本申請公開了一種艙門升降機構及密封艙門，該艙門升降機構包括：絲杠，絲杠的一端與基座相連；連接橋板，通過連接柱與艙門相連，連接橋板具有通孔，絲杠從通孔穿過；絲母，與絲杠相連，絲母可沿絲杠的軸向移動；轉接單元，位于絲母與連接橋板之間，絲母通過轉接單元與連接橋板相連，轉接單元可避免絲母旋轉傳至連接橋板；驅動單元，通過驅動連接板與轉接單元相連；其中，驅動單元通過轉接單元驅動絲母旋轉，絲母可沿絲杠的軸向移動以調整艙門與基座的距離。該機構使得絲母與艙門間具有離合功能，艙門位于待鎖緊位置時，絲母與艙門相分離，避免艙門鎖緊階段的下移損壞絲母、絲杠，當艙門需要抬升時，絲母又可與艙門接合，實現艙門的抬升。升。升。
【技術實現步驟摘要】
艙門升降機構及密封艙門
[0001]本專利技術涉及半導體加工制造
，更具體地，涉及一種艙門升降機構及密封艙門。
技術介紹
[0002]半導體材料作為半導體及微電子工業的基礎，經過不斷的升級和演進已經得到了極大的發展。其生產工藝過程中已經形成了在生產和搬運過程中采用金屬或非金屬材料制成的擴展托環與半導體晶圓材料同心套合，起到支撐和保護半導體晶圓材料的作用。這一結構已經越來越廣泛的應用在半導體材料行業的生產制造過程中。
[0003]現有半導體材料生產過程中，通常需要用到密封的腔室，以隔絕外界影響，并可通過向密閉的腔室內通入不同的氣體實現各種半導體結構所需的層，隨著工藝的多樣化和工藝技術、生產效率的提升，現有的密封腔室的密封性已經逐漸難以滿足需求，重復密封效果差，密封壓緊時可能損傷艙門升降的相關結構，使用壽命短，可靠性低。
[0004]期望進一步改進艙門升降機構及密封艙門，提升其重復密封的效果，減少設備損傷，提升可靠性。
技術實現思路
[0005]本專利技術的目的是提供一種艙門升降機構及密封艙門，使得絲母與艙門間具有離合功能，艙門位于待鎖緊位置時，絲母與艙門相分離，避免艙門鎖緊階段的下移損壞絲母、絲杠，當艙門需要抬升時，絲母又可與艙門接合，實現艙門的抬升。該艙門升降機構使得艙門可以使用單獨的密封機構進行密封，可提升其重復密封的效果，減少設備損傷，提升可靠性。
[0006]根據本專利技術的一方面，提供一種艙門升降機構，其特征在于，包括：絲杠，所述絲杠的一端與基座相連；連接橋板，通過連接柱與艙門相連，所述連接橋板具有通孔，所述絲杠從所述通孔穿過；絲母，與所述絲杠相連，所述絲母可沿所述絲杠的軸向移動；轉接單元，位于所述絲母與所述連接橋板之間，所述絲母通過所述轉接單元與所述連接橋板相連，所述轉接單元可避免所述絲母旋轉傳至所述連接橋板；驅動單元，通過驅動連接板與所述轉接單元相連；其中，所述驅動單元通過所述轉接單元驅動所述絲母旋轉，所述絲母可沿所述絲杠的軸向移動以調整所述艙門與所述基座的距離；所述轉接單元使所述絲母可在預設范圍內相對于所述連接橋板沿所述絲杠的軸向滑動。
[0007]優選地，所述絲杠的一端與所述基座通過莫氏錐度連接。
[0008]優選地，所述絲杠為兩根，兩根所述絲杠在所述絲杠的另一端通過絲杠連接板相連，兩根所述絲杠與所述絲杠連接板形成矩形框，所述艙門在所述矩形框的范圍內沿所述絲杠上下移動。
[0009]優選地，所述連接橋板的通孔內設置有第一軸承，所述連接橋板的通孔的上下兩側分別設置有第一軸承上部擋圈和第一軸承下部擋圈以防止第一軸承的外圈從所述通孔
中脫出。
[0010]優選地，所述轉接單元包括：第一軸承，位于所述連接橋板的通孔中，所述第一軸承的外圈與所述連接橋板相連，所述第一軸承的內圈可相對于所述第一軸承的外圈沿絲杠方向滑動；第一驅動軸，與所述驅動單元相連，所述第一驅動軸的內側與所述絲母相連，所述第一驅動軸的外側與所述第一軸承的內圈相連。推力軸承，位于所述連接橋板下方，所述推力軸承的動圈與所述第一驅動軸相連，所述推力軸承的靜圈與所述第一軸承下部擋圈相對設置。
[0011]優選地，所述轉接單元通過所述推力軸承的靜圈與所述第一軸承下部擋圈的分離與接觸實現所述絲母與所述艙門的離合功能。
[0012]優選地，該艙門升降機構還包括：第二驅動軸，位于所述絲母下方，與所述第一驅動軸相連；第二軸承，套設于所述第二驅動軸，所述第二軸承的內圈與所述第二驅動軸相連，所述第二軸承的外圈與所述驅動連接板相連。
[0013]優選地，所述第一軸承包括滾針軸承，所述推力軸承包括推力球軸承，所述第二軸承包括深溝球軸承。
[0014]優選地，該艙門升降機構還包括：第一限位單元，用于限制所述絲母上升至絲杠最高點，所述第一限位單元具有位于連接橋板上的定位桿和位于絲杠連接板上的傳感器；第二限位單元，用于限制所述絲母下降至絲杠底端，避免所述轉接單元與所述艙門發生碰撞，所述第二限位單元具有位于艙門上的定位桿和位于所述驅動連接板側面的傳感器。
[0015]優選地，當所述艙門被所述基座托起，所述絲母繼續下移直至所述第二限位單元觸發，所述絲母繼續下移的距離不小于所述艙門的鎖緊距離。
[0016]根據本專利技術的另一方面，還提供一種密封艙門，其特征在于，包括：基座；艙門，位于所述基座上，與所述基座相對設置；如上任一項所述的艙門升降機構；其中，所述艙門升降機構可驅動所述艙門沿所述絲杠方向移動，實現艙門的抬升與下降。
[0017]優選地，所述密封艙門還包括鎖緊機構，當所述艙門被下降至待鎖緊位置時，通過所述鎖緊機構使艙門繼續下行，實現所述艙門與所述基座的密封。
[0018]本專利技術實施例提供的艙門升降機構及密封艙門，通過采用轉接單元將絲母與艙門相連，該轉接單元使得絲母可在預設距離內移動而不隨艙門一起移動，從而避免艙門通過鎖緊機構下行鎖緊時，連帶絲母下行，從而損壞絲母絲杠運動副。該艙門升降機構不僅可實現艙門的抬升與下降，還可規避艙門的鎖緊階段對絲杠、絲母造成損壞，并設置有多個傳感器進行上限位和下限位，結構可靠性高，對應的密封艙門不僅實現了艙門的升降，還可提供了艙門鎖緊所需的鎖緊距離。
附圖說明
[0019]通過以下參照附圖對本專利技術實施例的描述，本專利技術的上述以及其他目的、特征和優點將更為清楚。
[0020]圖1示出了本專利技術實施例密封艙門的示意圖；圖2示出了本專利技術實施例艙門升降機構的局部放大示意圖；圖3示出了本專利技術實施例艙門升降機構的爆炸示意圖；圖4示出了本專利技術實施例艙門升降機構升至頂部的局部截面示意圖；
圖5示出了本專利技術實施例艙門升降機構降至艙門被基座托起時的局部截面示意圖；待鎖緊位置的局部截面示意圖；圖6示出了本專利技術實施例艙門升降機構降至下限位的局部截面示意圖。
[0021]附圖標記說明：基座10，艙門20，連接橋板21，連接柱22，絲杠31，絲母32，絲杠連接板33，轉接單元40，驅動單元50，第一軸承上部擋圈211，第一軸承下部擋圈212，第一驅動軸410、第一驅動軸上段411，第一驅動軸中段412，第一驅動軸下段413，推力軸承414，第二驅動軸420，深溝球軸承421，外圈擋圈422，內圈擋圈423，鎖緊螺母424，第一軸承430，第一軸承外圈431，滾針432，第一軸承內圈433，驅動擋圈440，伺服電機510，減速器511，驅動輪512，從動輪513，傳動帶514，驅動連接板520，電機連接孔521，導套連接孔522，導套523，驅動連接孔524，傳感器525，定位桿526，臺階527，
具體實施方式
[0022]以下將參照附圖更詳細地描述本專利技術。在各個附圖中，相同的元件采用類似的附圖標記來表示。為了清楚起見，附圖中的各個部分沒有按比例繪制。此外，可能未示出某些公知的部分。
[0023]應當理解，在描述部件的結構時，當將一層、一個區域稱為位于另一層、另一個區域“上面”或“上方”時，可以指直接位于另一層、另一個本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種艙門升降機構，其特征在于，包括：絲杠，所述絲杠的一端與基座相連；連接橋板，通過連接柱與艙門相連，所述連接橋板具有通孔，所述絲杠從所述通孔穿過；絲母，與所述絲杠相連，所述絲母可沿所述絲杠的軸向移動；轉接單元，位于所述絲母與所述連接橋板之間，所述絲母通過所述轉接單元與所述連接橋板相連，所述轉接單元可避免所述絲母旋轉傳至所述連接橋板；驅動單元，通過驅動連接板與所述轉接單元相連；其中，所述驅動單元通過所述轉接單元驅動所述絲母旋轉，所述絲母可沿所述絲杠的軸向移動以調整所述艙門與所述基座的距離；所述轉接單元使所述絲母可在預設范圍內相對于所述連接橋板沿所述絲杠的軸向滑動。2.根據權利要求1所述的艙門升降機構，其特征在于，所述絲杠的一端與所述基座通過莫氏錐度連接。3.根據權利要求1所述的艙門升降機構，其特征在于，所述絲杠為兩根，兩根所述絲杠在所述絲杠的另一端通過絲杠連接板相連，兩根所述絲杠與所述絲杠連接板形成矩形框，所述艙門在所述矩形框的范圍內沿所述絲杠上下移動。4.根據權利要求3所述的艙門升降機構，其特征在于，所述連接橋板的通孔內設置有第一軸承，所述連接橋板的通孔的上下兩側分別設置有第一軸承上部擋圈和第一軸承下部擋圈以防止第一軸承的外圈從所述通孔中脫出。5.根據權利要求4所述的艙門升降機構，其特征在于，所述轉接單元包括：第一軸承，位于所述連接橋板的通孔中，所述第一軸承的外圈與所述連接橋板相連，所述第一軸承的內圈可相對于所述第一軸承的外圈沿絲杠方向滑動；第一驅動軸，與所述驅動單元相連，所述第一驅動軸的內側與所述絲母相連，所述第一驅動軸的外側與所述第一軸承的內圈相連；推力軸承，位于所述連接橋板下方，所述推力軸承的動圈與所述第一驅動軸相連，所述推力軸承...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李書田，胡曉海，
申請(專利權)人：北京中科重儀半導體科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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