第一晶圓的所述標識進行拍攝以得到第一圖片；將所述多色光源由所述第一波長的光切換為第二波長的光，并對所述第一晶圓的所述標識進行照明，其中所述第一波長的光的波長與所述第二波長的光的波長不同；及使所述相機在所述多色光源以所述第二波長的光進行照明時，對所述第一晶圓的所述標識進行拍攝以得到第二圖片。
[0011]根據本申請的實施例，所述方法進一步包括：比較所述第一圖片的對比度與所述
第二圖片的對比度；及確定所述第一圖片與所述第二圖片中對比度較高者。
[0012]根據本申請的實施例，所述方法進一步包括：確定所述對比度較高者在以所述多色光源進行照明時所使用的光；及使所述多色光源發出所述所使用的光對第二晶圓的標識進行照明。
[0013]根據本申請的實施例，在所述方法中，所述第一波長的光與所述第二波長的光中的至少一者是單色光。
[0014]根據本申請的實施例，在所述方法中，所述第一波長的光與所述第二波長的光中的至少一者是混合光。
[0015]根據本申請的實施例，在所述方法中，所述多色光源包括發光二極管光源。
[0016]根據本申請的實施例，在所述方法中，所述多色光源包括白光源與濾光片。
[0017]根據本申請的實施例，在所述方法中，所述濾光片包括選自紅色、橙色、黃色、綠色、藍色及紫色濾光片中的至少二者。
[0018]根據本申請的實施例，所述方法進一步包括：將所述多色光源由所述第二波長的光切換為第三波長的光，并對所述第一晶圓的所述標識進行照明，其中所述第三波長的光的波長與所述第一波長的光的波長及所述第二波長的光的波長不同；及使所述相機在所述多色光源以所述第三波長的光進行照明時，對所述第一晶圓的所述標識進行拍攝以得到第三圖片。
[0019]根據本申請的實施例，所述方法進一步包括：比較所述第一圖片的對比度、所述第二圖片的對比度與所述第三圖片的對比度；及確定所述第一圖片、所述第二圖片與所述第三圖片中對比度最高者。
[0020]根據本申請的實施例，所述方法進一步包括：確定所述對比度最高者在以所述多色光源進行照明時所使用的光；及使所述多色光源發出所述所使用的光對第二晶圓的標識進行照明。
[0021]根據本申請的實施例，在所述方法中，所述第三波長的光是單色光。
[0022]根據本申請的實施例，在所述方法中，所述第三波長的光是混合光。
[0023]在以下附圖及描述中闡述本申請的一或多個實例的細節。其他特征、目標及優勢將根據所述描述及附圖以及權利要求書而顯而易見。
附圖說明
[0024]本說明書中的公開內容提及且包含以下各圖：
[0025]圖1是根據本申請的一些實施例的用于晶圓鍵合對準的系統的示意圖；
[0026]圖2是根據本申請的一些實施例的用于晶圓鍵合對準的方法的流程圖；及
[0027]圖3是根據本申請的另一些實施例的用于晶圓鍵合對準的方法的流程圖。
[0028]根據慣例，圖示中所說明的各種特征可能并非按比例繪制。因此，為了清晰起見，可任意擴大或減小各種特征的尺寸。圖示中所說明的各部件的形狀僅為示例性形狀，并非限定部件的實際形狀。另外，為了清楚起見，可簡化圖示中所說明的實施方案。因此，圖示可能并未說明給定設備或裝置的全部組件。最后，可貫穿說明書和圖示使用相同參考標號來表示相同特征。
具體實施方式
[0029]為更好地理解本專利技術的精神，以下結合本專利技術的部分實施例對其作進一步說明。
[0030]本說明書內使用的詞匯“在一實施例”或“根據一實施例”并不必要參照相同具體實施例，且本說明書內使用的“在其他(一些/某些)實施例”或“根據其他(一些/某些)實施例”并不必要參照不同的具體實施例。其目的在于例如主張的主題包括全部或部分范例具體實施例的組合。本文所指“上”和“下”的意義并不限于圖式所直接呈現的關系，其應包含具有明確對應關系的描述，例如“左”和“右”，或者是“上”和“下”的相反。本文所稱的“連接”應理解為涵蓋“直接連接”以及“經由一或多個中間部件連接”。本說明書中所使用的各種部件的名稱僅出于說明的目的，并不具備限定作用，不同廠商可使用不同的名稱來指代具備相同功能的部件。
[0031]以下詳細地討論本專利技術的各種實施方式。盡管討論了具體的實施，但是應當理解，這些實施方式僅用于示出的目的。相關領域中的技術人員將認識到，在不偏離本專利技術的精神和保護范圍的情況下，可以使用其他部件和配置。
[0032]圖1是根據本申請的一些實施例的用于晶圓鍵合對準的系統100的示意圖。
[0033]請參閱圖1，系統100包括用于晶圓鍵合對準的多色光源裝置10、光源控制器17及處理器18。多色光源裝置10包括多色光源11、顯微鏡12及相機14。本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種用于晶圓鍵合對準的裝置，其包括：顯微鏡，其用以對晶圓的標識進行聚焦；多色光源，其用以發出波長可變的光對所述晶圓的所述標識進行照明，其中所述波長可變的光包括第一波長的光與第二波長的光，其中所述第一波長的光的波長與所述第二波長的光的波長不同；及相機，其用以在所述多色光源以所述第一波長的光進行照明時，對所述晶圓的所述標識進行拍攝以得到第一圖片，以及在所述多色光源以所述第二波長的光進行照明時，對所述晶圓的所述標識進行拍攝以得到第二圖片。2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一波長的光與所述第二波長的光中的至少一者是單色光。3.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一波長的光與所述第二波長的光中的至少一者是混合光。4.根據權利要求1所述的裝置，其中所述多色光源包括發光二極管光源。5.根據權利要求1所述的裝置，其中所述多色光源包括白光源與濾光片。6.根據權利要求5所述的裝置，其中所述濾光片包括選自紅色、橙色、黃色、綠色、藍色及紫色濾光片中的至少二者。7.一種用于晶圓鍵合對準的方法，其包括：提供顯微鏡，其對第一晶圓的標識進行聚焦；提供相機；提供多色光源，其發出第一波長的光對所述第一晶圓的所述標識進行照明；使所述相機在所述多色光源以所述第一波長的光進行照明時，對所述第一晶圓的所述標識進行拍攝以得到第一圖片；將所述多色光源由所述第一波長的光切換為第二波長的光，并對所述第一晶圓的所述標識進行照明，其中所述第一波長的光的波長與所述第二波長的光的波長不同；及使所述相機在所述多色光源以所述第二波長的光進行照明時，對所述第一晶圓的所述標識進行拍攝以得到第二圖片。8.根據權利要求7所述的方法，其進一步包括：比較所述第一圖片的對比度與所述第二圖片的對比度；及...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王晨，馬雙義，
申請(專利權)人：拓荊鍵科海寧半導體設備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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