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    一種具有激光處理層的太陽能電池結(jié)構(gòu)制造技術(shù)

    技術(shù)編號:38398073 閱讀:27 留言:0更新日期:2023-08-07 11:11
    本實用新型專利技術(shù)公開了一種具有激光處理層的太陽能電池結(jié)構(gòu),激光處理層位于電池絨面所在的正面,其正面結(jié)構(gòu)包括硅基體及由內(nèi)向外依次設(shè)置擴散層、激光處理層、氧化層、鈍化膜層、金屬電極。所述的硅基體為P型硅基體或N型硅基體,所述的氧化層的材質(zhì)為二氧化硅。本實用新型專利技術(shù)提供的一種具有激光處理層的太陽能電池結(jié)構(gòu),通過在傳統(tǒng)的燒結(jié)工序后增加了激光處理工藝,利用激光掃描電池片表面,能夠有效降低金屬電極和硅基體之間的接觸電阻,并且對于表面鈍化層沒有任何影響,提高了電池的開路電壓和填充因子,最終提升了轉(zhuǎn)換效率。此工藝方法簡單,投資成本少,適合于整合在工業(yè)化生產(chǎn)中。適合于整合在工業(yè)化生產(chǎn)中。適合于整合在工業(yè)化生產(chǎn)中。

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
    一種具有激光處理層的太陽能電池結(jié)構(gòu)


    [0001]本技術(shù)屬于太陽能電池
    ,具體涉及一種具有激光處理層的太陽能電池結(jié)構(gòu)。

    技術(shù)介紹

    [0002]隨著經(jīng)濟全球化進程的不斷加速和工業(yè)經(jīng)濟的迅猛發(fā)展,世界范圍內(nèi)的能源短缺和環(huán)境污染已成為制約人類社會可持續(xù)發(fā)展的重要問題,大力發(fā)展可再生無污染的能源十分迫切。而太陽能的取之不盡、用之不竭以及無污染的特性受到越來越多政府和人們的重視,光伏技術(shù)不斷的發(fā)展,作為將太陽能轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件的太陽能電池產(chǎn)品也得到了快速的開發(fā)。
    [0003]近年來,傳統(tǒng)的PERC技術(shù)以及新的Topcon,HJT,IBC等技術(shù)迅速發(fā)展,一次又一次地突破了電池效率的上限。
    [0004]提升太陽能電池效率一直是行業(yè)內(nèi)永恒不變的話題,其中電池正面金屬化區(qū)域的接觸復(fù)合是決定和影響電池轉(zhuǎn)換效率最主要的因素之一,如何確保在良好的歐姆接觸條件下,進一步降低正面金屬化區(qū)域的接觸復(fù)合,提升轉(zhuǎn)換效率,成為目前電池技術(shù)的難點之一。

    技術(shù)實現(xiàn)思路

    [0005]技術(shù)目的:本技術(shù)的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種具有激光處理層的太陽能電池結(jié)構(gòu),通過在傳統(tǒng)的燒結(jié)工序后增加了激光處理工藝,利用激光掃描電池片表面,能夠有效降低金屬電極和硅基體之間的接觸電阻,并且對于表面鈍化層沒有任何影響,提升了電池的轉(zhuǎn)換效率。
    [0006]技術(shù)方案:本技術(shù)所述的一種具有激光處理層的太陽能電池結(jié)構(gòu),所述電池正面結(jié)構(gòu)包括硅基體,擴散層,激光處理層,氧化層,鈍化膜層,金屬電極,所述硅基體正面由內(nèi)至外依次設(shè)有所述擴散層,激光處理層,氧化層,鈍化膜層,所述硅基體上還設(shè)有金屬電極。
    [0007]在一些實施方式中,所述硅基體為P型或者N型硅片。
    [0008]在一些實施方式中,所述擴散層為磷擴散層或者硼擴散層。
    [0009]在一些實施方式中,所述氧化層為二氧化硅層,氧化層的厚度為3
    ?
    8nm。
    [0010]在一些實施方式中,所述鈍化膜層為復(fù)合介質(zhì)層,包括氧化鋁層、氮化硅層、氮氧化硅層和氧化硅層中的一種或多種,復(fù)合介質(zhì)層的厚度為60
    ?
    90nm。
    [0011]在一些實施方式中,所述激光處理層處理激光的波長為635~914nm,激光光斑的形狀為方形,光斑大小為20~200um。
    [0012]在一些實施方式中,所述激光處理層處理激光的電壓為10~30V,功率為35~100%。
    [0013]在一些實施方式中,所述激光處理層處理激光的的掃描速度為30~150mm/s,激光振鏡旋轉(zhuǎn)速度600~2000L/s,掃描單片電池片的時間為1.0~3.0秒。
    [0014]有益效果:本技術(shù)通過在傳統(tǒng)的燒結(jié)工序后增加了激光處理工藝,利用激光掃描電池片表面,激光波長采用了635~914nm,可以有效地被硅基體吸收,并且不會對鈍化層產(chǎn)生損傷;通過這樣一個后激光處理,有效降低了金屬電極和硅基體之間的接觸電阻,并且對于表面鈍化層沒有任何影響,提高了電池的開路電壓和填充因子,最終提升了轉(zhuǎn)換效率。
    附圖說明
    [0015]圖1為本技術(shù)一個實施例的電池結(jié)構(gòu)示意圖;
    [0016]圖2為本技術(shù)另一個實施例的電池結(jié)構(gòu)示意圖。
    具體實施方式
    [0017]下面將結(jié)合附圖對本專利技術(shù)的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本專利技術(shù)一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本專利技術(shù)中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本專利技術(shù)保護的范圍。
    [0018]在本專利技術(shù)的描述中,需要說明的是,術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本專利技術(shù)和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對本專利技術(shù)的限制。
    [0019]在本專利技術(shù)的描述中,需要說明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以具體情況理解上述術(shù)語在本專利技術(shù)中的具體含義。
    [0020]下面通過具體的實施例子并結(jié)合附圖對本專利技術(shù)做進一步的詳細描述。
    [0021]本技術(shù)的原理:首先由激光發(fā)出的激光束在電池耗盡區(qū)誘導(dǎo)載流子并在反向偏置條件下產(chǎn)生局部電流,電流的優(yōu)先路徑是局部低電阻路徑,其存在于Ag柵線下方的發(fā)射極和Ag電極之間。但是低電阻接觸點只占了總接觸界面面積的一小部分,因此,總電流將沿著具有低電阻電流路徑的小面積部分流動,并導(dǎo)致較高的電流密度,這些路徑可以在絨面金字塔的頂部或附近找到。
    [0022]接著,在接觸形成的第二階段,高電流密度將導(dǎo)致大的功率損失,從而在接觸界面處產(chǎn)生熱點。由于局部產(chǎn)生的熱量,在該熱點處發(fā)生電流誘發(fā)的燒結(jié),并且Ag和Si開始相互擴散。
    [0023]最后,在燒結(jié)接觸點的降溫階段,載流子的局部光學(xué)激發(fā)將在一個時間間隔內(nèi)被誘導(dǎo)產(chǎn)生。隨后,電流誘導(dǎo)的熱效應(yīng)將延伸到微秒至毫秒的范圍內(nèi)。由于在熔融接觸點附近,溫度會相對低得多,溫度將因為周圍Ag和Si材料的散熱增強而迅速降低,最終形成了較低的Ag/Si歐姆接觸。
    [0024]通過這樣一個后激光處理,有效降低了金屬電極和硅基體之間的接觸電阻,并且對于表面鈍化層沒有任何影響,提高了電池的開路電壓和填充因子,最終提升了轉(zhuǎn)換效率。
    [0025]實施例1
    [0026]如圖1所示,一種具有激光處理層的太陽能電池結(jié)構(gòu),所述電池正面結(jié)構(gòu)包括P型硅片1,磷擴散層2,激光處理層Ⅰ3,氧化層Ⅰ4,鈍化膜層Ⅰ5,金屬電極Ⅰ6,所述P型硅片1正面由內(nèi)至外依次設(shè)有所述磷擴散層2,激光處理層Ⅰ3,氧化層Ⅰ4,鈍化膜層Ⅰ5,所述P型硅片1上還設(shè)有金屬電極Ⅰ6。
    [0027]本實施例的電池具體制備工藝如下:
    [0028]1)選取P型硅片,電阻率為0.7Ω.cm,用堿溶液及制絨添加劑對硅片進行制絨;
    [0029]2)使用三氯氧磷為磷源進行擴散,形成磷擴散層;
    [0030]3)激光摻雜:制備選擇發(fā)射極,用激光對硅片正表面進行重摻雜;
    [0031]4)背面拋光:化學(xué)清洗去除磷硅玻璃以及邊緣PN結(jié),并在背面進行拋光;
    [0032]5)退火:使用管式爐進行退火,形成表面氧化層,氧化層厚度4nm;
    [0033]6)正背面鈍化:背面制備氧化鋁及氮化硅膜,正面制備鈍化膜層5
    ?
    氮化硅膜,膜厚為78nm;
    [0034]7)激光開口:形成背面局部接觸;
    [0035]8)印刷背面銀漿、背面鋁漿以及正面銀漿,正面銀漿使用常規(guī)的漿料;
    [0036]9)燒結(jié):將常規(guī)的燒結(jié)溫度曲線峰值溫度下降30℃進行燒結(jié),形成初步的歐姆接本文檔來自技高網(wǎng)
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    【技術(shù)保護點】

    【技術(shù)特征摘要】
    1.一種具有激光處理層的太陽能電池結(jié)構(gòu),其特征在于:所述電池的正面結(jié)構(gòu)包括硅基體,擴散層,激光處理層,氧化層,鈍化膜層,金屬電極,所述硅基體正面由內(nèi)至外依次設(shè)有所述擴散層,激光處理層,氧化層,鈍化膜層,所述硅基體上還設(shè)有金屬電極;所述激光處理層處理激光的波長為635~914nm,激光光斑的形狀為方形,光斑大小為20~200um;所述激光處理層處理激光的電壓為10~30V,功率為35~100%;所述激光處理層處理激光的掃描速度為30~150mm/s,激光振鏡旋轉(zhuǎn)速度600~2000L/s,掃描單片電池片的時間為1.0~3.0秒。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:崔美麗
    申請(專利權(quán))人:江蘇工程職業(yè)技術(shù)學(xué)院
    類型:新型
    國別省市:

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