一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置，包括存放柜，所述存放柜內腔并列設置多個豎直的間隔欄，相鄰間隔欄之間的空腔下方轉動設置至少兩個齒輪，間隔欄之間的空腔放入修正輪后，修正輪外圓周的齒輪與間隔欄下方的齒輪嚙合；間隔欄上方設置噴淋裝置，齒輪下方設置回收槽，回收槽底部設置排液管；所述存放柜的腔室密封。通過該裝置的間隔欄、齒輪將修正輪豎直放置且隔開，防止修正輪發生磕碰；該裝置的噴淋裝置可以噴淋防銹油，修正輪使用完畢且表面的研磨液沖洗干凈后進行噴涂防銹劑存放，防止修正輪發生銹蝕；存放柜密封設置可以防塵、防大顆粒物附落，避免對修正輪的沾污。避免對修正輪的沾污。避免對修正輪的沾污。
【技術實現步驟摘要】
一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置
[0001]本技術屬于半導體晶圓硅片研磨加工
，具體涉及一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置。
技術介紹
[0002]晶硅棒經過多線切割以后形成的硅片，表面有一定的損傷層，損傷層存在晶格畸變、劃痕以及較大起伏度，為了獲得光滑而平整的晶體表面，需要將損傷層去除。因此需用研磨方式，來去除損傷層，現有技術中常采用硅片研磨機對硅片進行研磨。硅片研磨機的磨盤在研磨過程中，由于磨盤磨損強度不均勻會導致研磨盤不平整，磨盤的上下盤面會發生改變，在后面研磨的工件質量會變得參數不一致，而且磨盤表面磨粒與粘結劑形成的微孔會被磨屑淤塞，造成磨削效率下降，所以硅片研磨機就必須采用修正輪來對磨盤進行修整，使其露出新的、平整的研磨表面。磨盤的修整采用修正輪與磨盤互研的方法，將修正輪放置在上下磨盤之間，并使修正輪外圓周的齒輪與硅片研磨機上的中心齒輪、外齒圈嚙合，通過調整中心齒輪、外齒圈以及上下磨盤的轉速，讓修正輪在上下磨盤間做行星游輪運動，以達到對磨盤進行均勻的研磨修整。盤面的平整決定研磨后硅片的平整度，所以磨盤需要用修正輪定時進行盤面修復，修正輪的好壞直接影響硅片研磨機的磨盤盤面能否達到加工產品的要求，因此，修正輪的存放就需要一定的要求，保證修正輪的存放完好，進而確保對研磨機磨盤修復符合加工產品的要求。因為修正輪本身較重，搬運、疊放過程中可能會有磕碰現象，修正輪表面的磕碰損傷、銹蝕、沾污均會影響修盤效果，甚至會損傷磨盤本身，故需要一種修正輪放置柜存放修正輪，避免修正輪在存放過程中發生磕碰，同時要去除修正輪上的銹蝕、污物。
技術實現思路
[0003]為解決上述修正輪存放易發生磕碰、銹蝕、沾污的技術問題，本技術提供一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置。
[0004]本技術的目的是采用以下技術方案來實現。依據本技術提出的一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置，包括存放柜，所述存放柜內腔并列設置多個豎直的間隔欄，相鄰間隔欄之間的空腔下方轉動設置至少兩個齒輪，間隔欄之間的空腔放入修正輪后，修正輪外圓周的齒輪與間隔欄下方的齒輪嚙合；間隔欄上方設置噴淋裝置，齒輪下方設置回收槽，回收槽底部設置排液管；所述存放柜的腔室密封。
[0005]與現有技術相比，本技術方案的有益之處在于：
[0006]通過該裝置的間隔欄、齒輪將修正輪豎直放置且隔開，防止修正輪發生磕碰，避免修盤后磨盤表面達不到生產加工要求，從而避免影響正常生產；該裝置的噴淋裝置可以噴淋防銹油，修正輪使用完畢且表面的研磨液沖洗干凈后進行噴涂防銹劑存放，防止修正輪發生銹蝕；存放柜密封設置可以防塵、防大顆粒物附落，避免對修正輪的沾污，避免將大顆粒硬雜質帶入磨盤上，從而避免了因修正輪損傷導致磨盤盤面達不到加工產品的要求、影
響生產效率。
[0007]進一步的，所述存放柜底部設置萬向輪。
[0008]與現有技術相比，本技術方案的有益之處在于：
[0009]該裝置可移動至生產現場，可以便捷地取放、保存修正輪。
[0010]進一步的，所述間隔欄為直角三角形板，間隔欄的其中一直角邊固定在存放柜的后側內壁，另一直角邊朝向存放柜下方。
[0011]與現有技術相比，本技術方案的有益之處在于：
[0012]該間隔欄可以方便地將修正輪放入兩個間隔欄之間，并使修正輪的上部位于兩個間隔欄外部，方便存取。
[0013]進一步的，所述齒輪與回收槽之間設置承接槽，承接槽可拆卸設置在存放柜內部；承接槽上下貫通，承接槽上部的開口尺寸大于下部的開口尺寸。
[0014]與現有技術相比，本技術方案的有益之處在于：
[0015]通過該結構將廢液匯聚至回收槽，并可以拆下來清洗，保證修正輪存放處的清潔。
[0016]進一步的，所述存放柜左右兩側內壁水平設置擋板，承接槽的兩側設置搭接在擋板上的放置板。
[0017]進一步的，所述存放柜前部設置柜門，柜門的內壁環繞設置密封條，柜門關閉時，密封條壓在存放柜前側開口周圍的外壁上。
[0018]與現有技術相比，本技術方案的有益之處在于：
[0019]通過該柜門，存取修正輪，并確保對存放柜的密封。
[0020]進一步的，所述存放柜轉動設置兩個齒輪組，每個齒輪組中齒輪的數量與能夠存放的修正輪數量相同，兩個齒輪組對應的齒輪在前后方向對齊，每個齒輪組上的齒輪設置在同一個撐桿上。
[0021]與現有技術相比，本技術方案的有益之處在于：
[0022]清洗或對修正輪防銹噴淋時，方便轉動修正輪，對修正輪進行充分均勻地清洗及防銹。
[0023]進一步的，所述撐桿的兩端固定在存放柜左右兩側，齒輪組中的齒輪轉動設置在對應的撐桿上。
[0024]進一步的，其中一個所述撐桿轉動設置在存放柜內且與對應齒輪組中的齒輪固定連接，并且該撐桿的端部伸出存放柜，另一撐桿固定設置在存放柜內且與對應齒輪組中的齒輪轉動連接。
[0025]與現有技術相比，本技術方案的有益之處在于：
[0026]通過該結構，可以在對修正輪進行清洗機防銹時，關閉柜門，在存放柜外側進行操作，及時對修正輪進行密封保存，防止污染物進入。
[0027]上述說明僅是本技術技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本技術的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本技術的上述和其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。
附圖說明
[0028]圖1為本技術一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置實施例的示意圖；
[0029]圖2為圖1去柜門及存放柜的前側柜體后的示意圖；
[0030]圖3為現有技術中的修正輪的示意圖。
[0031]【附圖標記】
[0032]1?
存放柜，2
?
間隔欄，3
?
修正輪，4
?
噴淋裝置，401
?
輸油管，402
?
噴嘴，5
?
承接槽，6
?
回收槽，601
?
排液管，7
?
柜門，8
?
密封條，9
?
齒輪組，10
?
撐桿，11
?
萬向輪，K
?
開關。
具體實施方式
[0033]下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒炯夹g中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。
[0034]本技術一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置的實施例，如圖1至圖2所示，包括存放柜1，存放柜1內腔的上部豎直設置多個間隔欄2，修正輪3的放置方式為豎直放置，一組修正輪的數量一般有3<本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置，包括存放柜，其特征在于：所述存放柜內腔并列設置多個豎直的間隔欄，相鄰間隔欄之間的空腔下方轉動設置至少兩個齒輪，間隔欄之間的空腔放入修正輪后，修正輪外圓周的齒輪與間隔欄下方的齒輪嚙合；間隔欄上方設置噴淋裝置，齒輪下方設置回收槽，回收槽底部設置排液管；所述存放柜的腔室密封。2.根據權利要求1所述的一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置，其特征在于：所述存放柜底部設置萬向輪。3.根據權利要求1所述的一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置，其特征在于：所述間隔欄為直角三角形板，間隔欄的其中一直角邊固定在存放柜的后側內壁，另一直角邊朝向存放柜下方。4.根據權利要求1所述的一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置，其特征在于：所述齒輪與回收槽之間設置承接槽，承接槽可拆卸設置在存放柜內部；承接槽上下貫通，承接槽上部的開口尺寸大于下部的開口尺寸。5.根據權利要求4所述的一種硅片研磨機磨盤盤面修正輪的存放裝置，其特征在于：所述存...
【專利技術屬性】
技術研發人員：宋亞峰，張志林，周濤，趙娜，
申請(專利權)人：洛陽鴻泰半導體有限公司，
類型：新型
國別省市：
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