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    一種帶調節結構的晶圓儲存盒組裝機構制造技術

    技術編號:38265666 閱讀:23 留言:0更新日期:2023-07-27 10:23
    本實用新型專利技術公開了一種帶調節結構的晶圓儲存盒組裝機構,包括支撐架,在所述支撐架的頂部上安裝有安裝架,所述支撐架的頂部側邊設置有調節機構,該調節機構包括:導向組件,一端固定在支撐架的頂端面上,另一端朝向支撐架的內側傾斜延伸;調節組件,該調節組件由滑動件和調節件構成,其中滑動件安裝在導向組件的底部,并與所述支撐架平面貼合,所述調節件設置在導向組件內;通過設計的調節機構,能夠將上蓋和底座的位置進行對齊調整,保證后期按壓組裝不會對晶圓盒造成損壞,有效提升了成品率,同時調節機構能夠根據不同尺寸的晶圓盒做出對應調節,整體靈活性較高,完善了現有組裝機構在組裝中存在的不足。構在組裝中存在的不足。構在組裝中存在的不足。

    【技術實現步驟摘要】
    一種帶調節結構的晶圓儲存盒組裝機構


    [0001]本技術屬于晶圓儲存盒加工
    ,具體涉及一種帶調節結構的晶圓儲存盒組裝機構。

    技術介紹

    [0002]現有的光刻設備等一些晶圓加工設備中,其需要將晶圓多個放置的密封的儲存盒中,一般的晶圓儲存盒分為一體式注塑成型的上蓋和底座,在前期生產組裝中,會將上蓋和底座組合連接完成安裝。
    [0003]由于組裝機構自身不具備對上蓋和底座的調節結構,因此在對儲存盒組裝中,需要人工將上蓋和底座進行對齊放置在傳輸帶上,一旦出現上蓋與底座偏差較大,容易在后期的組裝中造成安裝失敗,導致產生報廢,因此現有的組裝機構成品率較低,現有處理方式是對晶圓盒的上蓋和底座上增設導向結構,方便前期工作人員的對齊,然而該種方式仍無法避免上述安裝失敗的問題,同時還增加了成本消耗,故在實際組裝中,存在可改進的空間。

    技術實現思路

    [0004]本技術的目的在于提供一種帶調節結構的晶圓儲存盒組裝機構,以解決上述
    技術介紹
    中提出的現有組裝機構上不具備對上蓋和底座的位置做出調節功能的問題。
    [0005]為實現上述目的,本技術提供如下技術方案:一種帶調節結構的晶圓儲存盒組裝機構,包括支撐架,在所述支撐架的頂部上安裝有安裝架,所述支撐架的頂部側邊設置有調節機構,該調節機構包括:
    [0006]導向組件,一端固定在支撐架的頂端面上,另一端朝向支撐架的內側傾斜延伸;
    [0007]調節組件,該調節組件由滑動件和調節件構成,其中滑動件安裝在導向組件的底部,并與所述支撐架平面貼合,所述調節件設置在導向組件內。
    [0008]優選的,所述導向組件包括兩組對稱設置在支撐架兩側的調節板,每組調節板的數量為兩個,所述調節板另一端朝向安裝架的方向延伸。
    [0009]優選的,所述調節件包括連接柱,所述連接柱由上自下依次由調節柱、螺紋套以及固定柱構成;所述固定柱的頂部內嵌至螺紋套內,且兩者螺紋連接,所述調節柱的底部形成有柱狀體,而螺紋套的頂部通過彎折與柱狀體交錯限位。
    [0010]優選的,所述滑動件包括固定在底部位置調節板外側的安裝框板,所述安裝框板整體呈型結構并套設在安裝架上,且安裝框板的內側底端面上開設有螺孔,在螺孔的內部貫穿有螺栓,螺栓與安裝架的側邊底端面相抵。
    [0011]優選的,所述安裝框板的內側上下面處開設有槽,在槽的內部內嵌有磁塊,所述磁塊與安裝架磁連接。
    [0012]優選的,所述安裝架的頂部安裝有氣缸一,所述安裝架的側邊安裝有氣缸二,在安裝架的內側還設置有海綿塊,該海綿塊與氣缸二的輸出端連接。
    [0013]優選的,所述支撐架的內側還安裝有傳輸帶,所述氣缸一的輸出端處于所述傳輸帶的中點正上方。
    [0014]與現有技術相比,本技術的有益效果是:
    [0015]通過設計的調節機構,能夠將上蓋和底座的位置進行對齊調整,保證后期按壓組裝不會對晶圓盒造成損壞,有效提升了成品率,同時調節機構能夠根據不同尺寸的晶圓盒做出對應調節,整體靈活性較高,完善了現有組裝機構在組裝中存在的不足。
    附圖說明
    [0016]圖1為本技術的結構示意圖;
    [0017]圖2為本技術連接機構的組成示意圖;
    [0018]圖3為本技術安裝框板的結構示意圖。
    [0019]圖中:100、安裝架;101、氣缸一;102、氣缸二;102a、海綿塊;200、支撐架;201、傳輸帶;202、調節板;203、連接柱;203a、固定柱;203b、螺紋套;203c、調節柱;204、安裝框板;204a、螺孔;204b、磁塊。
    具體實施方式
    [0020]下面將結合本技術實施例中的附圖,對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本技術保護的范圍。
    [0021]實施例1
    [0022]請參閱圖1至圖3,本技術提供了一種技術方案:一種帶調節結構的晶圓儲存盒組裝機構,包括支撐架200,在支撐架200的頂部上安裝有安裝架100,支撐架200的頂部側邊設置有調節機構,該調節機構包括:
    [0023]導向組件,一端固定在支撐架200的頂端面上,另一端朝向支撐架200的內側傾斜延伸,在上蓋和底蓋進料時,能夠將兩者的位置調節,實現對齊;
    [0024]調節組件,該調節組件由滑動件和調節件構成,其中滑動件安裝在導向組件的底部,能夠帶動導向組件進行移動,并與支撐架200平面貼合,調節件設置在導向組件內。
    [0025]本實施例中,優選的,導向組件包括兩組對稱設置在支撐架200兩側金屬材質的調節板202,每組調節板202的數量為兩個且厚度為2mm,在后期受壓后能夠出現形變,調節板202另一端的傾斜角度應當根據晶圓儲存盒的體積做出調節,優選的調節板202內側傾斜角度為135
    °
    ,該調節板202另一端朝向安裝架100的方向延伸,在組裝中,當上蓋和底座傳輸至調節板202的內部時,可以通過調節板202實現調節,保證上蓋和底座對齊,處于同一豎直面上,方便后期的組裝。
    [0026]本實施例中,優選的,調節件包括采用不銹鋼材質加工制成的圓柱體結構的連接柱203,連接柱203由上自下依次由調節柱203c、螺紋套203b以及固定柱203a構成;固定柱203a的直徑應當小于調節板202的寬度,固定柱203a的直徑為1.5mm,固定柱203a的頂部內嵌至螺紋套203b內,且兩者螺紋連接,調節柱203c的底部形成有直徑大于調節柱203c直徑的柱狀體,而螺紋套203b的頂部通過彎折與柱狀體交錯限位,在安裝中,先將調節柱203c頂
    部從螺紋套203b內部貫穿,再將調節柱203c的頂部焊接在頂部位置的調節板202上即可,當需要調節的晶圓儲存盒體積較大時,將螺紋套203b朝向遠離固定柱203a的方向轉動,203d回彈,將調節柱203c頂起,從而實現高度調節。
    [0027]本實施例中,優選的,滑動件包括固定在底部位置調節板202外側的安裝框板204,安裝框板204同樣采用與調節板202相同材質的金屬件構成,并且兩者的端部通過焊接的方式實現固定,安裝框板204整體呈C型結構并套設在安裝架100上,當需要調節位置時,可以將安裝框板204在安裝架100上滑動,且安裝框板204的內側底端面上開設有螺孔204a,在螺孔204a的內部貫穿有螺栓,螺栓與安裝架100的側邊底端面相抵完成安裝,安裝框板204的內側上下面處開設有2mm的槽,在槽的內部內嵌有磁塊204b,磁塊204b與安裝架100磁連接,實現輔助連接。
    [0028]本實施例中,優選的,支撐架200的內側還安裝有用于傳輸晶圓盒的傳輸帶201,氣缸一101的輸出端處于傳輸帶201的中點正上方。
    [0029]實施例2
    [0030]請參閱圖1,本技術提供了一種技術方案:安裝架本文檔來自技高網
    ...

    【技術保護點】

    【技術特征摘要】
    1.一種帶調節結構的晶圓儲存盒組裝機構,包括支撐架(200),在所述支撐架(200)的頂部上安裝有安裝架(100),其特征在于:所述支撐架(200)的頂部側邊設置有調節機構,該調節機構包括:導向組件,一端固定在支撐架(200)的頂端面上,另一端朝向支撐架(200)的內側傾斜延伸;調節組件,該調節組件由滑動件和調節件構成,其中滑動件安裝在導向組件的底部,并與所述支撐架(200)平面貼合,所述調節件設置在導向組件內。2.根據權利要求1所述的一種帶調節結構的晶圓儲存盒組裝機構,其特征在于:所述導向組件包括兩組對稱設置在支撐架(200)兩側的調節板(202),每組調節板(202)的數量為兩個,所述調節板(202)另一端朝向安裝架(100)的方向延伸。3.根據權利要求1所述的一種帶調節結構的晶圓儲存盒組裝機構,其特征在于:所述調節件包括連接柱(203),所述連接柱(203)由上自下依次由調節柱(203c)、螺紋套(203b)以及固定柱(203a)構成;所述固定柱(203a)的頂部內嵌至螺紋套(203b)內,且兩者螺紋連接,所述調節柱(203c)的底部形成有柱狀體,而螺紋套(203b)的頂部通過彎折與柱狀體交錯限位...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:劉建蔚
    申請(專利權)人:昆山興宇宏機械科技有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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