一種具有視窗吹掃結構的長晶爐爐蓋制造技術

本實用新型專利技術公開了一種具有視窗吹掃結構的長晶爐爐蓋，包括蓋體、位于蓋體上的視窗組件；所述視窗組件包括視窗底座、安裝在視窗底座上的視窗壓蓋、安裝于視窗壓蓋上的視窗玻璃、安裝在視窗玻璃上的頂蓋、安裝于視窗底座側方的進氣管；視窗玻璃下方設有一圈環形的通道；所述進氣管與通道連通；所述環形內壁上設有若干吹氣孔，當進氣管進氣時，氣體自吹氣孔均勻的吹到視窗玻璃的下表面而可將附著在視窗玻璃下表面的沉積氧化物吹落。窗玻璃下表面的沉積氧化物吹落。窗玻璃下表面的沉積氧化物吹落。

【技術實現步驟摘要】
一種具有視窗吹掃結構的長晶爐爐蓋


[0001]本技術涉及半導體長晶爐
，尤其是爐蓋結構。

技術介紹

[0002]半導體長晶爐設備中CCD相機系統在晶體生長過程中用于監測爐內目標點。在長晶爐的爐蓋上會設置用于觀測爐內晶體生長狀態的具有透明窗口的視窗，CCD相機系統通過該視窗監測爐內目標點。如公開號為CN 109023533A、CN111172591A的專利申請中，均公開一種應用于單晶爐的爐蓋，在爐蓋上設有視窗，用于CCD相機或人工通過視窗觀察爐內狀態。
[0003]但在實際使用中發現，視窗上安裝的視窗玻璃在長時間使用中會吸附一些長晶中產生的氧化物，這些氧化物的沉積會影響相機監測畫面的清晰度，需要對該氧化物做及時定期的清潔清理。目前采用人工清理的手段操作，需要將視窗組件拆卸后再對玻璃進行清潔，需耗費許多時間。
[0004]因此，需要一種新的技術方案解決上述問題。

技術實現思路

[0005]為了解決現有技術所產生的問題，本技術提供一種具有視窗吹掃結構的長晶爐爐蓋，能夠在不拆卸視窗組件的情況下自動對沉積在視窗玻璃上的氧化物進行清理。
[0006]為達到上述目的，本技術提供的導體單晶爐鎖緊環裝置可采用如下技術方案：
[0007]一種具有視窗吹掃結構的長晶爐爐蓋，包括蓋體、位于蓋體上的視窗組件；所述視窗組件包括視窗底座、安裝在視窗底座上的視窗壓蓋、安裝于視窗壓蓋上的視窗玻璃、安裝在視窗玻璃上的頂蓋、安裝于視窗底座側方的進氣管；視窗玻璃固定于視窗壓蓋與頂蓋之間；所述視窗底座包括一圈環形外壁，而視窗壓蓋底部向下延伸設有一圈位于環形外壁中的環形內壁；所述環形外壁與環形內壁之間形成環形的通道；所述進氣管與通道連通；所述環形內壁上設有若干吹氣孔，該若干吹氣孔圍繞環形內壁均勻的設置。
[0008]進一步的，所述環形的通道中設有一個分隔塊用以使進氣管中的進氣只沿通道內一個方向移動。
[0009]進一步的，所述視窗壓蓋位于視窗玻璃外位置的上表面設有螺孔，所述頂蓋上設有自上向下穿過蓋體的螺釘，螺釘底部安裝于螺孔中。
[0010]進一步的，所述頂蓋的上表面為用以安裝CCD相機的安裝面。
[0011]相較于現有技術，本技術中設置有沿一周向均勻分布于視窗玻璃之下的吹氣孔，當進氣管進氣時，氣體自吹氣孔均勻的吹到視窗玻璃的下表面而可將附著在視窗玻璃下表面的沉積氧化物吹落。故對于視窗玻璃上附著的氧化物的清理不需要再拆卸視窗組件，節省了清理時間，提高了清理效率。
附圖說明
[0012]圖1是本技術長晶爐爐蓋的立體圖。
[0013]圖2是本技術長晶爐爐蓋的俯視圖。
[0014]圖3是圖2中A
?
A方向的剖視圖。
[0015]圖4是圖3中B
?
B方向的剖視圖。
具體實施方式
[0016]下面結合附圖和具體實施方式，進一步闡明本技術，應理解下述具體實施方式僅用于說明本技術而不用于限制本技術的范圍，在閱讀了本技術之后，本領域技術人員對本技術的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。
[0017]請結合圖1至圖4所示，本實施方式公開一種具有視窗吹掃結構的長晶爐爐蓋，包括蓋體1、位于蓋體1上的視窗組件2。所述蓋體1設有用以安裝視窗組件的開口3。所述視窗組件2包括底部安裝在所述開口3內的視窗底座4、安裝在視窗底座4上的視窗壓蓋5、安裝于視窗壓蓋5上的視窗玻璃6、安裝在視窗玻璃6上的頂蓋7、安裝于視窗底座4側方的進氣管8。視窗玻璃6固定于視窗壓蓋5與頂蓋7之間。所述視窗壓蓋5位于視窗玻璃6外位置的上表面設有螺孔。所述頂蓋7上設有自上向下穿過蓋體的螺釘13，螺釘13底部安裝于螺孔中。頂蓋7的上表面為用以安裝CCD相機(未圖示)的安裝面。
[0018]所述視窗底座4包括一圈環形外壁9，而視窗壓蓋5底部向下延伸設有一圈位于外壁9中的環形內壁10。所述外壁9與內壁10之間形成環形的通道11。所述進氣管8與通道11連通。環形內壁10上設有若干吹氣孔12，該若干吹氣孔12圍繞環形內壁10均勻的設置。由于這些吹氣孔12均勻的設置于視窗玻璃6下方一圈，故當進氣管8通氣源(未圖示)進氣時，氣體自吹氣孔12均勻的吹到視窗玻璃6的下表面而可將附著在視窗玻璃6下表面的沉積氧化物吹落，且吹氣孔12由于設置一圈，故避免出現吹氣的死角，能夠更加有效的對氧化物進行吹落清理。而進一步的，所述環形的通道11中還設有一個分隔塊14，且該分隔塊14靠近于進氣管8，用以使進氣管8中的進氣只沿通道11內一個方向移動避免進氣相互影響而吹氣不均勻的隱患出現。
[0019]本實施方式中，通過上述結構，對視窗玻璃上附著的氧化物的清理不需要再拆卸視窗組件，節省了清理時間，提高了清理效率。
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【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種具有視窗吹掃結構的長晶爐爐蓋，包括蓋體(1)、位于蓋體上的視窗組件(2)；其特征在于：所述視窗組件包括視窗底座(4)、安裝在視窗底座上的視窗壓蓋(5)、安裝于視窗壓蓋上的視窗玻璃(6)、安裝在視窗玻璃上的頂蓋(7)、安裝于視窗底座側方的進氣管(8)；視窗玻璃固定于視窗壓蓋與頂蓋之間；所述視窗底座包括一圈環形外壁(9)，而視窗壓蓋底部向下延伸設有一圈位于環形外壁中的環形內壁(10)；所述環形外壁與環形內壁之間形成環形的通道(11)；所述進氣管與通道連通；所述環形...

【專利技術屬性】
技術研發人員：朱紅民，姜宏偉，王維川，
申請(專利權)人：南京晶能半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：