一種晶圓片架尋邊器制造技術

本實用新型專利技術公開了一種晶圓片架尋邊器，包括主支撐臺、支撐限位塊組件以及尋邊定位組件，所述支撐限位塊組件和尋邊定位組件都設置在所述主支撐臺上，所述支撐限位塊組件用于固定晶圓片，所述尋邊定位組件包括尋邊軸、手柄件、定邊件以及調節開關，所述尋邊軸與所述手柄件連接，所述手柄件控制所述尋邊軸轉動，所述定邊件設置在所述尋邊軸的一側，所述定邊件與晶圓片的定位邊連接，所述調節開關與所述定邊件連接，所述調節開關控制所述定邊件的位置。本實用新型專利技術公開的一種晶圓片架尋邊器具有適用于所有類型的不同片架、提升使用效率等優點。點。點。

【技術實現步驟摘要】
一種晶圓片架尋邊器


[0001]本技術涉及晶圓包裝運輸
，特別是涉及一種晶圓片架尋邊器。

技術介紹

[0002]晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。
[0003]尋邊器是通過手搖轉軸將晶圓的定位邊統一到一個平面，現在大多數的尋邊器都只適用單種類型的片架，比如4寸的工具只適用4寸片架，6寸片架需要制作新的6寸工具。這種只適用單種款式的工具不適用于生產線多款產品的使用，使用起來不方便，也要耗費過多的工具和人力。

技術實現思路

[0004]針對上述現有技術存在的缺陷，本技術的目的在于提供一種晶圓片架尋邊器，可以解決大多數的尋邊器都只適用單種類型的片架的問題，具有適用于所有類型的不同片架、提升使用效率的優點。
[0005]為實現上述目的，本技術提供了一種晶圓片架尋邊器，包括主支撐臺、支撐限位塊組件以及尋邊定位組件，所述支撐限位塊組件和尋邊定位組件都設置在所述主支撐臺上，所述支撐限位塊組件用于固定晶圓片，所述尋邊定位組件包括尋邊軸、手柄件、定邊件以及調節開關，所述尋邊軸與所述手柄件連接，所述手柄件控制所述尋邊軸轉動，所述定邊件設置在所述尋邊軸的一側，所述定邊件與晶圓片的定位邊連接，所述調節開關與所述定邊件連接，所述調節開關控制所述定邊件的位置；
[0006]所述支撐限位塊組件包括第一支撐限位塊和第二支撐限位塊，所述尋邊軸和定邊件設置在第一支撐限位塊和第二支撐限位塊之間，所述第一支撐限位塊和第二支撐限位塊上設置有晶圓片架，所述晶圓片架用于存放晶圓片；所述第一支撐限位塊上設置有第一調節限位塊，第一調節限位塊與所述第一支撐限位塊轉動連接，所述第二支撐限位塊上設置有第二調節限位塊，第二調節限位塊與所述第二支撐限位塊轉動連接，所述第一調節限位塊、第二調節限位塊與所述主支撐臺之間有間距，所述晶圓片架可放置在所述第一調節限位塊和第二調節限位塊上。
[0007]優選地，所述第一調節限位塊、第二調節限位塊為L形，包括長端和短端，所述第一調節限位塊、第二調節限位塊的短端支撐所述晶圓片架，所述第一調節限位塊、第二調節限位塊的長端分別與所述第一支撐限位塊、第一支撐限位塊轉動連接。
[0008]優選地，所述主支撐臺包括第一連接板、第二連接板和固定板，所述固定板的兩端分別與所述第一連接板、第二連接板連接，所述支撐限位塊組件設置在所述固定板上，所述手柄件和調節開關設置在第一連接板的一側，所述定邊件和尋邊軸設置在第一連接板的另一側，所述主支撐臺還包括第三連接板，所述第三連接板位于第一連接板和第二連接板之
間，所述第三連接板設置在所述固定板上，所述定邊件和尋邊軸的一端與所述第三連接板連接。
[0009]優選地，所述定邊件包括轉動邊、限位邊以及接觸邊，所述接觸邊的兩端分別與所述轉動邊、限位邊連接，所述轉動邊為弧形且與所述尋邊軸接觸，當尋找到晶圓片的定位邊時，通過調節開關控制所述定邊件轉動，所述定邊件移動至尋邊軸的頂部，此時所述限位邊與晶圓片的定位邊接觸。
[0010]與現有技術相比，本技術的有益效果是：通過搖動手柄件轉動來控制尋邊軸，通過尋邊軸經由搖手柄轉動來尋找到晶圓的定位邊，定邊調節開關可以在尋邊軸找到晶圓定位邊之后，固定晶圓不再轉動。第一支撐限位塊和第二支撐限位塊，所述尋邊軸和定邊件設置在第一支撐限位塊和第二支撐限位塊之間，所述第一支撐限位塊和第二支撐限位塊上設置有晶圓片架，所述晶圓片架用于存放晶圓片；所述第一支撐限位塊上設置有第一調節限位塊，第一調節限位塊與所述第一支撐限位塊轉動連接，所述第二支撐限位塊上設置有第二調節限位塊，第二調節限位塊與所述第二支撐限位塊轉動連接，所述第一調節限位塊、第二調節限位塊與所述主支撐臺之間有間距，所述晶圓片架可放置在所述第一調節限位塊和第二調節限位塊上。當放置6寸外形晶圓片架時，將6寸外形晶圓片架放置在第一調節限位塊、第二調節限位塊上，當放置8寸外形晶圓片架時，通過轉動第一調節限位塊、第二調節限位塊，進一步將晶圓片架放置在第一支撐限位塊和第二支撐限位塊上，將8寸外形晶圓片架放置在第一支撐限位塊和第二支撐限位塊上，通過調節第一調節限位塊、第二調節限位塊協調穩定不同的片架，具有適用于所有類型的不同片架、提升使用效率的優點。
附圖說明
[0011]為了更清楚地說明本技術實施例技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本技術的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1
?
圖6是本技術一種晶圓片架尋邊器的立體結構示意圖；
[0013]圖7
?
圖8是本技術一種晶圓片架尋邊器的原理結構示意圖。
具體實施方式
[0014]下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。
[0015]還應當理解，在此本技術說明書中所使用的術語僅僅是出于描述特定實施例的目的而并不意在限制本技術。如在本技術說明書和所附權利要求書中所使用的那樣，除非上下文清楚地指明其它情況，否則單數形式的“一”、“一個”及“該”意在包括復數形式。
[0016]還應當進一步理解，在本技術說明書和所附權利要求書中使用的術語“和/或”是指相關聯列出的項中的一個或多個的任何組合以及所有可能組合，并且包括這些組
合。
[0017]請參閱圖1
?
2，本技術實施例提供一種晶圓片架尋邊器10，包括主支撐臺20、支撐限位塊組件30以及尋邊定位組件40，所述支撐限位塊組件30和尋邊定位組件40都設置在所述主支撐臺20上，所述支撐限位塊組件30用于固定晶圓片，所述尋邊定位組件40包括尋邊軸41、手柄件42、定邊件43以及調節開關44，所述尋邊軸41與所述手柄件42連接，所述手柄件42控制所述尋邊軸41轉動，所述定邊件43設置在所述尋邊軸41的一側，所述定邊件43與晶圓片的定位邊連接，所述調節開關44與所述定邊件43連接，所述調節開關控制44所述定邊件43的位置。
[0018]可以理解，在本實施例中，所述支撐限位塊組件30包括第一支撐限位塊31和第二支撐限位塊32，所述尋邊軸41和定邊件43設置在第一支撐限位塊31和第二支撐限位塊32之間，所述第一支撐限位塊31和第二支撐限位塊32上設置有晶圓片架33，所述晶圓片架33用于存放晶圓片；所述第一支撐限位塊31上設置有第一調節限位塊34，第一調節限位塊34與所述第一支撐限位塊31轉動連接，所述第二支撐限位塊32上設置有本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種晶圓片架尋邊器，其特征在于，包括主支撐臺、支撐限位塊組件以及尋邊定位組件，所述支撐限位塊組件和尋邊定位組件都設置在所述主支撐臺上，所述支撐限位塊組件用于固定晶圓片，所述尋邊定位組件包括尋邊軸、手柄件、定邊件以及調節開關，所述尋邊軸與所述手柄件連接，所述手柄件控制所述尋邊軸轉動，所述定邊件設置在所述尋邊軸的一側，所述定邊件與晶圓片的定位邊連接，所述調節開關與所述定邊件連接，所述調節開關控制所述定邊件的位置；所述支撐限位塊組件包括第一支撐限位塊和第二支撐限位塊，所述尋邊軸和定邊件設置在第一支撐限位塊和第二支撐限位塊之間，所述第一支撐限位塊和第二支撐限位塊上設置有晶圓片架，所述晶圓片架用于存放晶圓片；所述第一支撐限位塊上設置有第一調節限位塊，第一調節限位塊與所述第一支撐限位塊轉動連接，所述第二支撐限位塊上設置有第二調節限位塊，第二調節限位塊與所述第二支撐限位塊轉動連接，所述第一調節限位塊、第二調節限位塊與所述主支撐臺之間有間距，所述晶圓片架可放置在所述第一調節限位塊和第二調節限位塊上。2.根據權利要求1所述的一種晶圓片架尋邊器，其特征在于，所...

【專利技術屬性】
技術研發人員：請求不公布姓名，
申請(專利權)人：義柏應用技術深圳有限公司，
類型：新型
國別省市：